Патент ссср 159089

Авторы патента:

C23C14/50 - держатели подложек

C23C14/22 - характеризуемые способом покрытия

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ

И.З О Б Р E T Е Н И.Н

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 159089

Класс48Ь, 1- о

ЪЕПК С 23с

Заяалено 16.VI.1962 (¹ 813637 22-2) ГОЮУААРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО AEhAM

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

Опубликовано 22.Х1.1963. Бюллетень ¹ 23

Подггисггая грутга ¹ 208

М. И, Якунин

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ВЕЩЕСТВ

МЕТОДОМ КАТОДНОГО РАСПЪ|ЛЕНИЯ » с устройствах для получения Прн папессiillli покрытий на диэлектрнчсеществ кятодг!ыл! распылением сине подложl и 2нод031 служат две ялюмнннсОлнсны В виде сектОрных пл а- вые Ilpo»oлоl н О, Iioiiещ! нныс межд като;10: н по;!.чожl а ми. этого электроды описываемо- Процесс распылегн!я ведется в среде аргоимеют протяженную форму, i!а, пРн;!авленнн .0,02 31-1! Рт. ст,, непРСРывки асположены вок уг като- НОН ОТКЯЧКЕ К!1 1ЕРЫ II ПО;1ЯЧС 2РГОН2.

Предмет изобретения

В известных тонких слоев в электроды вып стин.

В отличие от

ro устройства причем подлож р р. да на расстоянии, сравнительно меньшем его длины.

Это позволяет экономить распыляемые материалы и увеличивает производительность устройства.

На чертеже изображено описываемое устройство, общий i:Iiz. Оно представляет собой распылительную камеру 1. В полости ее, в центре, на проходном изоляторе 2 укреплен проволочный катод 8. Подложка 4 цилиндрической формы расположена коакснально катоду.

Устройство для полу-!BI!IIII ToiiIilIx c210åè веществ методом катодного рас1!ылсння, о тл ич а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения производительности устроЙства Ii ai

5g() gg

Состави re.is T. Фирсова

Рсдактор И. Л. Якубович Техред Л. К. Ткаченко Корректор Т. Д. Хромцева

Поди. и печ, 8/XII вЂ” б3 r. <1>орииar бум. 60/90, „ Объем 0,23 изд, си

Заказ 3!70/3 Тираж !450 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государствеппого комитета Ilo, ÷ñëà;,i изобретений! и открытии СССР

Москва, IJpliTIJ, Jlp Серова, д, 4

Типография, пр. Сапуцива, 2

Патент 152997 // 152997

Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме // 2114210

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме, а более точно к способу формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме

Способ вакуумного нанесения тонких пленок // 2135633

Изобретение относится к технической физике, в частности к способу вакуумного нанесения тонких пленок на поверхность твердого тела

Способ обработки металлических лент или проволоки в вакууме и устройство для его реализации // 2153025

Изобретение относится к области очистки поверхности лент или проволоки в вакууме с последующим нанесением на нее защитных покрытий и можетт быть использовано в металлообрабатывающих отраслях промышленности

Электропроводящий наполнитель // 2199556

Изобретение относится к электропроводящему наполнителю для проводящего синтетического материала для использования в качестве экранирующего уплотнения

Способ электронно-плазменного нанесения металлических покрытий // 2218449

Изобретение относится к технике нанесения покрытий и может быть использовано в металлургии, машиностроении и других областях техники для создания защитных покрытий из цинка, никеля, хрома или их комбинаций

Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме // 2240376

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме и может найти применение при изготовлении режущего, формообразующего, измерительного инструмента, деталей узлов трения и деталей точного машиностроения

Способ получения алмазоподобной пленки // 2254397

Изобретение относится к получению сверхтвердых покрытий в вакууме, к способам формирования алмазоподобного покрытия и может быть использовано в электронной и эмиссионной технике, в качестве покрытий оптических деталей и в качестве декоративных покрытий

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 2271409

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к установкам для нанесения покрытий в вакууме, и может быть использовано в электрографии, машиностроении, радиоэлектронной и других отраслях промышленности

Способ изготовления тонких металлических пленок // 2276697

Изобретение относится к области получения тонких металлических пленок и может быть использовано как для получения свободных сверхтонких металлических пленок, например, сусального золота, платины и др., так и последующего нанесения этих пленок на разнообразные подложки

Способ изготовления на подложке из специального сплава защитного покрытия, образующего тепловой барьер, со связующим подслоем и изделие, полученное этим способом // 2287609

Изобретение относится к изготовлению изделий, содержащих защитное покрытие, образующее тепловой барьер, и которое может быть использовано для изготовления деталей газовых турбин, таких как турбинные лопатки турбореактивных двигателей

Устройство перемещения подложкодержателя // 2115764

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Левитирующее транспортное устройство для перемещения изделий внутри вакуумного объема // 2198241

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Установка для нанесения покрытий // 2213159

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Устройство для нанесения покрытия на бутылки и транспортирующий орган для бутылок // 2259315

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали и устройство для его реализации (варианты) // 2450086

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Устройство для нанесения диэлектрических покрытий на внутреннюю поверхность подложек полусферической формы // 2087587

Система охлаждения подложек в вакууме // 2089662

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке // 2020190