Способ получения вакуума

 

I649I9

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтских

Социалистических

Республик

Кл. 27d, Зог

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 29,VII.1963 (№ 850086/24-6) МПК Е 04g с присоединением заявки

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

Приоритет

Опубликовано 04.IX.1964. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 10.X.1964

УЛK

Ф

Д. P. Генкин (--". . ПА "., 1", . . - -:-..-:..--" ."

У

Рижский приборостроительный завод ". 1

Авторы изобретени

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕН ИЯ ВАКУУМА

Подписиa«zpynne Л". 180

Известен способ получения вакуума в емкостях путем откачки газов при помощи наcocos, например сорбционных ионогеттерных и других.

Предлагаемый способ получения вакуума отличается от известных тем, что часть поверхности откачиваемой емкости охлаждают хладагентом, например жидким азотом.

Такой способ позволяет увеличить скорость откачки газов насосами и увеличить срок их службы.

Большинство газов плохо откачиваются насосами и имеют низкое давление паров при температурах применяемых хладагентов.

Так, например, давление паров воды при температуре жидкого азота равно 10—

22 мм рт. ст. Поэтому на охлаждаемой поверхности емкости конденсируются пары веществ и даже при небольшой площади охлаждаемой поверхности скорость откачки паров из объема значительно увеличивается.

Таким образом, пары большинства вредных для насосов и слабо откачнвасмых имн ге5 ществ практически откачиваются только охлаждаемой поверхностью.

Это позволяет предохранить рабочее вещество насосов от «отравления» и увеличить срок их службы.

Предмет изобретения

Способ получения вакуума в емкостях путем откачки газов при помощи насосов, например сорбционных, ионогеттерных и др., 15 отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки и срока службы насосов, часть поверхности откачиваемой емкости охлаждают хладагентом, например жидким азотом.

Способ получения вакуума 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Наверх