Способ поверки мембранного датчика абсолютного давления на низкие пределы измерения

 

Изобретение относится к метрологии и может быть использовано для поверки датчиков абсолютного давления. Цель: повышение точности поверки датчиков абсолютного давления на низкие пределы измерения при отсутствии задатчиков абсолютного давления необходимого класса точности . Сущность изобретения: в способе, включающем создание разрежения в рабо: чей полости и определение зависимости выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, поддерживают пострянным в процессе поверки разрежение в рабочей полости, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембранного чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, и определяют соответствующие значения выходного сигнала , которые являются тарировочнымм для данного датчика абсолютного давления. Положительный .эффект: обеспечение высокоточной поверки датчика при его эксплуатации на объекте без использования задатчика абсолютного давления высокого класса точности. С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 L 27/00

ГОСУДAPCTBfÍHÎ(- flATEHTHOE

ВЕДОМСТВО СССР (ГОспАте нт ссс Р) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4877565/10 (22) 26.10.90 (46) 30.01.93. Бюл. ¹ 4 (71) Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения (72) В.В,Уткин (56) 1. ГОСТ 22520-85, с, 15, п.6,3, 2, Методическая инструкция МИ-333-83, с. 15. (54) СПОСОБ ПОВЕРКИ МЕМБРАННОГО

ДАТЧИКА АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ НА

НИЗКИЕ ПРЕДЕЛЫ ИЗМЕРЕНИЯ (57) Изобретение относится к метрологии и может быть использовано для поверки датчиков абсолютного давления. Цель: повышение точности поверки датчиков абсолютного давления на низкие пределы измерения при отсутствии задатчиков абсолютного давления необходимого класса точИзобретение относится к области метрологии, в частности к способам поверки датчиков абсолютного давления на низкие пределы измерения, например, основанных на тензорезистивном эффекте.

Известны способы поверки датчиков абсолютного давления, основанные на определении и анализе зависимости выходного сигнала датчика от величины задаваемого в рабочей полости абсолютного давления, Наиболее близким к изобретению является способ поверки датчиков абсолютного давления, согласно которому задают контролируемое давление с помощью манометра абсолютного давления, фиксируют

„„5U„„1791738 А1 ности, Сущность изобретения, в способе, включающем создание разрежения в рабочей полости и определение зависимости выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, поддерживают постоянным в процессе поверки разрежение в рабочей полости, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембранного чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, и определяют соответствующие значения выходного сигнала, которые являются тарировочными для данного датчика абсолютного давления. Положительный эффект: обеспечение высокоточной поверки датчика при его эксплуатации на обьекте без использования задатчика абсолютного давления высокого класса точности, изменение выходного сигнала и определяют основную погрешность датчика.

Недостатком известного способа является ограниченная точность поверки, обусловленная большим значением предела допускаемой основной погрешности контрольного задатчика-манометра абсолю1ного давления (для МПА-15 ТУ 50-62-78 равной 6,65 Па), что не позволяет обеспечить необходимое соотношение точности контрольного и поверяемого прибора (1:4) при поверке датчиков класса точности 1,0; 0,5 и выше с верхними пределами измерения

0,25; 0,4; 0,6; 1,0 кПа.

Целью изобретения является повышение точности поверки датчиков абсолютно1791738

Составитель И.Сумцов

Техред М,Моргентал Корректор M.Têà÷

Редактор Т.Иванова

Заказ 148 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбина "Патент", г. Ужгород. ул.Гагарина, 101 го давления на низкие пределы измерения при отсутствии задэтчиков абсолютного давления необходимого класса точности.

Цель достигается тем, что в способе поверки мембранного датчика абсолютного давления на низкие пределы измерения, включающем создание разрежения в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигнала от величины рабочего ходв мембранного блока, в рабочей полости датчика создают и поддерживают в процессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, при этом для ряда дискретных значений угла фиксируют соответствующие им значения выходного сигнала, которые являются тарировочными для данного датчика абсолютного давления.

Способ реализуется следующим образом. При изготовлении датчика абсолютного давления, после его настройки по избыточному давлению и герметизации отвакуумированной полости, датчик закрепляется в рабочем положении в универсальной делительной головке (типа

УДГ-Д-250) или другом устройстве, позволяющем изменять вышеуказанный угол на заданные величины с требуемой точностью. В рабочей полости датчика создается и поддерживается в процессе поверки разрежение, равное созданному в отвакуумированной полости, затем последовательно увеличивают угол наклона от начального положения до максимального, соответствующего верхнему значению выходного сигнала, и фиксируют его промежут очные значени ., Полученные данные по ряду выбранных значений выходного сигнала

5 и соответствующие им значения угла заносятся в паспорт датчика и являются тарировочными для поверки в процессе эксплуатации тем же способом, Отсутствие задатчика абсолютного дав10 ления, высокая повторяемость и стабильность показаний выходного сигнала от угла поворота датчика позволяет обеспечить высокоточную поверку датчика при его эксплуатации на обьекте, Это дает возможность

15 регулярно контролировать техническое состояние датчика и тем самым продлить его ресурс.

Формула изобретения

Способ поверки мембранного датчика

20 абсолютного давления на низкие пределы измерения, включающий создание разрежения в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного

25 блока, отличающийся тем,что,сцелью повышения точности поверки, в рабочей полости датчика создают и поддерживают в процессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости дат30 чика, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положения датчика, при котором изменяют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного злемента и горизонтальной

35 плоскостью, при этом для ряда дискретных значений угла фиксируют соответствующие им значения выходного сигнала, которые являются тарировочными для данного датчика абсолютного давления,