Способ анализа поверхности твердого тела

 

Изобретение относится к области физических методов исследования твердых тел, а более конкретно к спектроскопии рассеяния медленных ионов, используемой для структурного, элементного, концентрационного и физико-химического анализа поверхности твердого тела. Цель изобретения - снижение степени нарушения анализируемой поверхности пучком первичных ионов без снижения чувствительности. Для этого образец облучают пучком отрицательно заряженных ионов водорода или его изотопов.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 5 G О! N 23/203

3.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4374632/3! -25 (22) 08, 02, 88 (46) 07,03. 90. Бюл. № 9 (71) Институт металлофизики АН УССР (72) А.А.Косячков, В .С.Трилецкий и В,Т,Черепин. (53) 543,5 (088.8) (56) Патент СНА № 3480774, кл, 25049,5, 1 969.

Н. Verbeek et al. Negative hydrogen ion formation by backscattering

f rom Solid Surf aces Surf Sce. 1980, vol. 95, N 2-3, р, 380-390.

Изобретение относится к области физических методов исследования твердых тел, а более конкретно к спектроскопии рассеяния медленных ионов, используемой для структурного, элементного, концентрационного, и физико-химического анализа поверхности твердого тела.

Пель изобретения — снижение степени нарушения анализируемой поверхности пучком первичных ионов беэ снижения чувствительности анализа.

Сущность изобретения заключается в использовании в качестве первичных ионов отрицательно заряженных ионов водорода или его изотопов.

Пример. Проводили анализ поверхности кристаллического вольфрама.

Исследуемый образец помещали в сверхвысоковакуумную камеру и выставляли.SU 1548726 Л

2 (54) СПОСОБ АНАЛИЗА ПОВГ РХНОСТИ ТВЕ РДОГО ТЕЛА (57) Изобретение относится к области физических методов исследования твердых тел, а более конкретно к спектроскопии рассеяния медленных ионов, используемой для структурного, элементного, концентра ционного и фиэ ико-химического анализа поверхности твердого тела ° Пель изобретения — снижение степени нарушения анализируемой поверхности пучком первичных ионов без снижения чувствительности. Для этого образец облучают пучком отрицательно заряженных ионов водорода ипи его изотопов ° требуемую геометрию эк спе Римен та, а именно угол падения бомбардирующих о ионов водорода 45, угол рассеяния ионов водорода поверхностью образца

130 . Затем на образец направляли пучок отрицательно заряженных ионов. водорода с энергией 2000 эВ при токе

4 10 A. Телесный угол сбора рассеян-1Ъ ных ионов 8 6 10 стер, предельная Я чувствительность регистрирующей системы (минимальный ТоК регистрируемых

-1З рассеянных ионов) 1 "10 А.

Отраженные от поверхности в заря- женном состоянии ионы пропускали через эне ргоаналиэ ато р, анализнровали ашЬ по энергии и интенсивности. Полученные резуль таты выводили на регистрирующее устройство. При этом ток рассеянных ионов водорода, не претерпевающих изменения зарядового состоя3

) 548726

Формула изобретения

Составитель К.Кононов

Редактор В.Данко Техред M.Õoäàíè÷ Корректор Л.Бескид

Эаказ )39 Тираж 494 Подп исное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г ° Ужгород, ул. Гагарина, 101 ння при рассеянии на поверхности, (1 возрастает в 1,6 раза по сравнению со с)тучаем использования положительных ионов водорода, 5

Ток ионов, рассеянных в положительном зарядовом состоянии, возрастает в 20 раз, а в отрицательном зарядовом состоянии не менее чем в 8 раз. Увеличение тока регистрируемых ионов при бомбардировке отрицательно заряженными ионами водорода позволяет сократить время проведения измерений и соответственно уменьшить степень нарушения поверхности без сниже- 15 ння чувствительности анализа.

Способ анализа поверхности твердого тела методом спектроскопии рассеяния медленных ионов при облучении анализируемого образца ионами водорода или его изотопов, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения степени нарушения анализируемой поверхности пучком первичных ионов беэ снижения чувствительности анализа, используют отрицательно заряженные ионы водорода или его изотопов,