Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I64O68

Союз Советских

Социалистических

Республик

Кл. 21е, 29о

Заявлено 22Х.1963 (№ 837873/26-10) МПК G Olr

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

Опубликовано ЗО.VII.1964 г. Бюллетень № 14

УДК

Дата опубликования описания 25.VIII.1964.

Автор изобретения:

В. С. Соболев и П. Ф. Калинин

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Подписная группа JV 79

Известны устройства для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов. В этих устройствах датчик выполнен на тороидальном сердечнике с зазором, в который помещается измеряемый образец.

В предложенном устройстве датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на

Х-образном ферритовом сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительными и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения. Это дает возможность повысить точность и расширить диапазон измерения.

На чертеже представлена схема, иллюстрирующая предложенное устройство.

Сердечник 1 выполнен из феррита и, как видно из чертежа, имеет форму двух неполных колец, сложенных в виде Х. Общая оомотка 2 датчика 8 питается от отдельного высокочастотного генератора 4, напряжение которого модулируется модулятором 5 низкой частоты. 3.д. с., наведенная в измерительных

6 и компенсационных 7 обмотках, подается через детекторы 8 на электронную схему сравнения 9. Индикатор 10, подключенный через усилитель 11 к схеме сравнения, будет фикси5 ровать ноль. При внесении в один из зазоров датчика 8 измеряемого образца 12 баланс схемы нарушается и индикатор 10 зафиксирует сигнал, служащий мерой этого сопротивления.

Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, основанное на использовании наведенных в

15 образце вихревых токов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, в нем датчик, питаемый высокочастотным напряжением, модулированным низкой частотой, выполнен на

20 Х-образном сердечнике с симметрично размещенными на его концах двумя измерительны;ш и двумя компенсационными обмотками, каждая пара которых через детектор включена в электронную схему сравнения.

164068

Составитель С. С. Лукинская

Редактор Н. С. Коган Техред А. А. Камышникова Корректор В. П. Фомина

Заказ 1931 5 Тираж 1175 Формат бум. 60 >< 901/ц Объем 0,1 изд. л. Цена 5 ког.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова д. 4

Типография, пр, Сапунова, д. 2