Способ осушки хлористого водорода

 

Изобретение относится к процессам осушки газовых смесей, в частности хлористого водорода, и может найти применение в химической и электронной отраслях промышленности. Осушку газа осуществляют пропусканием его через фильтрующий материал-сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом - фторопласт Ф-42 при минус 40 минус 70°С и линейной скорости фильтрации 1 - 10 см/с. При реализации предлагаемого способа обеспечивается улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиальной технологии, получить увеличение выхода годных в ряде изделий до 15%. 1 табл.

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИ ЧЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК

s В 01 D 53/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К, ; ",".,

"=ffQ,!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4692982/26 (22) 29,05.89 (46) 23.07.91. Бюл. ¹ 27 (72) Е.В,Атаманюк, Ю,Н.Филатов, А.Д.Шепелев, А.С.Хохлов, M.Â.Åðõîâ, В.П.Востриков, Я.Б.Скуратник, Л.И,Кравецкий, Е.Н.Гвоздков, Д.Н,Звуков и В.Ф.Попенко (53) 66.074.31 (088.8) (56) Антонов В. Н., Крашенниникова А.А. и Пасманик M,È, Разработка метода получения хлористого водорода особой чистоты.-Отчет госрегистрации 68030206, 1972, с. 55. (54) СПОСОБ ОСУШКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА (57) Изобретение относится к процессам осушки газовых смесей, в частности хлориИзобретение относится к процессам осушки газовых смесей, в частности хлористого водорода, и может найти свое применение в химической и электронной отраслях промышленности.

Целью изобретения является повышение степени осушки.

Способ поясняется таблицей, Предлагаемый к использованию в качестве фильтрующего материала сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом— фторопласт Ф-42 получают сополимеризацией мономеров в электростатическом поле из полимерных растворов. Ранее он использовался в качестве фильтрующего материала для очистки. серной и фосфорной кислот от мелкодисперсных твердых примесей при повышенной температуре.

Пример. Хларистый водород марок "А" и "Э", содержащий примеси влаги 5 10, Ы 1664378 Al стого водорода, и может найти применение

B химической и,электронной отраслях промышленности. Осушку газа осуществляют пропусканием его через фильтрующий материал сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом-фторопласт Ф-42 при -40 — -70 C и линейной скорости фильтрации 1 — 10 см/с, При реализации предлагаемого способа обеспечивается улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиальной технологии, получить увеличение выхода годных в ряде изделий до 15%.

1 табл. и 1 10 об.% соответственно, охлаждают до минус 40-минус 70 С и пропускают через слои сополимера тетрафторэтилена с винилиденфторидом — фторопласта Ф-42 с диаметром волокна 1 мкм, толщиной 3 — 5 слоев при минус 40 — минус 70 С с линейной скоростью 5 см/с. Процесс ведут в установке низкотемпературной фильтрации flBTpoHHo го типа, в которой ткань нанесена на перфорированный патрон и прижимается к нему потоком газа. Остаточное содержание влаги в газе менее 1 . 10 об.%. В течение более

5000 ч фильтрующий материал сохраняет свою химическую стойкость и прочностные свойства, при этом эффективность осушки остается на высоком уровне.

Степень влажности газа до и после осушки контролируется и измеряется на кулонометрическом приборе "Байкал-3" по

1664378 при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиэльной технологии, получить увеличение выхода годных в ряде изделий до 15, Составитель Е,Корниенко

Техред M,Ìîðãåíòàë КоРРектоР М,Демчик

Редактор Т,Иванова

Заказ 2343 Тираж 449 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушскэя наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 методике электрохимического определения влаги в хлористом водороде, При проведении процесса при температуре выше минус 40 С снижается степень осушки до уровня прототипа. При темпера- 5 турах ниже минус 70 С степень осушки не возрастает, но увеличивается температурная нагрузка на фильтрующий элемент, к тому же возникает возможность конденсации самого хлористого водорода. При про- 10 ведении процесса при скоростях менее 1 и более 10 см/с снижается степень осушки, Предлагаемый способ обеспечивает улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность 15

Формула изобретения

Способ осушки хлористого водорода, включающий пропускание газа через фильтрующий материал при охлаждении, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения степени осушки, в качестве последнего используют сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом — фторопласт Ф-42 и процесс ведут при минус 40 — минус 70 С .и линейной скорости фильтрации 1 — 10 см/с,