Устройство для получения металлического циркония из тетраиодида в низкотемпературной плазме

Авторы патента:

C22B34/14 - получение циркония или гафния

Изобретение относится к получению металлического циркония, в частности к устройствам для получения металлов из их йодидов в низкотемпературной плазме. Сущность изобретения: устройство снабжено медным кольцом, установленным на трубке, соединяющей испаритель и реактор, при соблюдении следующих соотношений: Н=0,4-0,6 d_инд. и d_инд.dd_тр., где Н - расстояние между индуктором и кольцом, d - диаметр кольца, d_инд. - диаметр индуктора, d_тр. - диаметр соединительной трубки. Подложку, на которой осаждают металл, дополнительно заземляют. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к металлургии редких металлов, а именно к устройствам для получения металлов из их йодидов в низкотемпературной плазме. Целью предлагаемого изобретения является упрощение процесса и увеличение скорости осаждения циркония. На чертеже изображено предлагаемое устройство в статике. К реактору 1 через соединительную трубку 2 подсоединен испаритель тетрайодида циркония 3. На трубку надето медное кольцо 4. В реакторе над соплом 5 подвешивается подложка 6, нагреваемая индуктором 7. Дополнительно подложку заземляют. Пример работы устройства. Порошок тетрайодида циркония загружают в испаритель 3, подложку 6 устанавливают в вертикальном реакторе 1 и откачивают систему до остаточного давления приблизительно 110^-1 торр. Затем подложку нагревают индуктором 7 ВЧ-генератора до 1500^oC, при этом в области подложки возбуждается разряд. При нагреве испарителя тетрайодид через соединительную трубку 2 и сопло подачи тетрайодида циркония 5 подается в реактор с расходом 60 г/ч. Проходя через зону медного кольца 4 высотой 25 мм, он дополнительно нагревается и разлагается на подложке до металлического циркония и йода. Как следует из таблицы, предлагаемое устройство позволяет осуществить процесс без аргона, что позволяет избежать загрязнения получаемого металла примесями, содержащимися в аргоне, при высоких скоростях осаждения.

Формула изобретения

1. Устройство для получения металлического циркония из тетрайодида в низкотемпературной плазме, включающее испаритель, реактор осаждения с подложкой, установленной в индуктор, трубку, соединяющую реактор и испаритель отличающееся тем, что, с целью упрощения процесса и увеличения скорости осаждения металла, оно снабжено медным кольцом, установленным на соединительной трубке при соблюдении следующих соотношений: H 0,4-0,6 d_и_н_д и d_и_н_д

d_тр, где H расстояние между индуктором и кольцом; d диаметр кольца; d_и_н_д диаметр индуктора; d_т_р диаметр соединительной трубки. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка дополнительно заземлена.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Дата прекращения действия патента: 26.01.2003

Номер и год публикации бюллетеня: 13-2004

Извещение опубликовано: 10.05.2004

Способ переработки кусковых отходов циркония // 1681552

Способ получения сплавов титана // 1582683

Изобретение относится к цветной металлургии, в частности к магниетермическому производству губчатых титановых сплавов

Способ извлечения циркония и/или гафния из отходов производства // 1566749

Устройство для транспортировки и загрузки металлотермической шихты // 1285040

Изобретение относится к цветной металлургии и может быть использовано при транспортировке и загрузке металлотермической шихты, препмущоствешю при получении циркония

Способ получения золя гидратированного диоксида циркония // 1282463

Изобретение относится к технологии получения золя гидратированного диоксида циркония

Способ очистки циркония от гафния // 1246619

Метод разделения роданидов циркония и гафния селективной экстракцией ацетофеноном // 1135206

Способ отделения циркония, тория и железа от редкоземельных металлов // 999627

Способ получения лигатур гафния с никелем // 980446

Способ переработки бадделеита // 2103400

Изобретение относится к переработке бадделеита с получением диоксида циркония повышенной чистоты, позволяющей использовать его в производстве оптических материалов, подложек интегральных схем, спецкерамики, пьезокерамики

Способ получения тонкодисперсного порошка циркония // 2139168

Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к технологии получения порошков редких и рассеянных элементов

Способ переработки эвдиалитового концентрата // 2183225

Изобретение относится к комплексной технологии эвдиалитового концентрата и может быть использовано для получения соединений циркония, редкоземельных элементов (РЗЭ), алюминия и марганца

Способ получения гафния или циркония и их сплавов // 2190031

Изобретение относится к области металлургии

Способ экстракционного разделения и концентрирования циркония и гафния // 2190677

Изобретение относится к технологии получения ядерно-чистого циркония, конкретно к технологии очистки циркония от гафния при экстракционной переработке азотнокислых гафнийсодержащих растворов циркония

Способ получения металлов и сплавов // 2191834

Изобретение относится к области металлургии редких, радиоактивных металлов или их сплавов

Способ растворения циркония и сплавов на его основе // 2201464

Изобретение относится к способам растворения циркония, находящегося во вторичном сырье, и может быть использовано для извлечения циркония из конструкционных материалов, а также отходов металлургических и механических операций производства циркония, его сплавов и изделий

Способы избирательной экстракции металлических компонентов // 2203335

Изобретение относится к извлечению и избирательной экстракции металлических компонентов, таких как уран, торий, скандий и цирконий, из исходного материала, в состав которого входят эти компоненты

Способ получения расплава, содержащего хлорцирконат калия и фторид редкоземельных элементов // 2234461

Изобретение относится к металлургии редких металлов, в частности к области получения расплавов солей хлорцирконата калия - исходных материалов для электролитического или металлотермического получения циркония

Способ кислотного разложения силиката кальция и извлечения циркония // 2244035

Изобретение относится к извлечению редких металлов из силикатных руд и концентратов и может быть использовано при переработке циркониевых концентратов