Криогенный насос

 

Изобретение относится к конструкциям криогенных средств вакуумирования. Цель изобретения - повьшение экономичности путем снижения расхода криоагента, а также повышение надежности. Дополнительная обечайка 12 закреплена на кольцевом сосуде 4 с. тепловым контактом, размещена коаксиально обечайке 6 радиационного

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ ЕСПУБЛИН

ISII < F 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4167271/25-06 (22) 23.12.86 (46) 15.10 ° 88. Бюл. 38

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (72) Г. Н.Дгебуадз е, Д.В.Иремашвили, М.П.Ларин и И.С.Маркозьян (53) 621.528.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

И 1250707, кл. F 04 В 37/08, 1985, "ЗК. И о59о (54). КРИОГЕННЦЙ НАСОС (57) Изобретение относится к конструкциям криогенных средств вакуумирования. Цель изобретения — повьппение экономичности путем снижения расхода криоагента, а также повьппение надежности. Дополнительная обечайка

12 закреплена на кольцевом сосуде 4 с тепловым контактом, размещена коаксиально обечайке 6 радиационного

1430590

10 экрана и герметично соединена с ней в нижней части с образованием кольцевой полости 13, сообщенной с сосудом 4 для хладагента. Высокотеплопроводная трубка 14 установлена в цилиндрическом канале 5, контактирует с

его внутренней стенкой и снабжена в верхней части кольцом 15 с внутренним резьбовым отверстием. Трубкаподвес 10 снабжена разъемными герметичными соединениями 16, 17 и резьбовой втулкой 18 со сквозными отверстиями. Соединение 16 размещено в крышке 2 корпуса 1, соединение 17— на сосуде 9 для криоагента, а втулка 18 расположена в резьбовом отверстии кольца 15. Колпачковый экран 19, закрепленный на втулке 18, перекрыва» ет вертикальные отверстия, причем по- верхности экрана 19 и втулки 18, обращенные друг к другу, и стенки

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных средств вакуумирования. I

Целью изобретения является повышение экономичности путем снижения расхода криоагента, а также повышение надежности.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Криогенный насос содержит вертиKBJIbHbIH Ko c 1 KpbIBIKOH 2 и входным патрубком 3 в нижней части, охлаждаемый радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда 4 для хладагента с осевым цилиндрическим каналом 5 и обечайки 6, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде 4, цилиндрический шевронный экран 7, коаксиально располо- 20 женный со стороны входного патрубка

3 внутри обечайки 6 радиационного экрана и присоединенный нижним торц м к ней с тепловым контактом, а верхним — к шевронному экрану 8, и 25 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 9 для криоагента, pasMeщенного между кольцевым сосудом 4 для хладагента, обечайкой 6 радиационного экрана и плоским шевронным 30 вертикальных отверстий имеют покрытие с высокой поглощающей способностью, Втулка 20, герметично закрепленная на днище сосуда 9, имеет два осевых глухих отверстия 21. Одно из отверстий выполнено со стороны трубкиподвеса 10, другое — со стороны плоского шевронного экрана 8, отверстие

22 которого соосно отверстию 21. При таком выполнении насоса достигается равномерность поля т-р в обечайках

6 и 12 и, соответственно, снижение расхода криоагента в сосуде 9 вследствие уменьшения теплопритоков к не.му извне. Трубка 14 с кольцом 15 позволяет кроме надежной фиксации трубки-подвеса обеспечить охлаждение ее перед заливом криоагента в сосуд 9.

Соединения 16, 17 дают возможность . упростить сборку-разборку насоса, 2 з.п. ф-лы, 1 ил. экраном 8 и снабженного осевой трубкой-подвесом 10, закрепленной на крышке 2 корпуса 1, и криопанелью, выполненной в виде обечайки 11, закрепленной с тепловым контактом на со. суде 9 для криоагента и размещенной между обечайкой 6 радиационного экрана и цилиндрическим шевронным экраном 7. Насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде 4 с тепловым контактом дополнительную обечайку 12, размещенную коаксиально обечайке 6 радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольценой полости 13, сообщенной с кольцевым сосудом 4 для хладагента, и высокотеплопроводную трубку 14, установленную в цилиндрическом канале

5, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхней части кольцом 15 с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес 10 снабжена разъемными герметичными соединениями 16 и 17, одно из которых размещено на крышке 2 корпуса 1, другое — на сосуде 9 для криоагента, и резьбовой втулкой 18 со сквозными вертикальными отверстиями, располо1430590 женной в резьбовом отверстии кольца

15 высокотеплопроводной трубки 14.

