Компенсатор для контроля формы асферических поверхностей

 

Изобретение относится к оптическому контролю формы асферических зеркал и может быть использовано в интерферометрических схемах контроля. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и расширение диапазона параметров контролируемых поверхностей. Гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А преобразуется плосковогнутой линзой 1 и положительным мениском 2 в негомоцентрический, лучи которого являются нормалями к теоретически точной поверхности 3 зеркала. После отражения от реальной поверхности 3 зеркала лучи снова проходят мениск 2 и линзу 2. Отличие выходного пучка от идеального гомоцентрического характеризует степень отклонения поверхности 3 от теоретически точной поверхности и регистрируется в схеме лазерного интерферометра. Относительное отверстие контролируемых зеркал до 1:0,25. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

PECflYE»ËÈH

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

8 E 098

ПА1ы.: ». », : »Б»Й

Су

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4376080/31-10 (22) 11.02 ° 88 (46) 15.02 ° 90, Бюл. Р 6 .(71) МВТУ нм. Н.Э. Баумана (72) Л.т. Пуряев Н.Л. JIasАрева и М.А. Турчков (53) 531. 715. 27 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР 1» 746232, кл. С; 01 М 11/00, 1978. (54) КОМПЕНСАТОР ЛЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ

АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к оптическому контролю формы асферических sepкал и м.б. использовано в интерферометрических схемах контроля ° Цель изобретения — расширение функциональных возможностей эа счет обеспечения

„„Я0„„1543276 A 1 (51)5 G 01 M 11/00, G 01 В 9/02

2 контроля выпуклых поверхностей и расширение диапазона параметров контролируемых поверхностей. Гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А преобразуется плосковогнутой линзой 1 и положительным мениском 2 в негомоцентрический, лучи которого являются нормалями к теоретически точной поверхности 3 зеркала. После отражения от реальной поверхности 3 зеркала лучи снова проходят мениск 2 и линзу 1.

Отличие выходного пучка от идеального гомоцентрического характеризует степень отклонения поверхности 3 от тет оретически точной поверхности и регистрируется в схеме лазерного интер- Я ферометра. Относительное отверстие контролируемых зеркал до 1:0,25. 1 ил.

154327 б

В конкретном примере выполнения компенсатор используется для контроля формы выпуклого зеркала, асферическая поверхность которого задана уравнением, х + у — 48з — 1,6И = О.

Остаточные волновые аберрации данной системы при автоколлимационном ходе лучей не превышают 1 мкм, что позволяет при реально выполненной асферической поверхности наблюдать интерференционную картину в виде

1,5 колец, что на порядок ниже допуска на форму таких поверхностей.

В данном случае относительное оч- верстие контролируемой гиперболической поверхности D:f = 1:0,25 и ее контроль известными способами и средствами с такой же точностью практически невозможен.

Формула изобретения

Корректор И. Муска

Компенсатор для контроля формы асферических поверхностей, содержащий две линзы, вторая из которых положительный мениск, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей, первая линза выполнена плосковогнутой и обращена вогнутой поверхностью к положительному мениску, при этом положительный мениск обращен вогнутостью к контролируемой поверхности.

В. Архипов

ык

Заказ 395 Тираж 440 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Произнод<.твенно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðoä, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля формы выпуклых асфери-. ческих поверхностей вращения.

Цель изобретения — расширение функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и рашсирение диапазона параметров кОнтролируемых поверхностей, 10

На чертеже изображена принципиальная схема компенсатора.

Компен сатор содержит, плоско-вогнутую линзу, положительную менисковую линзу 2 и контролируемую поверхность

3. Буквой А обозначена вершина гомо 1ентрического пучка лучей; $ — расстояние от точки А до первой поверх ости компенсатора; С0 — центр кривизны при вершине асферической по- 20

Верхности; С вЂ” точка пересечения

Крайней нормали с оптической осью;

6 — апертурный угол крайнего луча

Входящего пучка.

Коипенсатор работает следующим 25

Образом„

Гомоцентрический пучок лучей, идущих из точечного монохроматического ! источника излучения, расположенного в точке А,. преобразуется линзами 1 30 и 2 компенсатора в негомопентрический, лучи которого являются нормалями к контролируемой асферической поверхности 3. Отразившись от контролируемой поверхности, лучи вновь проходят через компенсатор, формируя гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А.

Таким образом, компенсатор формирует волновой фронт, форма которого 40 совпадает с теоретической формой контролируемой поверхности. Это обеспечивается эа счет указанной конструкции компенсатора и его установки относительно контролируемой поверхности и 5 источника излучения, описанных выше.

При использовании компенсатора в системе лазерного интерферометра процесс контроля формы поверхности 3 сводится к анализу формы волнового фрон- 50

Составитель

Редактор М. Петрова Техред M.Äèä та, вышедшего иэ компенсатора. Если форма контролируемой поверхности не совпадает с теоретической, то отраженный волновой фронт получит искажения: фронт, вышедший из компенсатора в обратном ходе лучей, будет несферическим. Величину его несферичности определяют по виду интерференционной картины, возникающей в результате взаимодействия данного волнового фронта с эталонным сферическим фронтом.