Способ обработки ферромагнитных металлов и сплавов

 

Изобретение относится к металлофизике , в частности к способу обработки ферромагнитных металлов и сплазов, преимущественно тонкослойных (толщиной менее м) материалов, и может найти применение в микроэлектронике, оптике и технике СВЧ. Цель изобретения - изменение удельного электросопротивления, создание его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами . Способ включает пропускание электрического тока плотностью 107-1011 А/м2, причем в процессе пропускания тока образец принудительно охлаждают таким образом , чтобы его температура не превышала 0,4 Тпл, где Тпл - температура плавления материала, К. Способ обеспечивает изменение электросопротивления непосредственно в процессе обработки на 20-50%, позволяет создать его анизотропию, а также управлять этими параметрами. сл

СО|ОЗ СОВЕТСКИХ сОциАлистических

РЕСПУБЛИК

<ярз С 22 F 1/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4772509/02 (22) 02.11.89 (46) 23.11.91, Бюл. N 43 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и механики МГТУ им. Н.Э,Баумана (72) В.В.Сидоренков, В.В.Толмачев, В.В.Савичев и С,Л.Тимченко (53) 621.78,012.5(088.8) . (56) Гордеев В,Ф., Пустогаров А.В. и др. Известия СО АН СССР, 1984, М 16, вып.3, с.

137 — 139. (54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ФЕРРОМАГНИТНЫХ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ (57) Изобретение относится к металлофизике, в частности к способу обработки ферромагнитных металлов и сплазов, Изобретение относится к области металлофизики, в частности к способу обработки ферромагнитных металлов и сплавов, преимущественно тонкослойных (толщиной менее 10 м) материалов, и может найти применение в микроэлектронике, оптике, технике СВЧ.

Цель изобретения — изменение удельа ного электросопротивления, создание его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами.

Способ опробован на никелевых (чистотой 99,98 ) поликристаллических образцах (полоски фольги 30х2;Ох0,005 мм) при воздействии постоянного или импульсного периодического тока (до 5е10 Гц) 0,05-20 А;

Охлаждение в процессе действия тока осуществляют проточной водой, Зависимость электрического сопротивления материала образца от величины плотности тока в нем

„„QJ „„1693113 А1 преимущественно тонкослойных (толщиной менее 10 м) материалов, и может найти

-4 применение в микроэлектронике, оптике и технике СВЧ. Цель изобретения — изменение удельного электросопротивления, создание его анизотропии, а также возможности управления этими параметрами. Способ включает пропускание электрического тока плотностью 10 -10 А/м, причем в процессе пропускания тока образец принудительно охлаждают таким образом, чтобы его.температура не превышала

0,4 Тпл, где Тпл — температура плавления материала, К, Способ обеспечивает изменение электросопротивления непосредственно в процессе обработки на 20-50Я,, позволяет создать его анизотропию, а также ф управлять этими параметрами. определяется на основе вольт-амперных характеристик (ВАХ). Изменение удельного электросопротивления материала возникает при токах более 10 А/м . Сопротивление образцов изменяется практически линейно О на 20-50Р и достигает насыщения при токе яда (5 — 8) ° 10 А/м2, далее оно практически не " изменяется вплоть до разрушения. С уменьшением длины образцов плотность тока при () обработке повышается.

Анизотропию злектросопротивления, возникающую под действием электрического тока, оценивают методом ферромагнитного резонанса (ФМР) по ее влиянию на частоту ФМР в тонких пленках пермаллоя (20Fe80Nl). Наличие анизотропии электросопротивления приводит к сдвигу резонансной частоты, велинина которой зависит |еэк от значения электрической энизотропии, тэк и от угла поворота пленки в ее плоско1б93113

Формула изобретения

Составитель В.Сидоренков

Техред М.Моргентал Корректор- Н.Король

Редактор Н.Яцола

Заказ 4054 Тираж . Подписное

° ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 сти, образуемого вектором плотности тока в образце и направлением подмагничивающего поля. Согласно измерениям, величина анизотропии электросопротивления практически линейно зависит от плотности тока в образце и ее максимальное значение составляет 20-50 . После выключения тока или рменьшения его плотности менее 10 ,А/м парамтеры образца возвращаются к

,исходным. Повторение процесса снова приводит к изменению электросопротивления.

По сравнению с известным предлагаемый способ обеспечивает изменение электросопротивления непосредственно в процессе обработки на 20-50, позволяет создать его анизотропию, а также дает возможность управлять этими параметрами.

Способ обработки ферромагнитных металлов и сплавов, преимущественно тонко5 слойных (толщиной менее 10 м), включающий пропускание электрического тока, отличающийся тем, что, с целью изменения удельного электросопротивления, создания его анизотропии, а также воз10 можности управления этими параметрами, электрический ток пропускают плотностью

10 -10 А/м, причем в процессе пропускания тока осуществляют принудительное охлаждение материала так, чтобы его

15 температура не превышала 0,4 Т пл где Т nn — температура плавления материала, К.