Патент ссср 172169

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 23.Х11.1963 (№ 874750/22-2) Кл. 48b, 11 >

48b, 14 с присоединением заявки №

Приоритет

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК С 23с

С 23с

УДK 621.793.14 (088.8) Опубликовано 22.V1.1965. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 21 VII.1965

Автор изобретения

Предприятие Госкоми

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ВОЗГОНКИ МЕТАЛЛОВ

И СПЛАВОВ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Цодписная группа Л9 209

Известны устройства для термической возгонки металлов и сплавов в вакууме с испарителем в виде тугоплавкой проволоки, покрытой испаряемым металлом, или жгута из тугоплавкой проволоки.

Отличием описываемого устройства является то, что оно снабжено катушками с запасом испарителя, механизмом перемещения испарителя относительно зоны испарения и приемником отработанного испарителя. Это позволяет производить длительное непрерывное или периодическое испарение и получать однородный и чистый конденсат.

На чертеже изображен общий вид устройства.

Тугоплавкая проволока 1, покрытая испаряемыми металлами, намотана на катушки 2.

Проволоки с разных катушек стягиваются в пучок 3 в канавках электродов 4, к которым подводится напряжение. Испаритель протягивается через зону испарения с помощью роликового механизма 5. Отработанный испаритель разламывается и складируется в приемнике б.

Испаряемый материал может вводиться в пучок проволок испарителя в виде тонкой проволоки. Вместо пучка параллельных проволок может быть использован свитый из них жгутик.

Непрерывный вывод из зоны испарения вместе с отработанным испарителем продуктов, остающихся после испарения, обеспечивает получение более чистого конденсата.

1О

Устройство для термической возгонки ме15 таллов и сплавов в вакууме, с испарителем в виде пучка тугоплавких проволок с нанесенными на них металлами, нагреваемого электрическим током, отличающееся тем, что, с целью обеспечения длительного непрерывного

2О или периодического испарения, оно снабжено катушками с запасом испарителя, механизмом перемещения испарителя относительно зоны испарения и приемником отработанного испарителя.

172169

Состав и тел ь T. Фирсов а

Редактор Б. С. Нанкнна I екрс < 10. В. Баранов 1(орректор В. H. Маркова

Заказ 1545/18 Тираж 1600 Формат бум 60 90 /q Обч,ем 0,1 пзд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета ио делам изобретений и открытий СССР

Москва, центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Похожие патенты:

Патент 161606 // 161606

Патент 154996 // 154996

Плавящий элемент для испарения металла в вакууме // 65570

Патент 58290 // 58290

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме