Устройство для дискретного регулирования расхода газа

 

Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения, например в производстве полупроводниковых структур. Цель изобретения - повьшение быстродействия и расширение области применения устройства для дискретного регулирования расхода газа. Устройство содержит корпус в виде о основания 1 с входным каналом 2 и фланцами 3 и установленных на фланцах прижимов 8 с отверстиями 9. Между каждым фланцем и прижимом размещена упругая прокладка в виде пластины 6с жиклером 7. }Киклеры образуют магазни сопротивлений, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2. Пластины 6 установлены с возможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом в виде оппозитно расположе 1ных электромагнитов , сердечники которых соединены с пластинамиi причем в одном из крайних положений пластин входной канал соединен с выходным отверстием через жиклер, а в другом крайнем положении входной канал и выходное отверстие разделены пластиной. 3 ил. с $ (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„ 444 1 А1 (5!) 4 0 05 D 7/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОсудАРстВенный нОмитет сссР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4227342/24-24 (22) 27.02.87 (46) 15.12.88. Вюл. Р 46 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) Ю.И.Ilpaxopoa, Н.А„Колобов и П.А.1!авлов (53) 621.646.3(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 951246, кл. G 05 D 7/00, 1980.

Авторское свидетельство СССР

У 194344, кл. G 05 D 7/00, 1965. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСКРЕТНОГО РЕГУЛИРОВАН1И РАСХОДА ГАЗА (57) Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения, например в пронзводетне полупроводниковых структур. Цель изобретения — повышение быстродействич и расширение области применения устройства для дискретного регулирования расхода газа.

Устройство содержит корпус н виде основания 1 с входным каналом 2 и фланцами 3 и установленных на фданцах прижимов 8 с отнерстиями 9. Между каждым фланцем и прижимом размещена упругая прокладка в виде пластины б с жиклером 7. Жиклеры образуют магазин сопротивлений, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем "2". Пластины 6 установлены с возможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом н виде оппозитно расположенных электромагнитов; сердечники которых соединены с пластинами, причем в одном из крайних положений пластин нходной канал соединен с выходным отверстием через жиклер, а s другом крайнем положении входной канал и выходное отверстие разделены пластиной.

3 ил.

1444719

Изобретение относится к автоматическому регулированию и может исполь. зоваться в машинах и аппаратах различного назначения, Цель изобретения — повышение бы5 стродействия и расширение области применения устройства.

На фиг.l и 2 показано устройство, общий вид, на фиг.3 — разрез А-А на .фиг.l.

Устройство содержит корпус в виде основания 1 с входным каналом 2 и фланцами 3, к основанию присоединен штуцер 4 для подвода газа, а во фпанцах 3 выполнены проточки, соединенные отверстиями 5 с .входным каналом 2. В каждой проточке размещена упругая прокладка в виде пластины 6 с жиклером 7. Жиклеры образуют магазин сопротивлений, причем величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2. Пластины 6 поджаты прижимами 8, в которых выполнены выходные отверстия 9. Равномерность поджатия обеспечивается пружинами 10. В прижимах 8 установлены с уплотнением штуцеры 11 для отвода газа к потребителю, например к рабочей камере диффуэионной камеры. Центровка прижи. мов относительно фланцев обеспечивается штифтами 12. Пластины 6 установ лены с воэможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом в виде оппоэитно рас- положенных электромагнитов 13 и 14, сердечники 15 и 16 которых соединены с пластинами, причем в одном из крайних положений пластины 6 входной канал 2 и выходные отверстия 9 прижима 8 соединены через жиклер 7, а в другом .крайнем положении пластины б входной канал 2 и выходное отверстие

9 прижима 8 разделены пластиной 6. устройство может быть разделено на единичные модули Х, II,--- и т.д., закрепленные на общей плите.

Устройство работает следующим об. разом.

Заданный расход газа обеспечивается включением соответствующих электромагнитов, перемещающих в открытое положение требуемый набор жиклеров, параллельно подключенных к входному каналу. Диапазон регулирования рас" хода определяется диаметрами проходных отверстий и количеством жиклерова

Формула изобретения

Устройство для дискретного регулирования р асхода газ а, содержащее корпус и магазин сопротивлений в виде размещенной в корпусе упругой прокладки с жиклерами, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения быстродействия и расширения области. применения устройства, корпус выполнен в виде снабженного фланцами основания с входным каналом и установленных на фланцах прижимов, снаб" женных выходными отверстиями, причем упругая прокладка выполнена в виде пластин,. которые размещены между флакцами и прижимами с возможностью возвратно-поступательного перемещения, жиклеры установлены в пластинах, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2, каждая пластина снабжена приводом в виде оппоэитно расположенных электромагнитов,. сер-. дечники которых соединены с пластиной, при этом в одном из крайних положений пластины входной канал соедин нен с выходным отверстием через жиклер, а в другом крайнем положении пластины входной канал и выходное от верстие разделены пластиной. (4447l9

А-А