Патент ссср 184982

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОИ:КОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ

Союз Соеетскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21g, 13/28

Заявлено 08.11.1964 (№ 880829/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.VII.1966. Бюллетень ¹ 16

Дата опубликования описания 21.1Х.1966

МПК Н 011

УДК 531.767.08:621.793.71 (088.8) Комитет по делам иаобретений и открытий при Сосете Министрое

СССР

Ы :;.:

М. И. Овсянников и В. Е. Григорьев чч П/ :.

t (, 2

В i i.

Авторы изобретения

Заявитель

- 4 " ° г

Е:.

ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ

Известны приборы для измерения скорости напыления пленок термическим испарением в вакууме, состоящие из ионизационной системы и коллектора. Эти приборы не обеспечивают высокой точности измерений.

Предложенный прибор для измерения скорости напыления пленок термическим испарением в вакууме отличается от известных тем, что между испарителем вещества и коллектором, а также между коллектором и нитью накала установлены экраны, первый из которых закреплен с анодом при помощи скоб, а второй закреплен с ускоряющей сеткой, что позволяет производить измерение скорости напыления с высокой точностью.

На чертеже изображен прибор в разрезе.

Анод 1 с ускоряющей цилиндрической сеткой 2, нить накала 8 (вольфрамовый катод диаметром 0,08 мм) и вытягивающая плоская сетка 4 крепятся на керамическом стержне б при помощи обжимных никелевых хомутиков б. Анод укреплен на никелевом держателе 7.

Нить накала 8 натянута двумя танталовыми пружинами 8, приваренными к молибденовым держателям 9. Сетка 4 крепится на молибденовом держателе 10. Сетка 2 крепится к аноду 1 восемью никелевыми скобочками 11. Хомутики б отделены друг от друга составными цилиндрическими экранами 12 во избежание закорачивапия электродов при напылении проводящих пленок.

Съемный цилиндрический экран 18 надевается на сетку 2 и предохраняет коллектор 14 от попадания на него положительных ионов с нити накала 8.

Никелевое кольцо 15 исключает попадание посторонних заряженных частиц из рабочего объема на коллектор 14. Для этой же цели предназначен выполненный из нержавеющей стали экран 1б.

Вывод 17 коллектора 14 выполнен отдельно от выводов других электродов во избежание утечек, изолирован с помощью тефлоновых или ультрафарфоровых (ультрафарфор № 53, класс Ч) шайб 18 и экранирован.

Попадающие в пространство между сеткой

2 и анодом 1 атомы испаряемого вещества ионизуются ударами электронов. Электроны эмиттируются накаленным катодом д и ускоряются в направлении сетки 2 разностью потенциалов 10 в. Анод 1 находится под потенциалом сетки 2. Образующиеся в результате ионизации атомов испаряемого вещесгв» положительные ионы ускоряются напряжением 200 в, приложенным между анодом 1 и плоской сеткой 4, в направлении коллектора

14. С коллектора сигнал поступает на вход электрометрического каскада усилителя V1-2.

30 Для задержки электронов, уходящих с кол/8

Составитель P. Г. Акопян

Редактор И. Г. Карпас Техред Т. П. Курилко Корректор Г. Е. Опарина

Заказ 2717/8 Тираж 1550 Формат бум. 60X90 /s Объем 0,16 изд, л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по дедам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, нр. Серова, д. 4

Тннография, пр. Сапунова, 2 лектора вследствие фотоэффекта ца нем, между сезкой 4 и коллектором 14 подается напряжение 20 в. Фотоэффект на коллекторе гызывается световым излучением нити накала у и испарителя вещества, а также мягким рентгеновским излучением, возникающим при торможении ионизирующих электронов на сетке 2 и аноде.

Для.задержки положительных ионов, эмиттированных испарителем при его нагревании, между испарителем вещества и анодом подается напряжение о в.

Предмет изобретения

1. Прибор для измерения скорости напылеция пленок термическим испарением в вакууме, состоящий из ионизационцой системы и коллектора, отлича/ощийся тем, что, с целью предотвращения попадания положительных термопонов с испарителя вещества на коллектор, между испарителем вещества и коллектором установлен кольцевой экран, закрепленный на аноде при помощи скобок.

2. Прибор по п. 1, отличающийся тем, что, с целью предотвращения попадания положительных термоионов с нити накала на коллектор, между нитью накала и коллектором установлен цилиндрический экран, закрепленный

15 ца ускоряющей сетке.