Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением

Авторы патента:

C23C14/36 - диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)

C23C14/06 - характеризуемые покрывающим материалом (C23C 14/04 имеет преимущество)

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРИтИНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Саюз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.Х1.1965 (№ 1040374/22-1) Кл. 48Ь, 15/00 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29.Х11.1966. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 6.II.1967

Комитет по делам изобретений и открытии при Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621.793.7(088.8) Авторы изооретения

О. А, Мотовилов, В. Н, Рождественский и О. Г. Рудина 1 т u I

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСЕЙ ВЕЩЕСТВ

КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ

Известны способы получения пленок из смесей веществ катодным распылением, в которых используются либо катоды из сплава, либо мозаичные катоды, представляющие собой набор примыкающих друг к другу площадок распыляемых веществ. Однако эти способы обладают следующими недостатками: е всегда представляется возможным приготовить сплав из исходных материалов; при распылении мозаичного катода на покрытии обнаруживается структура поверхности катода; на поверхности катода образуется пленка, обогащенная веществом с большей скоростью распыления.

Для получения пленок заданных состава и толщины предлагается способ, при котором пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления поpHcToI слоя из компонента соответствующего катода.

Предлагаемый способ состоит в том, что подложку поочередно помещают под катоды из папыляемых материалов. Во избежание образования слоистого покрытия из чередуюшихся пленок распыляемых компонентоВ Время очередного пребывания (экспозиция) подложки под каждым из катодов должно быть равно времени, необходимому для образования пористого слоя напыляющегося с данного катода вещества.

Способ осуществляется в вакуумной установке снабженной необходимым к личеством катодов (по числу компонентов смеси) . Процесс нанесения пленки смеси состоит пз ряда последовательно чередующихся экспозиций подложки под каждым из катодов.

Время образования слоя каждого из компонентов определяется, исходя из размеров молекул распыляющихся веществ (а) и реальных скоростей образования пленок (о). Тогда время пребывания образца под катодом (в случае двух катодов) не должно превышать

1 а величинь: Т

Изменяя напряжение на одном из катодов, высоту расположения его над образцом или углы рабочих секторов катодов, регулируют количественное соотношение компонентов в смеси.

Предлагаемый способ нанесения слоев из смесей обеспечивает возможность создания не только однородных, но также и неоднородных пленок, состав которых в направлении, перпендикулярном к подложке, изменяется по

30 заданному закону.

190757

Предмет изобретения

Составитель Портнова

Редактор Н. Корченко Техред Т. П. Курилко Корректоры: М. П. Ромашова и Г, Е. Опарина

Заказ 4457/2 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ получения пленок из смесей веществ катодным распылением, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданных состава и толщины, пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления пористого слоя из компонента соответствующего катода.

$Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением$ $Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением$

Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на изделия из железных и титановых сплавов // 2106429

Изобретение относится к энергетическому и транспортному машиностроению и может быть использовано для повышения износостойкости лопастей турбин и насосов, элементов двигателей и другого оборудования, процесс эксплуатации которых характеризуется одновременным воздействием различных видов износа (каплеударная и абразивная эрозия, различные виды коррозии, эрозия-коррозия, кавитация, повышенная агрессивность среды, повышенное трение)

Способ нанесения плазменного покрытия // 2112075

Изобретение относится к нанесению покрытий из керамико-металлических порошков на детали

Способ получения пленки нитрида алюминия // 2113537

Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме // 2114210

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме, а более точно к способу формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме

Деталь газотурбинного двигателя и способ ее изготовления // 2116377

Изобретение относится к изготовлению деталей газотурбинных двигателей, преимущественно авиационных, и может быть использовано для образования теплозащитных покрытий на деталях горячего тракта турбины

Свч-плазменное осаждение диэлектрических пленок на металлические поверхности // 2117070

Изобретение относится к области осаждения диэлектрических пленок на металлические поверхности и может быть использовано для изоляции проводников различных датчиков, работающих в агрессивных и химически активных средах, для пассивации различных металлических поверхностей, а также при изготовлении волоконно-оптических заготовок с различными показателями преломления по их сечению и протяженных изделий с малым радиусом кривизны

Способ изготовления инструмента для экструзии профилей из алюминиевых сплавов // 2125919

Изобретение относится к области обработки металлов, в частности профилей из алюминиевых сплавов, и касается инструмента для экструзии профилей из алюминиевых сплавов

Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали // 2131480

Изобретение относится к плазменной химико-термической обработке поверхности деталей и может быть использовано в машиностроении

Низкоэмиссионное прозрачное покрытие с повышенной коррозионной стойкостью и оконное стекло с этим покрытием // 2132406

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению прозрачных низкоэмиссионных покрытий методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе на прозрачные материалы, такие как стекла или полимерные пленки

Многослойный листовой материал и его вариант // 2139793

Изобретение относится к многослойным листовым материалам на основе алюминия, применяемым для кровли зданий, в том числе куполов и крыш церквей и отделки их наружного и внутреннего интерьеров

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Устройство для нанесения в электрическом поле на один из электродов покрытий из материалов в виде порошка (варианты) // 2190040

Изобретение относится к оборудованию для нанесения в электрическом поле покрытий

Износостойкое ионно-плазменное покрытие и способ получения износостойкого ионно-плазменного покрытия на поверхностях пар трения // 2211880

Изобретение относится к области получения функциональных покрытий, стойких к износу, и способам их получения на поверхности изделия и может быть использовано в машиностроении для упрочнения деталей машин и механизмов, изготовления деталей современных высокофорсированных двигателей, нанесения износостойкого покрытия на стержни клапанов и поршневые кольца

Мишень для получения функциональных покрытий и способ ее изготовления // 2305717

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к мишени для получения функциональных покрытий и способу ее изготовления, и может быть использовано в химической, станкоинструментальной промышленности, машиностроении и металлургии

Устройство магнетронного реактивного распыления нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий // 2065507

Устройство для ионно-плазменного распыления материалов в вакууме // 2075539

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано, например, при производстве тонкопленочных элементов многокомпонентных материалов, оптических покрытий, теплозащитных покрытий архитектурного стекла и других покрытий для товаров народного потребления на любых металлических, пластмассовых и других основаниях

Устройство для плазменной обработки металлических изделий // 2030484

Изобретение относится к технике газоразрядных устройств и может быть использовано в плазмохимических реакторах

Способ получения тонких пленок // 254304

Устройство для катодного распыления // 290065

Устройство для ионного напыления пленок // 297709