Вакуумный сорбционный насос

 

изобретение относится к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемыми геттерами. Цель изобретения - повышение экономичности насоса. Сосуд 2 с хладагентом размещен в корпусе 1. Подвижный сорбционный элемент 3 охватывает сосуд 2 и установлен относительно него с кольцевым зазором, в котором размещен радиационный теплообменник в виде набора дисков. Диски размещены один относительно другого с осевыми зазорами и поочередно закреплены с тепловым контактом на элементе 3 и сосуде, которые выполнены двустенными. В их межстенных пространствах 9 и 10 размещены термоэлементы 7 и 8, имеющие тепловой контакт со стенками . Наличие термоэлементов 7 и 8 позволяет создавать между рабочей поверхностью элемента 3 и хладагентом значительный градиент т-р и обеспечить эффективную работу пленки активного геттера при использовании в качестве хладагента проточной воды вместо жидкого азота, тем самым повыщая экономичность насоса, а также упрощая его эксплуатацию. 2 ил. SS

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ц 4 F 04 В 37 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61 ) 1268799 (21) 4116378/25-06 (22) 25.06.86 (46) 23.08.88. Бюл. № 31 (71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (72) Ю. А. Захарченко и И. Я. Фуголь (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1268799, кл..F 04 В 37/02, 1985. (54) ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ

НАСОС (57) Изобретение относится к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыляемыми геттерами. Цель изобретения — повышение экономичности насоса. Сосуд 2 с хладагентом размещен в корпусе 1. Подвижный сорбционный элемент 3 охватывает

„Л0„„1418484 А 2 сосуд 2 и установлен относительно него с кольцевым зазором, в котором размещен радиационный теплообменник в виде набора дисков. Диски размещены один отно сительно другого с осевыми зазорами и поочередно закреплены с тепловым контактом на элементе 3 и сосуде, которые выполнены двустенными. В их межстенных Ilpoстранствах 9 и 10 размещены термоэлементы

7 и 8, имеющие тепловой контакт со стенками. Наличие термоэлементов 7 и 8 позволяет создавать между рабочей повер хностью элемента 3 и хладагентом значительный градиент т-р н обеспечить эффективную работу пленки активного геттера при использовании в качестве хладагента проточной воды вместо жидкого азота, тем самым повышая экономичность насоса, а также упрогцая его эксплуатацию. 2 ил.

1418484

Формула изобретения

Фиа 2

Составитель В. Кряковкин

Редактор A. Козориз Текред И. Верес Корректор Л. Патай

Заказ 4140/35 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4!5

11роизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной тех« ике, а именно к конструкциям сорбционь ых вакуумных насосов с распыляемыми геттерами, и является усовершенствованием изобретения по авт. св. № 1268799.

Цель изобретения — повышение экономичности насоса.

На фиг. 1 представлен насос, попереч11ый разрез; на фиг. 2 — радиационный теп 1ообменник, продольный разрез.

Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1, размещенныи в нем сосуд 2 с хладагентом, охватывающий его подвижный сорбционный элемент 3 и испаритель 4 гет.1ера. Сорбционный элемент 3 установлен относительно сосуда 2 с кольцевым зазором в последнем расположен радиационный еплообменник в виде набора дисков 5 и 6, азмегценных один относительно другого с сенымн зазорами и поочередно закреплен ых с тепловым контактом на сорбционном лементе 3 и сосуда 2. Сорбционный элемент

8 и сосуд 2 с хладагентом выполнены двутенными и снабжены термоэлементами 7

1и 8, размещенными в межстенных простран, ствах 9 и 10 и имеющих тепловой контакт ,со стенками.

Насос работает следующим образом.

После предварительного вакуумирования полости корпуса 1 до 1 10 Па в сосуд 2 заливают хладагент (проточную воду). Для создания теплового напора между теплообменными поверхностями дисков 5 и 6 радиационного теплообменника на термоэлементы 7 и 8 подается напряжение. Затем включается испаритель 4 геттера и приводится в движение сорбционный элемент 3.

Распыляемый геттер осаждается на внешней поверхности элемента 3, охлаждается и активно поглощает поступающий в насос газ.

Наличие термоэлементов 7 и 8 позволяет создавать между рабочей поверхностью сорбционного элемента 3 и хладагентом значительный градиент температур и обеспечивает эффективную работу пленки активного геттера при использовании в качестве хладагента проточной воды вместо жидкого азота, тем самым повышая экономичность насоса, а также упрощая его эксплуатацию.

Вакуумный сорбционный насос по авт. св. № 1268799, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, сорбционный элемент и сосуд с хладагентом выполнены двустенными и снабжены термоэлементами, размещенными в их межстенных пространствах и имеющими тепловой контакт со стенками.