Раствор для обработки оптических деталей
Изобретение относится к технологии обработки оптических деталей и может быть использовано в оборонной и электронной промышленности. С целью повышения качества поверхности при полировке деталей из стеклокристаллического материала раствор для обработки оптических деталей включает, мас. фторид аммония 2 10, изопропиловый спирт 30 50, этиловый или метиловый спирт 30 50 и изобутиловый спирт 15 35. В результате обработки получают шероховатость 0,092 0,044 мкм, а линейный съем составляет 4 6 мкм/ч. Раствор обладает низкой агрессивностью. 2 табл.
Изобретение относится к технологии обработки стеклокристаллических материалов и может быть использовано для получения оптических деталей с полированной поверхностью. Раствор найдет применение в оборонной и электронной промышленности. Цель изобретения повышение качества поверхности при полировании деталей из стеклокристаллического материала. Детали обрабатывают в растворе следующего состава, мас. Фторид аммония 2,0-10,0 Этиловый или метиловый спир 30,0-50,0 Изопропиловый спирт 30,0-50,0 Изобутиловый спирт 15,0-35,0 Испытания полирующих растворов производят на плоских образцах из ситалла СО115 м и макетах оптических деталей сложной формы. Процесс полирования производят в ультразвуковых ваннах при 60оС до полного снятия нарушенного слоя циклично. Промывку производят соответственно в спиртовом растворе щелочи, деионизованной воде и в смеси спиртов с предварительным замачиванием перед погружением деталей в полирующий раствор. Отсутствие в составе полирующего раствора фтористоводородной кислоты и воды позволяет создать более мягкие условия травления ситалла. Этиловый или метиловый спирты являются растворителями фторида аммония, изопропиловый и изобутиловый спирты способствуют удалению солей с поверхности, связывая в комплексы продукты травления, и наряду с кавитацией при ультразвуковой обработке с равномерной шероховатостью и в конечном итоге облегчить процесс промывают и последующей финишной очистки. Концентрация вводимого в раствор фторида аммония (2-10 мас.) определена его растворимостью соответственно в этиловом и метиловом спиртах и частично в изопропиловом спирте. Содержание в растворе этилового или метилового спиртов менее 30 мас. снижает скорость травления без улучшения качества поверхности, а более 50 мас. ухудшает качество получаемой поверхности, несколько увеличивая скорость травления. Введение в состав раствора изопропилового спирта обусловлено частичной заменой им этилового или метилового спиртов для улучшения качества поверхности без заметного уменьшения скорости травления и для эффективного проведения процесса промывки. При содержании изопропилового спирта в растворе менее 30 мас. ухудшается в качество поверхности, а при содержании более 50 мас. снижается скорость травления. Содержание изобутилового спирта в растворе менее 15 мас. и более 35 мас. ухудшает качество получаемой поверхности оптических деталей и снижает скорость травления (линейный съем материала). Применение данных растворов в условиях ультразвуковой обработки и высоких температур позволяет за сравнительно короткое время получать гладкую полированную поверхность на деталях из ситалла при съеме 4,0-6,0 мкм/ч. В табл. 1 представлены составы, в табл. 2- данные испытаний предложенных полирующих растворов. Линейный съем ситалла замеряют с помощью прибора ДИП-1 и весовым методом по потерям в весе, на приборе ИЗВ-5 с точностью 
0,5 мкм, исследования качества обработки поверхности на профилографе Перен S6P. Исходная шероховатость поверхности составляла по Rа не лучше 0,63 мкм. Полученное при полировании данным раствором качество поверхности оптических деталей и отсутствие нарушенного слоя позволит применять оптические детали из стеклокристаллических материалов сложной формы в целом ряде газоразрядных и электровакуумных приборов, что скажется в первую очередь на увеличении срока их службы и эксплуатационных характеристиках. Кроме того, полирующий состав обладает пониженной агрессивностью к футеровкам травильных ванн и оснастке.
Формула изобретения
РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включающий фторид аммония и изопропиловый спирт, отличающийся тем, что, с целью повышения качества поверхности при полировке деталей из стеклокристаллического материала, он дополнительно содержит этиловый или метиловый спирт и изобутиловый спирт при следующем соотношении компонентов, мас. Фторид аммония 2 10 Изопропиловый спирт 30 50 Этиловый или метиловый спирт 30 50 Изобутиловый спирт 15 35РИСУНКИ
Рисунок 1MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 8-2000
Извещение опубликовано: 20.03.2000
