Устройство для загрузки изделий в вакуум

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для шлюзовой загрузки изделий в вакуумную камеру. Цель изобретения - повышение надежности в работе - достигается в результате увеличения герметичности устройства при загрузке изделий сложной формы. Устройство содержит заполненный ферромагнитным порошком полый корпус 1, поршни 4 и 5 с электромагнитами 6 и 7, размещенными в плоскости оси симметрии корпуса 1. Каждая пара электромагнитов 6 и 7 установлена соосно с возможностью уплотнения порошка при траспортировании держателя (изделия). Дополнительные электромагниты 10 - 15 размещены равномерно с внешней стороны корпуса 1 с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси симметрии корпуса 1. Магнитные потоки электромагнитов 10 - 15 концентрируются у поверхности изделия и уплотняют порошок, что предотвращает его отрыв от движущейся поверхности изделия. 2 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к шлюзовым системам загрузки и выгрузки изделий, и может быть использовано в машиностроительном и прокатном производстве. Цель изобретения - повышение надежности в работе за счет увеличения герметичности устройства при транспортировании изделий сложной формы. На фиг. 1 приведена принципиальная конструктивная схема устройства, разрез; на фиг.2 - вид на устройство сбоку. Устройство состоит из ряда идентичных шлюзовых камер (показана одна шлюзовая камера), между которыми имеется ряд камер понижения давления (не показаны). Шлюзовая камера содержит корпус 1 из немагнитного материала и по крайней мере два вспомогательных корпуса 2 и 3, расположенных в плоскости, перпендикулярной продольной оси 0102 шлюзовой камеры, соединяющей геометрические центры 01 и 02 щелей для ввода и вывода из вакуумной камеры изделий, внутри которых смонтированы подвижные стенки-поршни 4 и 5, сжимающие порошок в камере. Поршни имеют катушки возбуждения 6 и 7, создающие магнитные потоки Ф3. С внешней стороны корпуса 1 смонтированы кольцевые магнитопроводы 8 и 9, вдоль которых по радиусам R могут перемещаться дополнительные электромагниты 10-15, которые могут крепиться с помощью стопоров 16, 17 в любом месте кольцевых магнитопроводов 8 и 9, создавая тем самым концентрированные магнитные поля нужной формы, пронизывающие поверхность изделия преимущественно вдоль направлений, перпендикулярных этой поверхности. Подача порошка, обладающего магнитными свойствами, осуществляется путем вдува через патрубки 18, 19, а удаление - через патрубки 20, 21, 22. Прижим поршней 4, 5 осуществляется гидроцилиндрами 23, 24. Электромагниты 10-15 состоят из сердечников 25-30, установленных по скользящей посадке по диаметру = 2RF, и катушек возбуждения 31-36, которые установлены с возможностью быстрой замены на другие катушки, с большим или меньшим количеством витков. Перемещение электромагнитов осуществляется с помощью механизмов 37-42. Устройство работает следующим образом. С помощью пневмотранспорта или другим способом в корпус 1 нагнетается гранулированный ферромагнитный порошок. Предварительно через шлюз пропускается изделие, например двутавр. С помощью поршней 4 и 5 порошок сжимается и плотно прилегает к поверхности изделия и внутренним стенкам шлюза. Подается питание на катушки возбуждения 31-36, и порошок намагничивается. После этого с помощью датчиков магнитной индукции (не показаны) устанавливается величина магнитной индукции у поверхности изделия и вручную или автоматически: с помощью механизмов перемещения 37-42 перемещают электромагниты 10-15 в положения, при которых магнитная индукция у поверхности изделия достигает максимума. При перемещении электромагнитов 10-15 по магнитопроводам 8 и 9 происходит перемещение магнитных потоков Ф1, Ф2, Ф3 и их уплотнение (концентрация) у поверхности изделия, а индукция достигает максимума. В результате порошок плотнее прижимается к поверхности изделия и герметизирует вакуумную камеру. Расположение дополнительных электромагнитов с внешней стороны корпуса шлюза увеличивает его ремонтопригодность. Размещение электромагнитов в одной плоскости на единим магнитопроводе по периметру корпуса шлюза позволяет перемещать их в пространстве относительно поперечного сечения изделия, добиваясь максимальной концентрации магнитных потоков у поверхности изделия, что повышает плотность гранулированного материала и предотвращает его отрыв от поверхности изделия при его движении через шлюз, который становится более надежным в работе. Размещение вдоль шлюза датчиков магнитной индукции позволяет следить в автоматическом режиме за изменением величины магнитной индукции и в случае ее понижения в какой-либо из зон изменять положение отдельных дополнительных электромагнитов путем включения механизмов перемещения электромагнитов. Расположение механизмов уплотнения наполнителя за пределами шлюза в плоскости, перпендикулярной его продольной оси, позволяет увеличить его ремонтопригодность и обеспечить наибольшее сжатие наполнителя у поверхности шлюзуемого изделия.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее заполненный ферромагнитным порошком полый корпус с откачным патрубком и поршнями с электромагнитами, каждая пара которых установлена соосно с возможностью уплотнения порошка в объеме корпуса, и подложкодержатель, размещенный в полости корпуса с возможностью поступательного перемещения между поршнями вдоль продольной оси симметрии корпуса, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности за счет увеличения герметичности устройства при загрузке изделий сложной формы, оно снабжено дополнительными электромагнитами, размещенными равномерно с внешней стороны корпуса с возможностью их перемещения в плоскости, перпендикулярной продольной оси симметрии корпуса, а поршни размещены в плоскости этой оси симметрии.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании

Изобретение относится к технике производства пленочных покрытий

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и электронной промьшшенности для ко.нтроля толщины покрытий

Изобретение относится к обработке изделий в вакууме
Изобретение относится к способам получения керамических мишеней для нанесения покрытий в вакууме катодным распылением и может быть использовано при изготовлении пленочных интегральных схем с сегнетоэлектрическими элементами

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в вакуумных установках со шлюзовыми системами и устройствами нанесения покрытий

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент
Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы
Наверх