Способ выращивания монокристаллов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 22.111.1965 (№ 947896/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.VII.1966. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 13.IX.1966
Кл. 12с, 2
МПК В 01d
УДК 548.522(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
СПОСОБ ВЪ|РАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
Известен способ выращивания монокристаллов веществ из газовой фазы в запаянной ампуле, при котором используется свойство веществ возгоняться при температуре ниже точки плавления. При этом ампула расположена горизонтально и не производится ее вращения.
Предложенный способ отличается тем, что вращают ампулу с шихтой и растущим в ней мснокристаллом и перемещают ее вертикально вверх в печи с заданным температурным режимом при совмещении осей печного пространства и ампулы.
На чертеже изображена установка для осуществления способа.
Кристаллизационная установка состоит из вертикальной трубчатой (прозрачной) печи с воздушной теп.чоизоляцией и механизмов подъема и вращения ампулы. Печь соорана из двух цилиндров (плавленный кварц), встав.ченных один в другой. Наружный цилиндр 1 служит защитным кожухом, позволяющим создать воздушную теплоизоляцию. Внутренний цилиндр 2 является оболочкой печи и каркасом для размещення нагревателя. Распределение обмотки нагревателя по цилиндру должно соответствовать определенному температурному графику 8. Оба цилиндра устанавливаются в пазах асбоцементной подставки 4 и закрываются сверху крышкой 5.
Порошкообразное кристаллизуемое вещество засыпается в конусную часть ампулы 6 с крючком для крепления 7, затем плотно утрамбовывается. После этого в цилиндрическую часть ампулы помещается спрессованное ьещество и закрывающий поршенек 8 (из материала ампулы). Подготовленная таким образом ампула откачивается или наполняется необходимой газовой средой и запаивается.
Запаянная ампула прикрепляется к стержню
9, соединенному с механизмами вращения и перемещения ампулы. Благодаря теплопроводности стержень выполняет роль дополнительного теплоотвода от растущего кристал15 ла.
После включения нагрева печи ампула усганавливается так, чтобы центр теплоотвода находился в зоне максимальной температуры, после чего включается механизм вращения 10 и механизм подъема 11. При движении ампу lbl вещество, находящееся в конусной части, попав в зову максимального обогрева, начнет уплотняться, освобождая вершину конуса. Обр-,зовавшиеся пары кристаллизуемого вещества устремятся в более холодную часть ампулы и плотно закупорят брикет с поршнем в ампуле. Такое самозакрывание исключает возможность конденсации вещества в противоположном конце ампулы. При выходе из гочп рячей зоны конической часги ампулы скопив184246
Составитель Ю. Рапкии
Редактор И. Г. Карпас Техред Т. П. Курилко Корректор М. П. Ромашова
Заказ 2545/1 Тираж 900 Формат бум. 60;к90 /, Объем 0,16 изд. л. Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д, 4
Типография, пр. Сапунова, 2 шиеся пары начнут осаждаться, образуя центр кристаллизации.
При необходимости проводить кристаллизацию на ориентированную затравку в конусную часть ампулы вместо порошкообразного реактива, монтируется затравка.
Предмет изобретения
Способ выращивания монокристаллов веществ, разлагающихся при температуре ниже точки плавления, из газовой фазы в запаянной ампуле, перемещаемой в печи с заданным температурным режимом на ориентированной затравке или без нее, отличающийся тем, что, с целью получения однородных монокристаллов, вращают ампулу с испаряемым веществом и растущим в пей монокристаллом и перемещают ее вертикально вверх в печи с заданным темперят1 рным режимом при совме10 щении осей печного пространства и ампулы.
