«Электрон» (72) И. С., !ялько, P. А. Гришин, В. Г. Веприк, B. (!. Удальцев, Д. С. Алексеенко, !О. М. Воронин, Ю. Ф. Шетнев и В, В. Скоробогатько (53) 621.385.833 (088.8) (56) Патент ФРГ ¹ 1614403, кл. 21 g 37/10.

1970.

Чикроскоп электронный аналити и ский

ЭММА 4: Проспект. вЂ” М.: Машприборинторг. (54) (57) Э. ЕКТРОН1-(Ы!1 МИКРОСKOI l, содержаший размешснные в колонне электронную пушю и системi магнитных элеhтронны): линз с обмотками, магнитопрово1hl которы)(выполнены по крайней мере с одной стенкой, образук)щей прочн ю полость о 1. а жде н и я л и из, () f,1I! ÷ ñ2/Î!((!! É(ÿ тс и, 1 о. целью i меньшения времени установления температурного режима колонны при х меньшении сс габаритов, обмотки линз размс (цс Hbl в герметизированном объемс, часть которого заполнена легкои II;) ряк))цейс я ж и д к о (. т ь к), ! р и ч с м (. т (I I )(I I к о н де ! с а ц и и жидкости образуют вторые ленки полостей о. (лс) ждения.

15269

У ю

1I (: I (lIè (. lI 13 1;) ир к)>и ни

Р(ihi()1) (>. Г().l )II;«: 1(<;)((iI f Б«р(. Корр< h1(if) О. Криииоии.> )Е.) 1 ир iih 1(!1оиииеио<.

f3111111111! 1 (.;);): ) и и) .i и) ми)):,) (.< (.Р и(»елим изобретений и отир>»гий

) ) .() ),,, ) )(hi):,К i ). Р; »и< и,)и II I().,,. -! 5

11рои)t))).I«III(:)и) Ii I fhi)I))l «(и-(и ир«.(iif), H(ие. I . .ужгород, ),.1 11ро i(TIIB)I, »

Изобретение относится к электронномикроскопическому приборостроению и может быть использовано при производстве электронных микроскопов и других электронно-зондовых устройств.

Целью изобретения является уменьшение времени установления температурного режима колонны при уменьшении ее габаритов за счет выведения стенок конденсации охлаждающей легкоиспаряющейся жидкости, пропитывающей обмотки линз, II пол >сть охлаждения магнитопроводов линз внешней системы.

На чертеже показан электронный микроскоп. разрез.

В вертикальной колонне электронного микроскопа последовательно походу электронного луча расположены электронная пушка 2, конденсорный блок, 3 магнитных линз, объек(инная линза 4, блок 5 увеличивающих .1инз и люминесll((ггlibIH экран 6, разме>ценный в тубусе 7. В зазоре между 1н> lfo(.ffbf!vlff и;1конечникамп >б),вЂ” ективной линзы 4 ра<. Ifoложен объсктодержатсль 8. Обмотки г1 всех м,((нитных линз разм. нi(ны в (.ерметизиронанных объе(f3!i !1, ко l(>!>bi(. ч(lстично з(lпол иены л(гI(oIf(II3pяю1цеЙ >i жидкостьк> 1. В магнитопр(>во (ах линз выполнены полости !2 охлажд. ния, одной из стеш>к которы.(являются (" генки 13 конденсации легкоис2 паряющейся жидкости 11. Полости 12 охлаждения магнитопроводов соединены трубопроводами 14 с внешней системой охлаждения.

Электронный микроскоп работает следующим образом.

Электронный луч, созданный с помощью электронной пушки 2 и сформированный конденсорным блоком 3, попадает на исследуемый объект, размещенный в поле ооъективной линзы 4. Объективная линза формирует первичное электронно-оптическое изображение, которое увеличивается с по.мощью блока 5 увеличивающих линз и проектируется в тубусе 7 на люминесцентный экран 6.

Наличие внешней системы охлаждения магнитопроводов линз и выведение в полость

I 2 охлаждения стенок конденсации легкоиспаряющейся жидкости !1 позволяют значительно увеличить интенсивность теплосъе20 ма с обмоток 9 и магнитопроводов линз. ! Iри этом время установления температур ного режима колонны микроскопа уменьшает(.я более чем на порядок и составляет около двух минут. Этому же способствует возможность увеличения плотности (ока в обмотках, а следовательно, снижение габаритов и массы системы линз в целом и уменьшение теплоемкости конструкции.

Изобретение относится к области исследования материалов с помощью радиационных методов и может быть использовано для получения изображения доменносодержащих материалов

Способ электронномикроскопического анализа намагниченности магнитной ленты // 1307491

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования магнитных полей на магнитных лентах.Цель - расширение функциональных возможностей способа электронно-микроскопического анализа намагниченности магнитной ленты за счет визуализации изображения магнитной сигналограммы, записанной на магнитной ленте

Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы // 1307490

Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор

Устройство для перемещения образцов в вакуумной камере // 1275584

Изобретение относится к области электронно-микроскопического приборостроения и может быть использовано для прецизионного перемещения образца

Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе // 1274028

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии

Способ получения одноступенчатых реплик для электронно- микроскопических исследований // 1264039

Изобретение относится к области исследования физических и химических свойств веществ, в частности к технике препарирования объектов, и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии при исследовании гигроскопических образцов

Система питания магнитной линзы электронного микроскопа // 1243047

Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению

Электронный микроскоп // 1243046

Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа

Смесительное модулирующее устройство для стробоскопического электронного микроскопа // 1226553

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть исрользовано йрй разработке стробо4-4i---4f скопических электронных микроскопов для исследования быстропротекающих процессов в твердом теле

Диодный микроскоп // 1201919

Изобретение относится к области микроскопии и может быть использовано для анализа проводящих микрообъектов

Зондирующий эмиттер для сканирующего туннельного микроскопа // 2117359

Способ и устройство для анализа состава дна углублений // 2123178

Сверхвысоковакуумная транспортная система для сканирующих зондовых микроскопов // 2158454

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим транспортировку и установку зондов и образцов в позиции измерения и функционального воздействия

Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и термоядерных установок // 2169954

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к исследованию материалов, подвергающихся воздействию радиации

Способ получения панорамного изображения в растровом электронном микроскопе // 2181515

Изобретение относится к способам получения изображений в растровой электронной микроскопии

Устройство управления скоростью сканирования туннельного микроскопа // 2269803

Изобретение относится к сканирующей туннельной спектроскопии и может быть использовано в зондовых микроскопах и приборах на их основе

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Нанотехнологический комплекс // 2308782

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию и предназначено для замкнутого цикла производства новых изделий наноэлектроники

Электронный микроскоп // 2313850

Изобретение относится к микробиологии и может применяться при профилактике инфекционных болезней

Сверхвысоковакуумная транспортная система // 2380785

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для проведения операций по перемещению объектов внутри вакуумных систем