Способ настройки режущего струнного инструмента

 

Изобретение относится к химическому машиностроению и может быть использовано при обработке кристаллов. Цель изобретения - повышение точности настройки. Настройка инструмента и контроль натяжения осуществляется путем установления на индикаторе 5 технологического устройства рабочего усилия пружины 8 толкателя 6, выбранного меньше критического усилия. Затем надавливают толкателем 6 с рабочим усилием на струны 3 и измеряют провис струн от первоначального положения натяжения струн, а после этого сравнивают этот провис с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ Н

РЕСПУБЛИК

0% OI) А1 щ)у В 28 Р 1/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЕМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 465901.4/33 (22) 03.03.89 (46) 15.07.91 ° Бюл. Р 26 (72) В.Е.Иецатунянц, h).Í. Титов и А.А.Бакуев (53) 679.8.057.4(088.8) (56) .Бочкин О.И. и др . Иеханическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1983, с.90-91. (54) СПОСОБ НАСТРОЙКИ РЕИЛ1ЕГО СТРУННОГО ИНСТРУМЕНТА (57) Изобретение относится к химичес.кому мапыностроению и может быть использовано при обработке кристаллов.

Цель изобретения — повышение точности настройки. Настройка инструмента и контроль натяжения осуществляется путем установления на индикаторе 5 технологического устройства рабочего усилия пружин 8 толкателя 6, выбранного меньше критического усилия. Затем надавливают толкателем 6 с рабочим усилием на струны 3 и измеряют провис струн от первоначального положения натяжения струн, а после этого сравнивают этот провис с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва. 3 ил.

1662866

Изобретение относится к химическому машиностроению и может быть использовано при обработке кристаллов.

Цель изобретения — повышение точ= ности настройки.

Способ настройки режущего струнного и нструме нта включает обмотку с на гяжением по лазам крепежных приспособлений 0 струны с закреплением ее концов, конт- . роль усилия натяжения. При этом пред( варительно определяют критическое усилие разрыва и упругости отдельных трун инструмента в плоскости резания 15 утем измерения величины провиса с трун при помощи индикатора, а контоль усилия напряжения осуществляют утем замера величины провиса струн сравнения величины провиса с вели- 20 ( иной провиса, соответствующим кри и( вескому усилию разрыва.

На фиг. 1 изображен струнный инструмент с контролирующим приборощ на фиг. 2 — то же, разрез; на фиг.3 то же, вид сверху.

Рабочий инструмент, используемый

Ф способе, конструктивно выполнен в виде двух роликов 1, закрепленных

В кассете 2, с параллельно натянутыМи на них струнами 3. Один из роликов 1 (с помощью регулировочного инта) может Относительно другого

Поступательно перемещаться, натягивая

Струны. ВО время работы таким рабочим инструментом струны с, намазанным на них абразивом в кассете перемещаются по плоскости объекта, выполненного в виде полупроводникового кристалла, а объект — медленно вверх 40 к струнам, Обеспечивая глубину резки. Способ настройки рабочего инструмента осуществляется с помощью несложного прибора, конструкция котоРОГО QG ТОит иэ ОпОры 4, на когорол закреплена кассета 2 со струнами 3,, индикатора 5, содержащего толкзтель

6 со штоком 7 и пружиной 8, шкалу 9 со стрелкой 10. На штоке 7 имеется риска 11, фиксирующая критическое усилие толкателя 6.

Способ настройки рабочего инструмента, выполненного B виде параллельно натянутых струн 3, заключается в следующем.

На струну 3 или на ряд струн

1 нажимают толкателем 6 и фиксируют ее прогиб стрелкой 10 по индикатору 5.

При равном силовом давлении, обеспечиваемом пружиной 8 и фиксируемом риской 11 на штоке 7 толкателя 6, отмечают и сравнивают отсчеты по шкале 9 индикатора 5 в разный период времени. Усилие пружины 8 подбирают исходя иэ критического усилия равным разрыву струны 3 и берут его чуть меньше, т.е. с таким усилием, чтобы при рабочих измерениях толкателем 6 индикатора 5 невозможно было порвать струну 3 и в то же время усилие должно быть достаточным для создания наибольшего усилия на струну. Следовательно, вначале устанавливают рабочее усилие на струну 3, фиксируя ее в процессе измерения уровнем опускания индикатора, т.е, положением оправы индикатора относительно риски 11 на штоке 7 толкателя 6, и замечают стрелкой <О начальный отсчет по шкале 9 индикатора 5. A затем при постоянном усилии давления на струну 3 (или струны 3), опуская оправу индикатора 5 до риски, берут отсчет.по шкале 9 индикатора 5 и сравнивают его с начальным отсчетом, При провисании струн 3 инструмента подтягивают один из роликов, добиваясь нулевого отсчетао

Объект, который режут таким инструментом, был взят из полупровод-икового кристалла, например из материала германий, размером 20х4 х к0,15 ич, Струны 3 в кассете 2 были взяты диаметром 0,01-0,05 мм, число струн в кассете составляло 100-200.

Точность резки кристалла составила: по глубине резки по всей площади кристалла не более 0,002 мм, по ши- рине нарезки на квадраты 0,0030,004 мм, т.е. резка по взаимно перпендикулярным направлениям, оставляя недорезанную толщину кристалла в пределах 0,005-0,010 мм. Соблюдение такой точности резки необходимо для получения высококачественных параметров полупроводников. Ослабление струн вызывает неравную глубину резки кристалла по всей площади, непараллельность пазов в кристалле, неодинаковую их ширину, Повышение точности настройки предложенным способом увеличивается в 3-4 раза.

Формула изобретения

Способ настройки режущего струнного инструмента, включающий обмотку

Составитель Г. А4>иногенова

Техред А.Кравчук Корректор Н ° Ревская

Редактор М. Келемеш

Заказ 2777 Тираж 392 Подпис ное

РФИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11 303 5, Москва, Ж-35, Раушская на б., д. 4 /5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

5 166286 с натяжением по лазам крепежных приспособлений струны с закреплением ее концов, контроль усилия натяжения, отличающийся тем что

Ф Ф 5 с целью повышения точности настройки, предварительно определяют критическое усилие разрыва и упругости отдель-! ных струн инструмента в плоскости резания путем измерения провиса струн при помощи индикатора, а контроль усилия натяжения осуществляют путем замера провиса струн и сравнения этого провиса с провисом, соответствующим критическому усилию разрыва.