Способ измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения ширины линий рисунка иа объектах, например в mi to- графии. Цель - повышение точности измерения - достигается путем умень шения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации . Объект освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения , собирают прошедшие объект излучения , .формируют изображение кзмеряе мой линии, регистрируют профиль риспреде ления интенсивности в изображении по ширине, и по ширине регистрируемого профиля определяют ширину линии. При измерении йирины прозрачной линии пучок ориентируют так,что вектор магнитной напряженности параллелен границам линии, а при измерении. ширины непрозрачной ли1ши пучок ориентируют так, что вектор электрической напряженности параллелен границам линии.. . Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) Ol (51) 5 О1 В 11/02

Ю °

° а

° В

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (46) 15.06.93. Бюл. Р 22 (21) 4198018/28 (22) 24.02.87 (72) В.А. Куликов и С.А. Иноземцев (56) Б ° Jensen, D, Smyt, "Sub-micro

men ter lenght metrology. Problems>

technigues and solutions" Хп "Scanning Plectron Microscopy", Chicago, 1980, р. 396-397. (54) СПОСОБ .ИЗМЕРЕНИЯ ШИРИНЫ ЛИНИЙ

; РИСУНКА ktA ОБЪЕКТАХ, СОДГР)КАЩИХ

ПРОЗРАЧНЫЕ И НЕПРОЗРАЧНЫЕ ЗОНЫ (57) Изобретение относится к измери- тельной технике и может использоваться для измерения ширины линий рисунка на объектах, например в литографии. Цель — повышение точности ..

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения ширины линий рисунка на объектах, например на фотошаблонах в литографии.

Цель изобретения — повышение тоЧности измерения.

Способ осуществляется следующим образом.

Объект, содержащий прозрачные" H непрозрачные эоны, освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения, собирают прошедшее через объект излучение, например, объективом микроскопа и формируют изображение измеряемой линии, Затем регист -курируют профиль распределения интен/й

--7-89 измерения - достигается путем уменьшения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации. Объект освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения, собирают прошедшие объект излучения, формируют изображение измеряемой линии, Регистрируют профиль распределения интенсивности в иэображении по ширине, и по ширине регистрируемого профиля .определяют ширину линии, При измерении п1ирины прозрачной линии пучок ориентируют так,что вектор магнитной напряженности параллелен границам линии, а при измерении. ширины непрозрачной линии пучок ориентируют так„ что вектор электрической напряженности параллелен границам линии.

С:

2, сивности в изображении по"ширине линии и по ширине регистрируемого про

: филя и определяют ширину измеряемой линии. При измерении ширины прозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор магнитной напряженности парал« лелен границам линии, а при измерении ширины непрозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор электрической напряженности параллелен границам линни.

Использование при измерении m; нейно поляризованного оптического из лучения с указанными вьппе свойствами позволяет получить прямоугольное рас" пределение интенсивности в плоскости объекта. В,этом случае теория ФормиСоставитель В. Климова

Техред A.Кравчук," Корректор 0. Кравцо ва

Редактор А. Кондрахина

«»»»»«« «» «»А»» «» «

Заказ 2374 Тираж . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета пб изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Рауаская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул.-Гагарина,101

3 - 1461125 4 .ронания изображений в оптическом излучения, собирают прошедшее через микроскопе указывает,, что границам объект излучение, формируют изобра-, ликии соответствуют точки, имеющие в жение измеряемой линии, регистрируют изображении интенсивность, составляю- 5 профиль распределения интенсивности щую одну и ту же долю интенсивности в изображении. по ширине линии и по от интенсивности падающего пучка,что- ширине регистрируемого профиля между позволяет определить. ширину линии точками, соответствующим границам по. измерению .ширины профиля распреде- линии,.определяют ширину линии,о т, ления интенсивности в изображении ли-.1б .л и ч а .ю шийся тем что, с нии между точками, интенсивность s целью повышения точности измерения, которых однозначнО определяется сте- объект освещают линейно поляризованпенью когерентности йспольвуемого иэ ным излучением, при измерении проэлучения. . рачной линии пучок излучения. ориен, Ф о р.м у л а и s о б р е- т е н и и 16 тируют так, что вектор магнитной напряженности параллелен границам лиСпособ измерения ширины линий ри- нии,. а при измерении непрозрачной писунка наобъектах,содержащих прозрачные нии пучок излучения ориентируют так, :н непрозрачные зоны, заключающийся втои, .: что вектор электрической напряженнос» что объектосвещают пучкомоптического y0,ти параллелен границам линии.