Устройство для подачи ленты в вакуум

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и газоразрядных приборов. Целью изобретения является уменьшение деформации ленты. Устройство для подачи ленты в вакуум содержит камеры 1 и 2, уплотнительный блок 3, перегородку 4, крышки 5 и 6, шпильки 7. Блок 3 состоит из верхней и нижней плит, соединенных планками, которые уплотняются уплотнителями. В плитах установлены ролики в отверстиях. Ролики образуют щель. В блоке 3 выполнены отверстия 18 и 19, Камеры 1 и 2 откачиваются через патрубки 20 и 21. Лента 23 протягивается через щелевой канал, при этом обеспечивается сохранность боковых участков ленты. 5 ил.I --,«оелс/ZOXIОю4i^ Ю 4^>&

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s Н 01 J 9/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4725474/21 (22) 04.08.89 (46) 30.01.92. Бюл. М 4 (71) Особое конструкторское бюро при заводе "Кристалл" (72) С.С,Пагиев, К.Г,Дзуцев, А.К.Дулаев и В.К.Фомин (53) 621.525(088.8) (56) Медников М.И. Вводы движения в вакуум. M.: Машиностроение, 1974, с.63.

Патент США М 4649860, кл. С 23 С 13/08, 1987. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ЛЕНТЫ В

ВАКУУМ

„„5U „„1709424 А1 (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и гаэоразрядных приборов. Целью изобретения является уменьшение деформации ленты. Устройство для подачи ленты в вакуум содержит камеры 1 и 2, уплотнительный блок 3, перегородку 4, крышки 5 и 6, шпильки 7. Блок 3 состоит из верхней и нижней плит, соединенных планками, которые уплотняются уплотнителями. В плитах установлены ролики в отверстиях. Ролики образуют щель. В блоке 3 выполнены отверстия 18 и 19, Камеры 1 и 2 откачиваются через патрубки 20 и 21. Лента 23 протягивается через щелевой канал, при этом обеспечивается сохранность боковых участков ленты. 5 ил, 1709424

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при изготовлении электронных и газоразрядных приборов.

Целью изобретения является уменьшение деформации ленты, На фиг, 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез Б — Б на фиг. 1; на фиг, 4— разрез  — В на фиг. 2; на фиг. 5 — разрез à — Г на фиг. 3.

Устройство (фиг. 1) содержит камеру 1 первичной откачки, камеру 2 вторичной откачки, уплотнительный блок 3. Камеры 1, 2 разделены перегородкой 4, а с наружных торцов закрыты крышками 5 и 6.

Камеры 1 и 2, перегородки 4 и крышки

5 и 6 стянуты между собой шпильками 7, Уплотнительный блок 3 дополнительно поджимается в осевом направлении крышкой 8.

Уплотнительный блок 3 состоит из двух плит; верхней 9 и нижней 10, соединенных с боков планками 11 (фиг, 2, 3), Уплотнение между плитами 9, 10 и планками 11 создается с помощью эластичных уплотнитеией 12, В плитах 9, 10 установлены горизонтальные и вертикальные ролики

13.и 14 соответственно в отверстия 15 и 16 (фиг. 4, 5), причем между цилиндрическими поверхностями роликов и стенками отверстий 15, 16 образуется щель 17 величиной просвета от 0,0004 до 0.002 от диаметра роликов. Для откачки газов из щелевого канала в уплотнцтельном блоке имеются отверстия 18 и 19 соответственно в зонах камер 1, 2 первичной и вторичной откачек.

Камеры 1 и 2 с вакуумной откачной системой . связаны через патрубки 20 и 21.

Щелевые каналы 22 совместно с щелями 17, образуемыми уплотнительным блоком 3 и роликами 13, 14, в совокупности с первичной и вторичной откачками через отверстия 18 и 19, патрубки 20 и 21 (фиг, 1) создают условия для надежного ограничения натекания в вакуумную камеру, Щелевой канал в уплотнительном блоке 3 в поперечном сечении определяется размерами S> х В>,. Ролики установлены так, что лента не может касаться стенок щелевого канала, так как расстояния между горизонтальными роликами $2 и вертикальными роликами Bz меньше соответствующих им размеров щели S> и В1, причем должно быть соблюдено условие В1> Вг и S)> Sg, Устройство работает следующим образом, Вводимая в вакуум лента 23 протягивается через щелевой канал 24 между роликами 13 и 14 и, пройдя через щель в крышке 6, попадает в вакуумную камеру, где осуществляются технологические операции.

