Автоматическая линия для металлизации плоских деталей
Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий , в частности, к автоматическим линиям для осаждения металлов на платы микросборок. Цель изобретения - повышение качества обработки. Автоматическая линия для металлизации плоских деталей, например подложек, содержит ряд ванн с опороловителями, автооператоры 3, катодные штанги, кассеты 5 и механизмы загрузки-разгрузки 6, включая накопители. Накопители выполнены в виде кольцевого конвейера 8, установленного на валу 12 и связанного с мотор-редуктором 9 через шестерни 10 и 11. Концентрично валу 12 расположен опорный диск с ложементами, имеющими штифты для фиксации кассет с обрабатываемыми изделиями. Адрес необходимой кассеты 5 определяется датчиками, которые отключают привод кольцевого конвейера, после чего необходимая кассета устанавливается под окном выгрузки 20. Автооператор 3, перемещаясь вертикально вниз, открывает шторки 21, захватывает пневматическими схватами кассету 5, устанавливает ее на механизм загрузки-разгрузки 6 последующего модуля, который подает из кассеты 5 подложку в ловитель, где она фиксируется путем создания под ней зоны разрежения. При подъеме ванны 1 ее обод взаимодействует с рычажными токоподводами, обеспечивая токоподвод. Электролит из системы рециркуляции поступает в коллектор, где распределяется по форсункам, после чего через слив и каскад фильтров поступает в систему рециркуляции. После обработки подложка промежуточными транспортерами подается в зону механизма загрузки-разгрузки 6, где устанавливается в кассету 5. После полной загрузки кассеты автооператор 3 устанавливает ее в накопитель, при этом кассета 5 идентифицируется датчиками и заносится в память системы управления. В зону хранения кассет 5 в накопителе под кожух 19 подается инертный газ, предохраняющий обработанную поверхность от воздействия окружающей среды. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
ÄÄSUÄÄ15() 7883
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ IlO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 4272639/23-02 (22) 01.07.87 (46) 15.09.89. Бюл. № 34 (72) Д. И. Лившиц, А. А. Дуфник, В. Ф. Юзвишин и О. В. Тритько (53) 621.357.14.002.51 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР ¹ 836242, кл. С 25 D 19/00, 1981. Авторское свидетельство СССР № 1242544, кл. С 25 D 15/00, 1984. (54) АВТОМАТИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЛ (57) Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий, в частности к автоматическим линиям для осаждения металлов на платы микросборок. Цель изобретения — повышение качества обработки. Автоматическая линия для металлизации плоских деталей например подложек, содержит ряд ванн с опороловителями, автооператоры 3, катодные штанги, кассеты 5 и механизмы загрузки-разгрузки 6, включая накопители. Накопители выполнены в виде кольцевого конвейера 8, установленного на валу 12 и связанного с мотор-редуктором 9 через шестерни 10 и 11. Концентрично валу 12 расположен опорный диск с ложементами, имеющими штифты для фиксации кассет с обрабатываемыми изделиями. Адрес необходимой кассеты 5 определяется датчиками, которые отключают привод кольцевого конвейера, после чего необходимая кассета устанавливается под окном выгрузки 20. Автооператор 3 перемещаясь вертикально вниз, открывает шторки 21, захватывает пневматическими схватами кассету 5, устанавливает ее на механизм загрузки-разгрузки 6 последующего модуля, который подает из кассеты 5 подложку в ловитель, где она фиксируется путем создания под ней зоны разрежения. При подъеме ванны 1 ее обод взаимодействует с рычажными токоподводами, обеспечивая токоподвод. Электролит из системы рециркуляции поступает в коллектор, где распределяется по форсункам, после чего через слив и каскад фильтров поступает в систему рециркуляции. После обработки подложка промежуточными транспортерами подается в зону механизма загрузки-разгрузки 6, где устанавливается в кассету 5. После полной загрузки кассеты автооператор 3 устанавливает ее в накопитель, при этом кассета 5 идентифицируется датчиками и заносится в память системы управления. В зону хранения кассет 5 в накопителе под кожух 19 подается инертный газ, предохраняющий обработанную поверхность от воздействия окружающей среды, 4 з.п.ф-лы, 4 ил. 1507883 Изобретение относится к технологическому оборудованию для химического и гальванического осаждения металлов, в частности к автоматическим линиям для осаждения металлов на платы микросборок. Цель изобретения — повышение качества обработки. На фиг. 1 изображена автоматическая линия для метализации подложек, вид сверху; на фиг. 2 — накопитель с манипулятором; на фиг. 3 — гальванический технологический блок; на фиг. 4 — узел 1 на фиг. 2. Автоматическая линия для металлизации плоских деталей содержит ряд ванн 1 с ловигелями 2, расположенных по ходу технологического процесса, автооператоры 3, катодные штанги 4, кассеты 5 и загрузочноразгрузочные механизмы 6, включающие накопители 7, содержащие кольцевой конвейер 8, установленный на связанном с мотор-редуктором 9 через пару зубчатых колес I0 и 11 на вертикальном валу 12, концентрично которому расположены опорный диск с равномерно распределенными ложементами 13, имеющими штифты 14 для фиксации и центрирования кассет и ряд датчиков 15 для их идентификации и опорная поворотная стойка 16 манипулятора, несущая траверсу 17 с направляющими 18 продольного