Раствор для травления сплавов

 

Изобретение относится к химичес-г кому травлению металлов и сплавов, в частности никеля и кобальта. Целью изобретения является увеличение скорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов. Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля содержит, мае.%: азотная кислота (d 1,38 г/см ) 40-55; хлорид меди 2-4; щавелевая кислота 3-5; соляная кислота (d 1,18 г/см) 15-25; вода остальное. Введение таких компонентов, как щавелевая кислота и хлорид меди повышает скорость травления и уменьшает растравливание рельефных элементов по контуру, 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (1Ю (11) А1

ug 4 С 23 F 1 08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4189367/23-02 (22) 02.12.86 (46) 30.03.89. Бюл.1(12 (72) Л.Д.Гусева, В.Ф.Золотова и И.Д.Енученко (53) 621.794,4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1(- 1127914, кл. С 23 F 1/00, 1984, Авторское свидетельство СССР

Ф 526652, кл. С 09 К 13/00, 1976. (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ CEIABOB (57) Изобретение относится к химичес кому травлению металлов и сплавов, в частности никеля и кобальта. Целью

Изобретение относится к химическому травлению металлов и сплавов, в частности сплавов на основе кобальта и никеля, и может быть использовано в производстве изделий электронной .техники.

Целью изобретения является увеличение скорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов по контуру

Лредлагаемый раствор содержит мас.7:

Азотная кислота (d 1,38 г/см ) 40-55

Хлорид меди 2-4 щавелевая кислота 3-5

Соляная кислота (d = 1,18 г/см ) 15-25

Вода Ост альное

Изобретение может быть проиллюстрировано следующими примерами (табл.

1). изобретения является увеличение скорости травления и уменьшение растравливания рельефных элементов.

Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля содержит, % мас.X: азотная кислота (d 1,38 г/см )

40-55; хлорид меди 2-4; щавелевая кислота 3-5; соляная кислота (d 1,18 г/см ) 15-25; вода остальное, Введение таких компонентов, как щавелевая кислота и хлорид меди повышает скорость травления и уменьшает растравливание рельефных элементов по контуру, 2 табл.

Сочетание хлорида меди и соляной кислоты применялось ранее для травления алюминия и его сплавов.

Состав, вес.Х:

Хлорид меди 2-5

Соляная кислота 30-40

Хлорид аммония 4-5

Окись меди 10-15

Вода Остальное

Количество соляной кислоты в предлагаемом и известном растворах различно. В известном составе аморфный сплав не травится.

Сочетание азотной кислоты и щавелевой кислоты применялось для травле". ния сплавов серебра.

Состав, вес.Х;

Азотная кислота 20-35

Глицерин 0,05-0,1

Щавелевая кислота 15-25

Диэтиленгликоль 0,05-0,1

Вода Остальное

1468967

Из вышеизложенного можно заключить, что применение предлагаемого электролита позволяет улучшить свойства травления сплава, увеличить скорость травления, обеспечить точное воспроизведение изображения схемы и снизить трудоемкость за счет уменьшения времени травления.

Формула изобретения

Раствор для травления сплавов на основе кобальта и никеля, содержащий смесь неорганических кислот, органическую кислоту и воду, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью увеличения скорости травления и уменьшения растравливания рельефных элементов по контуру, он дополнительно содержит хлорид меди, а в качестве неорганических кислот и органической кислоты - соответственно смесь азотной с соляной и щавелевую кислоту при следу ющем соотношении компонентов, мас.й:

Азотная кислота (d 1,38 г/см ) 40-55

Соляная кислота (d=l,18 г/см ) 15-25

Шавелевая кислота 3-5

Хлорид меди 2-4

Вода Остальное

Таблица 1

Рецептура предла- Состав, вес.й по примерам гаемого раствора

1 2 3 4 5

Аз отн ая ки сло т а

Хлорид меди

Щавелевая кислота

Соляная кислота

Вода

Характеристика полученных результатов

35 40 48 55

1 2 3 4

2 3 4 5

10 15 17 25

52 40 28 11

Защитное Зашитное покрытие покры- не нарушено. Хинитие мальная ширина элеслегка мента 50/100 мкм н арушено та

Количество азотной и щавелевой кислоты отличается от предлагаемого.

В указанном растворе травление аморфного сплава не происходит. 5

Сочетание азотной и соляной кислоты применялось для травления металлов преимущественно напыленной структуры ванадий — медь — никель. Количество азотной и соляной кислот от- 1О личается от предлагаемого.

Введение в раствор щавелевой кислоты позволяет сократить время травления и тем самым получить более качественное изображение. В известных 15 растворах для травления металлов щавелевая кислота выполняет роль буферирующей и ингибирующей добавки. В предлагаемом растворе она используется для интенсификации процесса травления 20 преимущественно кобальтового сплава °

Хлорид меди способствует равномерному травлению. В данном растворе сочетание соляной кислоты с определенным количеством хлорида меди спо- 25 собствует образованию иона (CuC1< ), оказывает смягчающее травящее действие на кобальтовый сплав 71КНСР.

Преимущества предложенного трави- 3р теля пр едст авл ены в т абл. 2 (тр авле" нию подвергали сплав 71KHCP).

6

Защитное покрытие нарушено, произошел растрав зле мен"

1468967

Таблиц а 2

Компоненты и показатели

Предлагаемый

Прототип

48

20 разрушается. Частичное нарушение защитного слоя, преимущественно по контуру

Растравливание элементов по контуру,мкм На 2-3

На 8-lO

Составитель И.Пиоттух

Техред М.Дидык

Корректор О, Кравцова

Редактор Y.Áàíäóðà

Заказ 1320/27

Тирак 938

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35 ° Раушская иаб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина ° 101

Азотная кислота

Соляная кислота

Серная кислота

Щавелевая кислота

Уксусная кислота

Хлорид меди

Трилон Б

Фенилмочевина

Вода

Время травления, мин

Стойкость фоторезиста при травлении Не

34

l6

l8

0,7

0,3

31