Патент ссср 156714

 

Класс 6 01Ь; 4211, 34т1 № 156714

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа № 170

Б. А. Чунин и С. С. Качкин

ИНТЕРФЕРОМЕТР

Заявлено 5 мая 196! г. за ¹ 729180j26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Онуб.;иковаво в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» ¹ 16 за 1963 г.

Известные иптерферометры для контроля сферических и асферических поверхностей, снабженные пробным стеклом и оптической головкой, IIc позволяют измерять профиль поверхностей с большим углом раскрытия. Кроме того, из-за искажения интерференционной картины при наблюдении ее через пробное стекло невозможно наблюдать интерфереццпю при углах падения света, больших критического, так как прп этом происходит полное внутреннее отражение света.

Б предлагаемом интерферометре измерение профиля поверхностей с большим углом раскрытия (больше 180=) достигнуто тем, что пробное стекло ьыполнено в виде мениска, а оптическая головка снабжена поворотным механизмом, служащим для вращения головки вокруг центра кривизны мениска, с которым совмещен центр кривизны исследуемой псверхности.

На чертеже приведена оптическая схема описываемого интерферометра.

Лучи света от монохроматического источника 1 конденсором 2 направляются в точечную диафрагму 3, находящуюся в фокусе объектива 4. Отразившись от полупрозрачного зеркала б и зеркала б, лучи проходят объектив 4 и в виде параллельного пучка отражаются от зеркал 7 и 8 и дают изображение диафрагмы в точке 16, расположенной ; фокальной плоскости объектива 9.

Пробное сферическое стекло 10, выполненное в виде мениска, ðàñполагается таким образо..,r, чтобы центр кривизны его рабочей поверхности был совмещен с точкой 16. Исследуемая поверхность 11 устанаг>ливается так, чтобы центр кривизны ее вершины (или любой зоны) был № 156714

Предмет изобретения

Интерферометр для измерения профиля сферических и асферических поверхностей, снабженных пробным стеклом и оптической проекционно-измерительной головкой, отл ич а ю щи йс я тем, что, с целью измерения профиля поверхностен с большим углом раскрытия (больше 180 ), пробное стекло выполнено в виде мениска, а оптическая головка снабжена поворотным механизмом, служащим для вращения головки вокруг центра кривизны мениска, с которым совмещен центр кривизны исследуемой поверхности.

/2 13

Редактор С. Л. Богатырева

Техред В. П. Кр аснова Корректор Шпынева

Поди. к печ. 5/II — 64 г. Формат бум. 70Х 108 /io Объем 0,18 изд. л.

Заказ 3602/3 Тираж 650 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, п р. Сапунова, 2 совмещен с той же точкой. При этом пучок лучей падает по нормалям к поверхности пробного стекла !О и к исследуемой асферической поверхности и, отразившись от обеих, лучи интерферируют и совершают тот же путь в обратном направлении. Пройдя через полупрозрачное зеркало 5, пучок лучей попадает в телескопическую лупу по сетке 12, по которой и производится наводка поворотной системы па интерфсренционные полосы, наблюдаемые через окуляр 18. Отсчет угла поворота (т. е. полярный координатный угол полосы интерференции) произгодится с помощью лимба 14. Оптическая головка, содержащая зеркало 15, сетку 12, лимб 14, "åðêàëà б,,7,,8, объективы 4 и 9, снабжена поворотным механизмом.

Описанный интерферометр обеспечивает точность измерения профиля полированных асферических поверхностей с точностью до 0,5 интерференционной полосы при условии, что отклонения измеряемой поверхности от профиля ближайшей сферы не превышают 50 — 100 ик.

Воздушный зазор между сферическим пробным стеклом 10 и исследуемой деталью может достигать 12 — 15 мм. Таким образом, с помощью одного пробного стекла можно контролировать целый ряд поверхностей, радиусы которых лежат в данном интервале,