Электронный микроскоп

Авторы патента:

H01J37/26 - электронные или ионные микроскопы, трубки с дифракцией электронов или ионов

H01J29/80 - устройства для управления лучом или пучком на участке после прохождения главной отклоняющей системы, например устройства для вторичного ускорения или вторичной фокусировки, для коммутации цвета

Союз Соеетских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.И1.1963 (№ 845855/26-10) с присоединением заявки №

Кл, 21g, 37/01

МПК Н 01j

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Сосете (Лииистрсс

СССР

Приоритет

Опубликовано 09.VI I.1966. Бюллетень № И УДК 621.385.833(088.8) Дата опубликования описания 1.IX.1966

Лвторы изобретения

В. H. Верцнер и Ю. Ф

Заявитель

ЭЛЕКТРОННЫЙ МИК1 ОСКОП

Известны электронные микроскопы, увеличивающие изображение малоконтрастных объектов электронами низких скоростей, в которых узел формирования изображения объекта содержит расположенные на оптической оси кондецсор, объектив и камеру объектов.

Описываемый микроскоп отличается от известных тем, что его узел формирования изображения малоконтрастных объектов служит замедлителем пучка электронов, проходящего в стволе электронного микроскопа. Он выполнен в виде расположенных на оптической оси двух внешних электродов и одного внутреннего с полостью, служащей камерой объектов.

Торцы электродов со стороны входа и выхода образуют коиденсор и иммерсионный объектив соответственно. При этом внешние электроды заземлены, а внутренний электрод и электрически контактирующий с ним объектодержатель подключены к вводу регулируемого высокого напряжения.

Такое выполнение электронного микроскопа позволяет устранить влияние на качество конечного изображения загрязнения внутри ствола микроскопа, увеличить эффективность работы люминофоров и фотоматериалов его индикационных устройств и упростить конструкцию узла формирования изображения объекта.

На чертеже показан узел формирования изображения объектов в разрезе.

Электроды 1 и 2 находятся под потенциалом земли. На электрод 8 от высоковольтного делителя через высоковольтный ввод 4 подается высокое напряжение.

Объект 5 и объектодержатель 6, помещенные в полости электрода 8, служащей камерой объектов, электрически контактируют и, следовательно находятся под тем же потенциалом. Втулка 7 изолиру.ет объектодержатель. Фокусировка производится при помощи осевого перемещения объекта. За электродом

2 расположены подвижная аппертурная диафрагма 8 и электромагнитный стигматор 9.

Ограничивающая диафрагма 10 вырезает тонкий пучок электродов, выходящих из электронной пушки (на чертеже не показано), которая крепится на верхней части корпуса узла формирования объектов.

Форма электрода 1 и торец электрода 8, образующих конденсор, подобраны так, что пучок электродов фокусируется на объекте.

Электрическое поле конденсора понижает потенциал пучка электронов до величины, равной разнице между ускоряющим напряжением и напряжением на электроде 8. Электростатическая линза, образованная электродами 2 и вторым торцом электрода 8, использу30 ется как иммерсионный объектив. При выходе