Способ получения тонких пленок

Авторы патента:

Д. В. Белышкин , А. Ф. Первеев

C23C14/36 - диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)

C23C14/06 - характеризуемые покрывающим материалом (C23C 14/04 имеет преимущество)

ОП ИСАЙ ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 54304

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48 о, 15, 00

Заявлено 17.V.1966 (Ле 1076099/22-1) с,присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 07.Х.1969. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 5.III.1970

МПК С 23с

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УД

Авторы изобретения

ВЛ :.::ООТГ.;, ;:, Д. В. Белышкин и А. Ф. Первеев

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Известен способ получения тонкик пленок путем катодного распыления с использованием многокомпонентного, например мозаичного, катода из набора пластинок распыляемьп веществ.

К недостаткам этого способа относятся неоднородность имического состава пленок, трудность регулирования состава, а также сложность изготовления мозаичного катода.

Предложенный способ позволяет получать пленки, однородные по химическому составу, и легко регулировать ик состав. Он отличается тем, что в качестве многокомпонентного катода используют порошкообразную смесь распыляемых веществ.

Способ состоит в том, что тонкие пленки получают путем катодного распыления с использованием в качестве многокомпонентного катода порошкообразной смеси распыляемык веществ.

Для изготовления пленок порошки распыляемык веществ смешивают в необходимой концентрации и полученную смесь насыпа1от тонким слоем (2 вЂ” 5 лж) на проводящу1о под5 ложку, после чего осуществляют катодное распыление. Состав смеси необходимо регулировать в соответствии со скоростями рз пыленпя компонентов.

Прп использовании катодов с большой пло10 шалью возможно осаждение слоев покрыти» на больши: повер ностяк.

Предмет изобретения

Способ получения тонки.: пленок путем ка1 тодного распыления с использованием мпогокомпонентного катода, отличающийся тем, что, с целью получения однородны.; по пмпческому составу пленок, в качестве многокомпонентного катода используют норошкообраз20 ную смесь распыляемых веществ.

Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением // 138791

Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением // 190757

Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на изделия из железных и титановых сплавов // 2106429

Изобретение относится к энергетическому и транспортному машиностроению и может быть использовано для повышения износостойкости лопастей турбин и насосов, элементов двигателей и другого оборудования, процесс эксплуатации которых характеризуется одновременным воздействием различных видов износа (каплеударная и абразивная эрозия, различные виды коррозии, эрозия-коррозия, кавитация, повышенная агрессивность среды, повышенное трение)

Способ нанесения плазменного покрытия // 2112075

Изобретение относится к нанесению покрытий из керамико-металлических порошков на детали

Способ получения пленки нитрида алюминия // 2113537

Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме // 2114210

Изобретение относится к получению сверхтвердых износостойких покрытий в вакууме, а более точно к способу формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме

Деталь газотурбинного двигателя и способ ее изготовления // 2116377

Изобретение относится к изготовлению деталей газотурбинных двигателей, преимущественно авиационных, и может быть использовано для образования теплозащитных покрытий на деталях горячего тракта турбины

Свч-плазменное осаждение диэлектрических пленок на металлические поверхности // 2117070

Изобретение относится к области осаждения диэлектрических пленок на металлические поверхности и может быть использовано для изоляции проводников различных датчиков, работающих в агрессивных и химически активных средах, для пассивации различных металлических поверхностей, а также при изготовлении волоконно-оптических заготовок с различными показателями преломления по их сечению и протяженных изделий с малым радиусом кривизны

Способ изготовления инструмента для экструзии профилей из алюминиевых сплавов // 2125919

Изобретение относится к области обработки металлов, в частности профилей из алюминиевых сплавов, и касается инструмента для экструзии профилей из алюминиевых сплавов

Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали // 2131480

Изобретение относится к плазменной химико-термической обработке поверхности деталей и может быть использовано в машиностроении

Низкоэмиссионное прозрачное покрытие с повышенной коррозионной стойкостью и оконное стекло с этим покрытием // 2132406

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению прозрачных низкоэмиссионных покрытий методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе на прозрачные материалы, такие как стекла или полимерные пленки

Многослойный листовой материал и его вариант // 2139793

Изобретение относится к многослойным листовым материалам на основе алюминия, применяемым для кровли зданий, в том числе куполов и крыш церквей и отделки их наружного и внутреннего интерьеров

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Устройство для нанесения в электрическом поле на один из электродов покрытий из материалов в виде порошка (варианты) // 2190040

Изобретение относится к оборудованию для нанесения в электрическом поле покрытий

Износостойкое ионно-плазменное покрытие и способ получения износостойкого ионно-плазменного покрытия на поверхностях пар трения // 2211880

Изобретение относится к области получения функциональных покрытий, стойких к износу, и способам их получения на поверхности изделия и может быть использовано в машиностроении для упрочнения деталей машин и механизмов, изготовления деталей современных высокофорсированных двигателей, нанесения износостойкого покрытия на стержни клапанов и поршневые кольца

Мишень для получения функциональных покрытий и способ ее изготовления // 2305717

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к мишени для получения функциональных покрытий и способу ее изготовления, и может быть использовано в химической, станкоинструментальной промышленности, машиностроении и металлургии

Устройство магнетронного реактивного распыления нитридных, карбидных и карбонитридных покрытий // 2065507

Устройство для ионно-плазменного распыления материалов в вакууме // 2075539

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано, например, при производстве тонкопленочных элементов многокомпонентных материалов, оптических покрытий, теплозащитных покрытий архитектурного стекла и других покрытий для товаров народного потребления на любых металлических, пластмассовых и других основаниях

Устройство для плазменной обработки металлических изделий // 2030484

Изобретение относится к технике газоразрядных устройств и может быть использовано в плазмохимических реакторах

Устройство для катодного распыления // 290065