Сорбционно-конденсационно-ионный сверхвысоковакуумный насос
Класс 21gÄ ) 3, ЛЬ 140123
СССР г.-. - -.—
t
ОПИСАНИЕ ИЗОБРКтКНИВ..
H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная группа Л 97
Е. Н. Мартинсон, К. H. Мызников, В. А. Романенко, 3. В. Хабарова и А. А. Шугаева
СОРЬЦИОН НО-КО НДЕНСАЦИО Н HO-ИОН НЫ Й
СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС
Заявлено 15 октября )960 г. за Ке 682237/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Б|оллетене изобретений» М !5 за 1961 г.
Для получения низких давлений в условиях натекания в установки значительных количеств водорода применяются сорбционно-ионныс наcocbI = напыляемыми на неохлаждаемые или охлаждаемые водой стен ки пленками геттеров.
Однако известные сорбционно-ионные насосы имеют ряд недостатков, устранение которых существенно расширило бы возможности их применения.
Так, например, во многих случаях желательно повысить предельный вакуум и увеличить скорость откачки насоса по водороду на еди.— ницу поверхности пленки геттера, а также предотвратить возможность образования метана и других углеводородов, происходящего в обычных сорбционно-ионных насосах. Кроме того, желательно найти такие условия работы насоса, чтобы слой геттера откачивал с большой скоростью метан, аргон и некоторые другис газы.
Для улучшения характеристик описываемых сорбционно-ионных насосов предложено напылять слой геттера (титан, цирконий или торий) на поверхность, охлаждаемую до низких температур. Для распыления геттера используется один из известных испарителей, например испаритель типа манометра Альперта с коллектором в виде молибденового или вольфрамового стержня, на который надета спираль из тичановой или циркониевой проволоки или спеченный штабик из порошкообразного тория. При электронной бомбардировке можно напылить на поверхность в 500 слР десятки монослоев титана в течение нескольких минут. Напыленный слой геттера охлаждается до температуры — 196 с помощью конденсатора, питаемого жидким азотом, на внутренней поверхности которого он находится. Для предотвращения вылета геттера из зоны конденсатора и попадания его на неохлаждаемые
Предмет изобретения
Сорбционно-конденсационно-ионный сверхвысоковакуумный насос с титановым, циркониевым или ториевым геттером, отличающийся тем, что, = целью увеличения скорости откачки, повышения предельного его вакуума, а также предотвращения образования в нем метана и других углеводородов, весь испаряемый геттер осаждается на поверхность, охлаждаемую жидким азотом.
Техред А. А Сосина Корректор H. А. Шпынева
Редактор Н. С. Кутафина
Формат бум. 70X 108 / „.
Тира1к 1200
UDTH при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.
Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка. 14.
Обьем 0,18 изд. л.
Цена 4 кон:
11одп. к печ 16:Ï!1-51 r
Зак. 7859 поверхности используются специальные устройства, например щитки, охлаждаемые жидким азотом. Попадание геттера на теплые стенки на"оса может привести к образованию метана, что недопустимо .
Порядок работы с описываемым насосом следующий.
Не бывший в употреблении сорбционно-конденсационно-ионный насос промывается чистым растворителем (авиационный бензин Б-70, четыреххлористый углерод ч. д. а.), откачивает"я парортутным насосом до давления — 2: 10 им рт. ст. и обезгаживается нагреванием при температуре 400 до установления в объеме при этой температуре давления не выше l: 10 мм рт. ст. (объем 2 — 3 л, скорость откачки парортутного насоса 10 л/сек).
После охлаждения до комнатной температуры насос вскрывается и в испаритель вводится геттер. Затем насос откачивается до давления
2: 10 ил . рт. ст. и повторно обезгаживается при 400 до установления давления при этой температуре не выше 1: 10 мл рт. ст. После этого насос вновь охлаждается до комнатной температуры, в конденсатор подается вода и включается испаритель геттера. Предельный вакуум насоса (суммарное давление газов) при работе на титане, цирконии и торин составляет 10 "— 10 Омм рт. ст. при комнатной темпе. р атуре.
После достижения предельного вакуума перед началом откачки водорода вода из конденсатора удаляется продувкой его воздухом и в конденсатор подается жидкий азот.
Экспериментальное исследование описываемого насоса показало, что при охлаждении пленок титана до — 90 и ниже удается получать равновесные давления водорода даже при содержании водорода
300 смд на 1 г титана. Глубокое охлаждение до температур около — 19б позволяет значительно увеличить скоро"ть откачки водорода, исключить образование заметных количеств метана (а та кже других угпеводородов) и обеспечить возможность их адсорбционной откачки.
