Патент ссср 180701

Авторы патента:

C23C14/14 - металлический материал, бор или кремний

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСИОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

I807OI

Союз Соеетскиа

Социалистическил республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 21 > 10с е "З. l

МПК H 01g

Заявлено 04Х.1965 (№ 1005777/26-9) с прпсоедипснпем заявки №

Приоритет

Опубликоuàllo 26.111.1966. Бюллетень .¹ 8

Дата опубликования описания 12Л .1966

Комитет ло делам изобргтеиий и открытий лри Co"..ãòå 1Лииистроа

СССР

УДК 621.319.4.002.2 (088,8) Авторы изобретения

В. С Крикоров, Г. А. Блинов, В. Д. Желнинекий, а.:11 и Э. А. Маркарянц,

1 ркнк-... т \

Заявитель! ь-:i.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известные способы изготовления диэлектрических пленок, основанные на испарении в вакуумной камере двуокиси кремния, характеризуются сравнительно высокой температурой испарения, равной 2000 вЂ 22 С, что усложняет технологию и уменьшает воспроизводимость результатов.

В описываемом способе снижение температуры испарения двуокиси кремния без ухудшения диэлектрических свойств пленки достигнуто применением смеси, состоящей 11з двуокиси кремния и лантана, взятых в эквиполярных количествах.

Технология получения таких пленок заключается в следующем.

Исходные материалы: двуокись кремния и лантан измельчают в атмосфере инертного газа на струйной мельнице до величины частиц

20 вЂ” 40 лгк.

Соотношение двуокиси кремния и лантана берут в эквиполярных количествах.

Полученную смесь прессуют в таблетки весом 1 вЂ” 4 г ll загружают в пспаритель. На подложку, нагретую до температуры 200 вЂ” 300" С, производят напыление в ьакууме 2 10 л.lt рт. ст. при температуре пспарителя 1400 вЂ”вЂ”

1500" С.

Пленки обладают диэлектрическими характеристиками, близкими к параметрам пленок, ИЗГОТОВЛЕНПЫХ 113 ДВ ОК::1СИ КРЕМН1111.

Способ изготовления дпэлектрггческпх пленок па основе двуокиси кремния напылением в вакуумной «амере, откгггчпгошггггся тем, что, с целью снижения температуры пспарешгя двуокиси кремния без ухудшения диэлектрических свойств пленки, применяют смесь пз

2р двуокиси кремния и лантана. взятых в эквпполярных количествах.

Похожие патенты:

Способ нанесения покрытий // 166875

Патент 165629 // 165629

Патент 163193 // 163193

Патент 162740 // 162740

Патент 158936 // 158936

Патент 152741 // 152741

Способ изготовления электродов для токопроводящей пленки // 142542

Способ нанесения металлических покрытий методом испарения металлов в вакууме // 65404

Пиротехнический материал и способ его изготовления // 2120930

Изобретение относится к пиротехническому материалу и способу его изготовления, и, в частности, к пиротехническим цепям, пригодным для использования в системах задержки с одинарными или множественными цепями для передачи зажигания и детонации

Антимикробные материалы // 2167526

Изобретение относится к антимикробным покрытиям и порошкам, а также способу их нанесения на медицинские устройства

Состав сплава для нанесения покрытий // 2213807

Изобретение относится к металлургии, в частности к составам, используемым для нанесения покрытий на изделия из металлов и сплавов, например жаропрочных сплавов, наносимых на лопатки турбин газотурбинных двигателей или стационарных газовых турбин

Способ синтеза интерметаллических соединений // 2221889

Изобретение относится к области получения интерметаллических соединений, например сверхпроводящих, используемых в электротехнической, радиотехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ восстановления зондов для нанотехнологии // 2241066

Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к способам восстановления зондов

Многослойные покрытия из неиспаряющегося геттера, получаемые катодным осаждением, и способ их изготовления // 2277609

Изобретение относится к многослойным покрытиям из неиспаряющихся геттерных материалов и к способу их изготовления

Способ изготовления на подложке из специального сплава защитного покрытия, образующего тепловой барьер, со связующим подслоем и изделие, полученное этим способом // 2287609

Изобретение относится к изготовлению изделий, содержащих защитное покрытие, образующее тепловой барьер, и которое может быть использовано для изготовления деталей газовых турбин, таких как турбинные лопатки турбореактивных двигателей

Многослойный лист и упаковка для пищевых продуктов, лекарств или инструмента, изготовленная из многослойного листа // 2301743

Изобретение относится к многослойному листу, а также к упаковке, изготовленной из такого листа и предназначенной для упаковывания пищевого продукта, лекарственного препарата или инструмента

Титановое изделие с повышенной коррозионной стойкостью // 2336366

Изобретение относится к титановому изделию с повышенной коррозионной стойкостью

Способ нанесения ионно-плазменного покрытия и узел электродугового испарителя с составным катодом // 2376398

Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионностойких ионно-плазменных покрытий и может быть использовано в машиностроении при нанесении покрытий на рабочие и направляющие лопатки турбомашин