перемещения автооператора 3. Кольцевой конвейер 8 помещен в герметичный цилиндрический кожух 19, внутренний объем которого соединен с магистралью подачи инертного газа, а на верхней крышке которого имеется окно 20, содержащее шторки 21. Ванна 1 входит в состав каждого из трех, связанных между собой промежуточными транспортерами 22 технологических блока, первый из которых является блоком активации 23, второй — гальваническим блоком 24 и третий блоком отмывки и сушки 25, при этом первый 23 и последний 25 блоки снабжены механизмами 6 загрузки-разгрузки кассет 5. Гальванический технологический блок 24 содержит ловитель 2 в виде вакуумного патрона, концентрично которому расположена ванна 1, слив 26 которой соединен с системой рециркуляции электролита 27, а верхний обод 28 кинематически связан с рычажными токоподводами 29, установленными в каретки 30, помещенные в пазы катодной штанги 4, расположенной по сторонам коллектора 31, состоящего из связанных с системой рециркуляции 27 форсунок 32. Слив 26 каждой ванны 1 соединен с автономной системой рециркуляции электролита 27 через каскад фильтров 33, из которых первым 34 содержит в фильтровальных элементах активированный уголь 35, Линия работает следующим образом. Вращение на кольцевой конвейер 8 с ложементами 13, в которых установлены кассеты 5, передается через вал 12 и пару зубчатых колес 10 и 11 от мотор-редуктора 9. Адрес необходимой кассеты определяется датчиками 15, которые подают сигнал на отключение привода кольцевого конвейера 7, после чего необходимая кассета устанавливается под окном выгрузки 20. Автооператор 3, находящийся в своем исходном положении над окном 20, перемещаясь вертиТакое конструктивное выполнение автоматической линии позволяет повысить компоновочную гибкость линии, а также улучшить качество обрабатываемых изделий. Формула изобретения 1. Автоматическая линия для металлизации плоских деталей, преимущественно плат микросборок, содержащая ряд ванн с ловителями, расположенных по ходу технологического процесса, автооператоры, подвески, катодные штанги, кассеты, загрузочноразгрузочные манипуляторы, токоподводы и накопители, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки, накопители выполнены в виде герметичного цилиндрического кожуха, размещенного в нем манипулятора с закрепленным на нем с возмож50 55 кально вниз, открывает шторки 21, захватывает пневматическими схватами кассету 5, извлекает ее из накопителя и, перемещаясь по направляющей 18 вдоль траверсы 17, которая устанавливается в нужном положении, вращаясь относительно оси опорной поворотной стойки 16, устанавливает кассету 5 на механизм загрузки-разгрузки 6 последующего модуля. Механизм загрузкиразгрузки 6 подает из кассеты 5 подложку на ловитель 2, где она фиксируется путем создания под ней зоны разрежения. При подъеме ванны 1 обод 28 взаимодействует с рычажными токоподводами 29, прижимая их 2О к поверхности подложки, тем самым обеспечивая токоподвод. Электролит с системы рециркуляции 27 поступает на коллектор 31, где распределяется по форсункам 32. Затем, поступая в ванну 1, электролит стекает через слив 26 и подается через каскад фильтров 33, первый из которых 34 содержит активированный уголь 35, в систему рециркуляции 27. После обработки подложка подается промежуточными транспортерами 22 в зону механизма загрузки-разгрузки 6, где устанавливается в кассету 5. После полной загрузки кассеты 5, она захватывается автоопера;"ором 3, который .подает и устанавливает ее между центрирующими и фиксирующими штифтами 14 свободного ложемента 13 кольцевого конвейера 8 накопителя 7, при этом кассета 5 идентифицируется датчиками 15 и заносится в память системы управления. В зону хранения кассет 5 в накопителе 7, ограниченную герметичным цилиндрическим кожухом 19 подается инерт4О ный газ, предохраняющий поверхность подложек от воздействия окружающей среды. 1507883 77 53 54 27 13 54 27 У 1 УГЛ 1 72Ì1 75 Ф 32 5 ностью дискретного поворота. вокруг вертикальной оси кольцевым конвейером, опорного диска с равномерно расположенными ложементами с элементами для фиксации и центрирования кассет и датчиками их идентификации, установленного концентрично конвейеру, при этом манипулятор выполнен в виде траверсы с направляющей для продольного.перемещения автооператора, а кожух соединен с магистралью подачи инертного газа и имеет в верхней части окно со 10 шторкой. 2. Автоматическая линия по п. 1, отличающаяся тем, что она выполнена,в виде соединенных между собой транспортерами технологических блоков, первый и третий из которых выполнены с механизмами загрузкиразгрузки кассет, а второй, гальванический 6 блок, — с ловителем в виде вакуумного патрона. 3. Автоматическая линия по пп. 1 и 2, отличающаяся тем, что гальванический технологический блок выполнен в виде ванны, соединенной через каскад фильтров с системой регенерации электролита, коллектора с форсунками и катодной штанги, в которой выполнены пазы для размещения кареток. 4. Автоматическая линия по пп. 1 — 3, отличающаяся тем, что токоподводы выполнены рычажными, установлены в каретке катодной штанги и кинематически связаны с верхом ванны. 5. Автоматическая линия по пп. — 3, отличающаяся тем, что первый фильтр каскада выполней с фильтровальными элементами в виде активированного угля. 1507883 Составитель В. Комраков Редактор И. Сегляник Техред И. Верес Корректор Т. Малец Заказ 5456 34 Тираж 605 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