Резьбовая втулка 18 снабжена закрепленным на ней колпачковым экраном 19

5 перекрывающим вертикальные отверстия, причем поверхности колпачкового экрана 19 и резьбовой втулки 18, обращенные одна к другой, и стенки вертикальных отверстий имеют покрытие с высокой О поглощающей способностью. Сосуд 9 для криоагента снабжен герметично закрепленной на его днище втулкой 20, I имеющей два осевых глухих отверстия

21, одно из которых выполнено со

15 стороны трубки-подвеса 10, другое— со стороны плоского шевронного экрана 8, который снабжен отверстием 22, соосным с глухим отверстием 21.

Насос работает следующим образом.

В кольцевой сосуд 4 подают хладагенты, что обеспечивает охлаждение шевронных экранов 7 и 8 и обечаек

6 и 12. После стабилизации их температуры подают криоагент в сосуд 9, 25 охлаждая криопанель. По достижении на криопанели температуры-, близкой к температуре криоагента, насос готов к работе. Через патрубок 3 в объем насоса подается откачиваемый газ, ко- 30 торый, проходя через шевронные экраны 7 и. 8, поступает к обечайке 11, где концентрируется. Легкоконденсирующиеся компоненты откачиваемого rasa конденсируются на поверхностях шевронных экранов 7 и 8.

Наличие обечайки 12 позволяет образовать полость 13 с обечайкой 6 и подать в эту полость хладагент из сосуда 4. Таким образом, достигается равномерность поля температур в обечайках 6 и 12 и, соответственно, снижение расхода криоагента в сосуде 9 вследствие уменьшения теплопритоков к нему извне.

Высокотеплопроводная трубка 14 с кольцом 15 позволяет кроме надежной фиксации трубки-подвеса 10 обеспечить охлаждение ее перед заливом криоагента в. сосуд 9. Раэборные соединения 16 и 17 дают возможность упростить сборку-разборку насоса.

Установка в глухие отверстия 21 втулки 20 фиксирующих элементов, сопрягаемых с трубкой-подвесом 10 и отверстием 22 в шевронном экране 8, обеспечивает надежную взаимную фиксацию сосудов 4 и 9 при транспортировке насоса.

Формула изобретения

1. Криогенньтй насос, содержащий вертикальный корпус с крьппкой и входным патрубком в нижней части, охлаждаемьп радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда для хладагента с осевым цилиндрическим каналом и обечайки, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде, цилиндрический шевронный экран, коаксиально расположенный со стороны входного патрубка внутри обечайки радиационного экрана и присоединенный нижним торцом к ней с тепловьпт контактом, а верхним — к шевронному экрану, и откачивающий элемент, внттолненньтй в виде сосуда для крттоагента, размещенного между кольцевым сосудом для хладагента, обечайкой радиационного экрана и плоским шевронным экраном и снабженного осевой трубкой-подвесом, закрепленной на крьппке корпуса, и криопанелью, выполненной в виде обечайки, закрепленной с тепловым контактом на сосуде для криоагента и размещенной между обечайкой радиат,ионного экрана и цилиндрическим шевронным экраном, отличающийся тем, что, с целью повьппения экономичности путем снижения расхода криоагента, насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде с тепловым контактом дополнительную обечайку, размещенную коаксиально обечайке радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольцевой полости, сообщенной с кольцевым сосудом для хладагента, и высокотеплопроводную груб" ку, установленную в цилиндрическом канале, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхней части кольцом с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес снабжена разъемными герметичными соединениями, одно из которых размещено на крышке корпуса, другое — на сосуде для криоагента,и резьбовой втулкой со сквозными вертикальными отверстиями, расположенной в резьбовом отверстии кольца высокотеплопроводной трубки.

2. Насос по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что резьбовая втулка снабжена закрепленным на ней колпачконым экраном, перекрывающим

Составитель В. Кряковкин

Техред Л. Олийнык Корректор Л.Патай

Редактор Л.Веселовская

Подписно».Тираж 574

ВНИИПИ Государственного комитета. СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Заказ 5316/32

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул, Проектная, 4

5 1430590 6 вертикальные отверстия,.причем по- шения надежности, сосуд для криоагенверхности колпачкового экрана и резь- та снабжен герметично закрепленной бовой втулки, обращенные одна к дру- на его днище втулкой, имеющей два осевых гой, и стенки вертикальных отверстий глухих отверстия, одно из которых

5 имеют покрытие r высокой поглощающей выполнено со стороны трубки-подвеса, способностью. другое — со стороны плоского веврон3. Насос по п.1, о т л и ч а ю- ного экрана, а последний снабжен отшийся тем, что, с целью повы- верстием, соосным с глухим отверстием.