Контактное устройство для контроля планарных проводников

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 031.1РЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР.г 2 1 ) 4 6.> 5 1 г. 1 / 1 (22) 12 01 (46) 3j ). 05. 9 ljj, Вюл. N 20 (7?) А,В.Данилов, В.А. Сокол и С.П.Пеков (53) 62.396.049 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 301624, кл, с 01 К 1/20, 1960.

Авторское свидетельство СССР

1 - 1445546, кл. Н 05 К 1/18, 1987. (54) КОНТАКТНОЕ УСТРО11СТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ ПРОВОДНИКОВ (57) Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышлеHHocT>. а HMpHHQ к устрои с rвам контроля пр оводниковых соединеИзобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к устройствам контроля проводниковых соединений гибридных микросхем, в основном сформированных из подложки проводниковых структур, состоящих из двух и более слоев, и может быть использовано в микроэлектронике при проведении термотренировок, испытаний на надежность и т п»

Цель изобретения — повышение надежности контактирования.

На фиг. 1 представлено контактное устройство для контроля планарных проводников; на фиг. 2 — контактная головка, вид сверху; на фиг. 3— магнитное основание с проверяемой подложкой.

Н 05 К 1 18 С 01 К liOj; (jjjj1 гибочдпы„. схеъ. 1ечь из ния повышение надежности к 7н:"акj r роьанпя. После установки голов .и 2 на поверхность стола 3 с поглоя :ой

12 осуществляется надежный контакт двух намагниченных поверхностей, стола 3 с подложкой и головки ".. Контак r обеспечивают благодаря получению равномерного приж1гма двух пог;ерхностей, -который достигается путем формирования бесступенчатой гглоскостп контактирования, ликвидадпи зазора между контактируемыми поверхностями, а также за счет притягивания намагниченной поверхности стола 3 jj намаг— ниченных ферромагнитных слоев головки 2. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Контактное устройство для ко. гроля планарных проводников содержит к орпус 1, контактную г олог- ку 2, =. г ол

3 из феррита бария, и: ею;ш й; нез,ло для усгановки контролируемогo изделия и выполненный по форме контролируемого изделия. Основой коптактн; и головки служит гибкая эластичная мембрана, на которой нанесены реперные

/ метки совмещения 5, а на внешней стороне мембраны нанесен ферромагнитный слой 6, на противоположной стороне имеются контакты 7 с проводниками 8. а также контакты 9, изолирующий слой

10 ферромагнитной пленки и ферромагнитный слой 11, который размецен по всей подложке и поверх проводниковых выводов (кроме контактов 7, 8, 9 и меток совмещения S) 1 4531(70

Ko?ITQKгное устрлц:тло е?пя контроля е?7еанаре?ь?х проводник с>л работа(?т следую?цим образом.

В Ос?1ОВ а!??е?е стола 3,, 13ыплп?? ее? Пл ГО цз (!ерр??та бария, ультра звуковым

1 э методом формируется гнездо, гпубццa ц форма которого соогвлтс гвуют форме контролируемого пзде;?ця „Поверхность стола со стороны Гне з?Еа цамагнцчива"ют, Подложку 12 ус ганавливают в гнездо стола 3, при этом пллерх??ость стола и подложки образуют бесс гуценчатую гелос кость, к клт орой за тем притя гилается контактная гоплвка 2, которая способна цамагничцв ться, лслег(ствие того, что обе с.е стороны содержат ферромагнитные слои (ф??г. 1 и ("..7и г . 2 ), 2с)

Х(алее осуществееяют совмещение кон-* тактцой головки 2 и гслдплжки 12, для этого подложку помещают в Гнездо ферромагнитного стола 3 (фиг. 3) . После ус сан о вки ГОлОВки 2 I? ñ! повеp7(?Io cl b 25 стола 3 с подложкой 12 ocуществляется надежный контакт двух HB??Bãíè÷åHHh?õ поверхностей, стопика 3 с полпожкой и головки 2. Контакт Обес«еечивают бпаг одаря получению равномерного прижи ма двух ееоверхцостей, который достигается путем формирования бесстугснчатой плоскости Ko?ITBêòïðîâàíèÿ, 71ИКВИДаЦИИ ЗаЗОРа МЕЖДУ KOHтаКтиРУемь?ми поверхностями,,! i Bêæå за счет

ПРИтЯГИВаНИЯ НаыаГНЦЧЕ?сп? Лй ЦО ВЕРХности стола 3 и намагнц?ечец?х феррл-маг итных слое!! 6, 10 11 головки 2.

Контактные площадки с! ?сплльзуюг пля подключения контакт «7?о устройст-ва к алтоматцзцрлванцлй c?Icтеме клцтPOJI?I .

11сплль зОван??с преп и О> p!?цо Г(7 е< ля таКГЦОГО УСтРойстла Д?Я 1<с7ЦтРЛ!?Я электр??ческих соединений гцбрцдноц мцкросхс мы позволяет повысить надежцость контакт?ерлванця благодаря обеспечс цию при?кима контактной головки к поверхности контролируемой еелдпо7?(КН; упростить процесс коцтактцровация проверяемого изделия и КоНТВКТ ного устройства; а также обеспечить автоматизированную проверку схем.

Формyлa изобретения

1. KQHTB.KTHoP. Устройство H KQHT роля планарных проводников, содержащее корпус, контактную головку и стоп для крепления контролируемого изделия, причем контактная головка выполнена В виде контактного поля с планарнымп выводами, изготовленного в многослойной мембране, в которой один из слоев выполнен из эластичного диэлектрика, контакты про?тущенье через первый диэлектрический слой, токоведуцие дорожки от контактов размещены между первым и вторым диэлектрическими слоями, о т л и g а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения надежности коцтактирования, в эластичную мембрану введен дополнительный диэлектрический слой, размещенный с внеец??ей стороны мембраны, причем первый, второй:и дополнительный диэлектрические слои выполнены из ферромагнитной пленки.

2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что стол дпя крепления контролируемого изделия изготовлен в виде намагниченной пластины из ферромагнитного материала, например феррита бария, и в нем выполнено гнездо по форме контролируеМОГО ИЗДЕЛИЯ..

Составитель Н.Шмелев

Техред Л.Олийнык

Корректор А.Обручар

Редактор И. Сегля»ик

Заказ 1782 Тираж 510 Подписное

ВБП1ПИ Государстве»ного комитета по изобретениям и открьгтиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул, Гаг р н tI

У. Гага ина 101