Для того, чтобы исключить натекания в вакуумную камеру, к которой ввод подсое5 диняется через крышку 6, из камеры 7 первичной откачки откачиваются газы форвакуумным насосом, а иэ камеры 2 вторичной откачки — вакуумным насосом второй ступени.

10 Газы, проникающие из атмосферы через входное отверстие в крышке 8, откачиваются через отверстия 18 и патрубок 20, а те частицы газа. которые проникают далее зоны камеры 1, откачиваются через отвер15 стия 19 и патрубок 21. Так как лента проходит по щелевому каналу 24. ограниченному горизонтальными и вертикальными роликами 13, 14, то для проникновения газов извне остаются щели между уплотнительным бло2 ком 3 и лентой, а также щель 17 между уплотнительными блоками и роликами.

Пределы вел.;чины щели 17 между роликами и стенками отверстий 15, 16 определены опытным путем, При этом увеличение щели

25 выше 0,002 от диаметра ролика приводит к черезмерному натеканию газов, а уменьшение зазора ниже 0,0004 от диаметра ролика — к помехам свободного вращения роликов.

Угол охвата роликов телом уплотнительного

30 блока выполнен более 180" с тем, чтобы увеличить длину щели, образуемой роликами.

При макетировании был изготовлен и . испытан ввод для ленты толщиной 0,7 мм и

35 шириной 40 мм, ролики имели предельное — 0,006 отклонение диаметра ф15 — и д17, а отI верстия Р 15 + 0,011. Возможны два предельных значения; наименьший зазор, 40 равный 0,006 мм, и наибольший зазор, равный 0,028 мм, что соответствует диапазону (0,0004 — 0,0018)0.

Устройство позволяет увеличить длину щелевого канала беэ увеличения длины са45 мого щелевого канала. При этом увеличивается сопротивление натеканию газов в вакуумную камеру, увеличивается процент выхода годной продукции за счет снижения брака по отслою. Одной иэ причин появления отслоя, отсутствия сцепления между

50 плакируемыми материалами является загрязненность соприкасаемых поверхностей или их травмирование, нарушение активного слоя после зачистных машин.

Устройство, в котором обеспечивается

55 надежное ограничение натекания газов через уплотнительный блок в вакуумную камеру. путем выполнения щелевого канала большой протяженности и исключения травмирования поверхности ленты, путем

1709424 установки свободно п роворачиваемых горизонтальных и вертикальных роликов, которые не позволяют ленте касаться стенок щелевого канала, испытано в составе автоматизированной линии по производству биметаллической проволоки, Устройство показало надежную работу в вакуумной камере.

Формула изобретения

Устройство для подачи ленты в вакуум, содержащее защитную вакуумную камеру, в которой размещен уплотнительный блок с горизонтальным щелевым каналом для подачи ленты и уплотняющими горизонтальными зеркально-симметричными роликами, 4-4 о 1 л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения деформации ленты, в него введены вертикальные направляющие ролики, установленные попарно и зеркально-сим5 метрично относительно вертикальной плоскости симметрии горизонтального щелевого канала в промежутках между горизонтальными уплотняющими роликами, при этом между поверхностью каждого ро1Î лика и телом уплотнительного блока выполнена щель, поверхность которой со стороны блока охватывает большую часть периметра окружности ролика и сопряжена с поверхностью щелевого канала, а ширина щели

15 выбрана равной {0,0004-0,00239, где 0- диаметр ролика.

1709424

В-,8

Составитель ЮЯресько

Редактор Т.Лошкарева Техред М.Моргентал Корректор Э.Лончакова

Заказ 431 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101