Сорбент для очистки газов от паров диалкилтеллура
Изобретение относится к сорбентам для очистки газов от паров диалкилтеллура, применяется в производстве полупроводниковых материалов. Сорбент содержит, мас.%: азотную кислоту 1,6; активированный уголь - остальное. Сорбент готовят пропиткой активированного угля раствором азотной кислоты с последующей сушкой . Время защитного действия сорбента высотой 0,05 м при скорости очищаемого воздуха 0,1 м/с и начальной концентрации диалкилтеллура 240-590 ч. сл С
. СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
P Е СГ1УбЛ И К
csi)s В 01 D 53/02, 53/34
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОбРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4774609/26 (22) 28.12.89 (46) 30,04.92. Бал, N 16 (71) Дзержинский филиал Государственного научно-исследовательского института по промышленной и санитарной очистке газов и Научно-исследовательский институт химии при Нижегородском государственном университете им. Н,И, Лобачевского (72) С,Д. Ляшенко, А.С. Степанов, Е,Н. Каратаев и И.А, Фещенко (53) 66.074,6 (088,8) (56) Отчет о научно-исследовательской работе. Разработка метода очистки от паров ртути и элементоорганических соединений кадмия и теллура выбросных газов процесса получения полупроводникового материала.
Выдача технологического регламента для и роектирования опытно-промышленной установки. Гос. регистрация 01870040326.
Дзержинск, Дзержинский филиал НИИОГАЗ.
1988, с. 61-63, Изобретение относится к очистке газов, содержащих пары элементоорганических соединений (ЭОС) теллура — диалкилтеллуридов и преимущественно может быть использовано для очистки выбросных газов в производстве полупроводниковых материалов, Известен способ очистки вентвыбросов от паров диэтилтеллура, диметилкадмия и ртути фильтрацией через слой сорбента на основе активированного угля, содержащего хлорид железа (! I l).
К недостаткам способа следует отнести недостаточно высокую емкость сорбента по парам ЭОС теллура, кроме того, отработанный сорбент может быть вторичным источ„„ Ц „„1729559 А1 (54) СОРБЕНТ ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВ ОТ
ПАРОВ ДИАЛКИЛТЕЛЛУРА (57) Изобретение относится к сорбентам для очистки газов от паров диалкилтеллура, применяется в производстве полупроводниковых материалов. Сорбент содержит, мас,%: азотную кислоту 1,6; активированный уголь — остальное. Сорбент готовят пропиткой активированного угля раствором азотной кислоты с последующей сушкой. Время защитного действия сорбента высотой 0,05 м при скорости очищаемого воздуха 0,1 м/с и начальной концентрации диалкилтеллура 240 — 590 ч. ником загрязнения атмосферы вследствие высокой летучести ЭОС теллура и их токсичности. Введение в состав сорбента хлорида железа (lll) необходимо для улавливания паров ртути, но снижает время защитного действия от паров диэтилтеллура.
Наиболее близким по достигаемому результату является способ, основанный на фильтрации газа через слой активированного угля (2). Однако время защитного действия сорбента невелико, а отработанный сорбент является вторичным источником загрязнения атмосферы парами ЭОС теллура.
Цель изобретения — увеличение времени защитного действия сорбента, 1729559
Составитель С. Ляшенко
Техред M.Mîðãåíòàë Корректор М. Максимишинец
Редактор М, Товтин
Заказ 1459 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Поставленная цель достигается тем, что используют сорбент следующего состава, доли, мас. :
Азотная кислота 0,5-2,5
Активированный уголь Остальное 5
Уловленные соединения могут быть легко извлечены из отработанного сорбента промывкой водой.
Сорбент готовят пропиткой активированного угля раствором азотной кислоты с 10 последующей сушкой или кратковременным распылением кислоты в потоке очищаемого от ЭОС теллура газа перед слоем активированного угля.
В приведенных ниже примерах исполь- 15 зованы активированный уголь марки АГ-3 (ГОСТ 8703-74), применяемый в процессах газоочистки.
П риме р 1. Воздух, содержащий пары диэтилтеллура (ДЭТ) с концентрацией 20
10 мгlмз, пропускали со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента высотой 0,05 м следующего состава мас. :
Азотная кислота 2,5
Активированный уголь Остальное 25
Время защитного действия сорбента
590 ч, Пример 2. Воздух, содеожащий пары
ДЭТ с концентрацией 10 мг/м, пропускали со скоростью 0 1 м/с через слой сорбента 30 высотой 0,05 м следующего состава, мас. :
Азотная кислота 2,7
Активированный уголь Остальное
Время защитного действия сорбента
590 ч. 35
П ример 3, Воздух,содеожащий пары
ДЭТ с концентрацией 10 мг/м, пропускали со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента высотой 0 05 м следующего состава, мас. :
Азотная кислота 1,6 40
Активированный уголь Остальное
Время защитного действия сорбента
550 ч, Пример 4. Воздух, содержащий пары
ДЭТ с концентрацией 10 мг/м пропускали 45 со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента всотой 0,05 м следующего состава (массовые доли, ):
Азотная кислота 0,5
Активированный уголь Остальное
Время защитного действия сорбента
240 ч.
П рим е р 5. Воздух, содержащий пары
ДЭТ с концентрацией 10 мг/м, пропускали через слой сорбента со скоростью 0,1 м/с высотой 0,05 м следующего состава, мас. :
Азотная кислота 0,2
Активированный уголь Остальное
Время защитного действия сорбента
200 ч, Пример 6. Воздух подвергали очистке от паров ДЭТ аналогично примерам 1 — 5, но в активированный уголь не вводили азотную кислоту.
Время защитного действия сорбента
180 ч.
П ри м е р 7. Воздух, содержащий пары диметилтеллура с концентрацией 12 мг/м, пропускали через сорбент со скоростью
0,1 м/с с высотой слоя 0,05 м следующего состава, мас. :
Азотная кислота 1,6
Активированный уголь Остальное
Время защитного действия сорбента
520 ч.
Как следует из примеров, предлагаемый сорбент обеспечивает увеличение времени защитного действия до 240-590 ч против
180 ч для известного сорбента.
Предотвращается вторичное загрязнение атмосферы за счет превращения улавливаемых паров в малолетучие соединения, Формула изобретения
Сорбент для очистки газов от паров диалкилтеллура, включающий активированный уголь, отличающийся тем, что, с целью увеличения времени защитного действия, он дополнительно содержит азотную кислоту при следующем содержании ингредиентов, мас. :
Азотная кислота 0,5-2,5
Активированный уголь Остальное
