Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса при обезгаживании. Пакет (П) 6 дисков, установленный в центре инерции ротора (Р) 4, сжат в осевой зоне распорными элементами в виде сильфонов (С) 7 с рабочим телом (РТ), например галлием, уменьшающим свой объем при плавлении. При этом периферийная часть П 6 имеет увеличенную толщину. Прогревая насос при пониженных оборотах Р 4, обеспечивают плавление РТ, ослабление сжатия в осевой зоне и уменьшение толщины на периферии П 6, исключая задевание его о статорные диски. При окончании прогрева и разгоне Р 4 до рабочих оборотов С 7 расширяются, сжимают П 6 в осевой зоне, а в периферийной его толщине не увеличиваются вследствие центробежных сил. 2 ил.

Сааз СОНЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (i9) (1}) А2 (51) 5 F 04 Э 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОЧНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (61) 1448111 (21) 4427055/25-29 (22) 23.05.88 (46) 07.03.90. Бюл. Р 9 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н,И.Лобачевского (72) В.П.Иванов и В.Н.Христачев (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

0- 1448111, кл. Г 04 П 19/04, 1987. (54) ИОПЕКУЛЯРНЬ Й ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57} Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить надежность насоса при обезгаживании, 2

Пакет (П) 6 дисков, установленный в центре инерции ротора (Р) 4, сжат в осевой зоне распорными элементами в виде силъфонов (С) 7 с рабочим телось( (FT), например галлием, уменьшающим свой обьем при плавлении, При атом периферийная часть П 6 имеет увели-ченную толщину. Прогревая насос прн пониженных оборотах P 4, обеспечивают плавление РТ, ослабление сжатия в осевой зоне и уменьшение толщины на периферии П б, исключая задевание его о статорные диски. При окончаМ и прогрева и разгоне Р 4 до рабочих оборотов С 7 расширяются, сжимают П 6 в осевой зоне, а в периферийной его толщине не увеличиваются вследствие центробежных сил, 2 ил.

1548529

Изобретение относится.к области вакуумной техники, а именно к конструкциям молекулярных ваукумных насосов и является усовершенствованием и обретения по авт.св. Р 1448111.

Цель изобретения — повышение надеж"ности насоса при обезгаживании.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез, на фиг.2 — узел распорных 1п элементов.

Иолекулярньп вакуумный насос содержит корпус 1 со статорными дисками 2 и размещенный в нем на магнитной подвеске 3 ротор 4 с рабочими дисками 5. 15

Ротор 4 снабжен пакетом 6 дисков, аналогичных рабочим дискам 5, установленным в центре инерции ротора 4, рабочие циски 5 расположены симметрично относительно пакета 6, а число дисков 211 в пакете 6 определяется выражением к

Т ° Я

n -. 24,(-) (-)

1 где h — длина ротора, 25

r — радиус рабочих дисков, — число рабочих дисков.

Насос также снабжен установленными между рабочими дисками 5 и пакетом 6 дисков распорными элементами, выполненными в виде сильфонов 7 с герметичными внутренними полостями, заполненными рабочим телом, уменьшающим при плавлении свой объем, например галлием.

Насос работает следующим образом. .При обезгаживании корпус 1 прогревается при пониженных оборотах ротора 4. Невысокие обороты ротора 4 не позволяют в достаточной степени при- 40 нять форму, соответствующую рабочему режиму, пакету 6 дисков, который имеет увеличенную толщину на периферии вследствие сжатия в зоне, приближенной к оси. Поэтому возможно задевание дисков пакета 6 о статорные диски 2. Однако при прогреве, превышающем 30 С (температура плавления галлия 29,8 С, относительное изменение объема при плавлении ЗЖ), сильфоны 7 деформируются таким образом, что зажим в осевой зоне пакета 6 дисков ослабляется и толщина пакета 6 на периферии уменьшается, что не препятствует его свободному вращению.

После отключения прогрева ротор 4 ускоряется до номинальных оборотов, .диски пакета 6 выравниваются под действием центробежной силы даже при эажатии в осевом сечении вследствие затвердевания тела в распорных элементах.

Таким образом, исключая задевание дисками пакета .6 статорных дисков 2 при обезгаживании насоса, повышается его надежность.

Формула изобретения

11олекулярный вакуумный насос по авт.св. 9 1448111, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности при обезгаживании, он снабжен установленными между рабочими дисками и пакетом дисков распорными элементами, выполненными в виде сильфонов с герметичными внутренними полостями, заполненными рабочим телом, уменьшающим при плавлении свой объем.

1548529

Составитель В.Кряковкин

Техред А.Кравчук Корректор H.Пожо

Редактор А.Шандор

Заказ 129 Тираж 495 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, Il tf

Г ° 01