Раствор для травления меди
Изобретение относится к составам для химической обработки медной поверхности . Целью изобретения является повышение шероховатости поверхности и увеличение скорости травления . Состав содержит, г/л: хлорная медь 6,7-46; хлористый аммоний 107- 150; персульфат аммония 40-70. Повьш1ение шероховатости и увеличение скорости травления достигается за счет введения персульфата аммония. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
gg4 С 23 F 1/18 с
1
Гi
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
flQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4241 720/31-02 (22) 07.05.87 (46) 15.02.89. Вюл. N 6 (71) Тульский политехнический институт (72) В.В. Любимов, В.Д. Струков, З.И. Кочеткова и Г.В. Гущина (53) 621.794.42(088.8)
I (56) Патент Японии М 48-11458, кл, 12 А 52, опублик. 13.04.73. (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ MEÄÈ
1 .Изобретение относится к составам для химической обработки поверхности металлов. °
Цель изобретения — повышение шероховатости поверхности и увеличение скорости травления.
Изобретение может быть проиллюстрировано следующими примерами.
Состав растворов и результаты травления приведены в табл. 1.
Перед травлением с поверхности меди удаляли окисный. слой в lOX-ном растворе серной кислоты. Образцы после этого хроматировали в водном растворе со следующим соотношением компонентов, г/л:
Вихромат калия 100
Серная кислота 15
Шероховатость поверхности меди подготовленныхобразцов Р = 0,1 60,20 мкм.
Эксперименты проводили в растворах с температурой 40 С. Выбор данной температуры произведен на основе рекомендаций и по применению известного
„„SU„„1458429 А 1 (57) Изобретение относится к составам для химической обработки медной поверхности. Целью изобретения является повышение шероховатости поверхности и увеличение скорости травления ° Состав содержит, г/л: хлорная медь 6,7-46; хлористый аммоний 107l50; персульфат аммония 40-70. Повышение шероховатости и увеличение скорости травления достигается за счет введения персульфата аммония.
2 табл. раствора и из-за возможности разложения персульфата аммония при более высокой температуре. Активное его разложение происходит при температуре о более 55 С. которая является верхней ф границей рекомендуемой температуры рассматриваемого раствора для травления меди. .4ь
Скорость травления и шерохова- ф тость травленой поверхности меди on- { © ределяли после 3-минутной обработки ф образцов в исследуемом растворе.Продолжительность травления была выбра- на на основе рекомендаций по применению известного раствора.
Как показали предварительные эксперименты, максимальная концентрация компонентов ограничивается из-за выпадения солей в осадок и осаждения кристаллов меди, которые препятствуют дальнейшей обработке поверхности медной фольги, а также уносятся из раствора.
Выпадение солей в осадок прекращается при концентрациях компонентов, 1458429
Таблице I
ПриН6Р рость еле пни и, сн мин рохотость верхности
Pц
Хлорная медь орнстмй Персульфат ммоний аммония
I,57
I 46
0,91
150
Кристаллы на «оверхности
1,20
0,97 я
3 46
4 46
I,30
0,85
Кристаллм на по» верхности
i 50
1,32! Î0
Ов 98
Кристаллм ыа поверхности
1>51
5 60
180
100
1,06.1,4!
6 26
7 6.„7
1,05
130
0i90
0,79
150
0,77
1,07
0,97
0,86
150
6,7
О,?О
0,61
107,0,6
0,50
0,35
0,50
6,7
0,28
0,56
6,7
Не вмдерхивает соотноиенив
107
0,50 (Cu I /(CI,1 4 О, I 0,2
20 приведенные в примере 1 (см. табл.1)
При превышении этих концентраций одним (си. примеры 2-4) или всеми компонентами (cM, пример 5) на поверхности травлений меди выпадают кристаллы соли.
Если концентрация компонентов в допустимых пределах между максимальной (см. пример 1) и минимальной 0 (см.пример 10), то шероховатость и скорость травления меди находятся в заданных пределах (см. пример 6-10).
Нижние пределы концентрации компонентов ограничиваются из эа уменьшения ниже допустимых пределов шероховатости травленой поверхности и скорость травления меди (см, пример 11-14). Таким образом, в резуль. тате экспериментов, описанных в 20 табл. 1, обоснованы границы концентраций компонентов раствора, г/л:
Хлорная медь 6,7-46
Хлористый аммоний 107-150
Персульфат аммония 40-70 25
Проводили исследование влияния добавки персульфата аммония в известный
Концентрация компонентов водного рествооа, г/л
2 60 150 70 раствор (см. табл. 2, опыт 1 4, 7) на шероховатость поверхности травленых образцов и скорости травления раствора.
Предлагаемый .раствор позволяет по сравнению с известным повысить шероховатость травленой поверхности меди в 2-3. раза, а скорость травления в 2-5 раз.
Ф о р м у л а изобретения
Раствор для травления меди, содержащий хлорную медь и хлористый аммоний с. соотношением молярных концентраций ионов меди и ионов хлора (Cu +t /(Ñ1 ) меньше или равным 0,1, отличающийся тем, что, с целью повышения шероховатости поверхности и увеличения скорости травления, раствор дополнительно содержит нерсульфат аммония при следующем соотношении компонентов, г/л:.
Хлорная медь 6,7-46
Хлористый аммоний 1 07-150
Персульфат аммония 40-70
1458429
Т а б л и ц а 2
Опыт
Хлорная медь
Персульфат аммония
Хлористый аммоний
0,41
150
0,35
0,4
1,08
46
l,57
150
0,91
130
0,3
0,31
0,35
0,85
26
130
l,41
1,05
6,7
107
0,28
0,06
0,52
0,23
107
6,7
9,61
0,70
Корректор С. Черни
IЗаказ 331/31 Тирах 938 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Уясгород, ул. Проектная, 4
Соотношение компонентов водного раствора, г/л
Составитель Н. Скопинцева
Редактор Н. Киштулинец Техред Л.Олийньк
Шероховатость, Рд, мкм
CKOp0Ctb травления
° меди, 2 мг/см мин
