Автоматическое устройство для напыления пленок на диэлектрические подложки
О П И С А Н И Е l9I66I
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21ат, 75
Заявлено 29Х!1.1965 (№ 1020419/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 26.1.1967. Бюллетень № 4
Дата опубликования описания 31.III.1967
МПК Н Oln
УДК, 621.3.049.75,002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Заявитель
М. А. Колчин и Б. Н. Формозов
Особое конструкторское бюро при Ленинградском политехническом институте имени М. И. Калинина
АВТО|у1АТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК
НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ
Известные автоматические устройства для напыления пленок на диэлектрические подложки, содержащие вакуумную камеру, в которой размещены испарители, установленный под испарителями транспортирующий механизм с укрепленными на нем подложками и наложенными на них масками, бункер с напыляемым материалом и дозатором и оптическую систему, предназначенную для точного совмещения подложек с масками, не позволяют вести процесс напыления без лерезарядкн камеры, а также характеризуются малым коэффициентом заполнения вакуумной камеры.
В предложенном устройстве повышение коэффициента заполнения вакуумной камеры и увеличение числа напыляемых подложек без перезарядки камеры достигнуто тем, что камера устройства выполнена в виде прямолинейной трубы, в которой установлены выдвижная рама с размещенными вдоль knee испарителями и масками, каретка, расположенная над рамой на вертикально перемещающихся направляющих, снабженная окном для очистки подложек тлеющим разрядом и окном для напыления пленок на подложки, и бункер для подачи подложек к окнам.
На фиг. 1 схематически изображено описываемое устройство; на фиг. 2 — выдвижная рама и бункер.
Камера устройства выполнена в виде прямолинейной трубы 1, в которой установлены выдвижная рама 2 с размещенными вдоль нее испарителями (на чертеже не показаны) и масками 8. Выдвижная рама 2 состоит из рамки 4 подложек и рамки б масок, тщательно
5 совмещаемых друг с другом перед процессом напыления. В прямолинейной трубе установлена каретка б, расположенная над выдвиж ной рамой 2 на вертикально перемещающихся направляющих 7. Горизонтальное перемеще10 ние каретки 6 осуществляется вращением ходового винта 8 посредством направляющих 9.
Каретка 6 снабжена окном 10 для очистки ,подложек 11 тлеющим разрядом и окном 12 для напыления пленок на подложки 11. Под15 ложки подаются к окнам 10 и 12 из бункера
18. При помощи кулачка 14 каретка 6 устанавливается на высоте в четырех положениях, при которых подложка в окне 12 напыления может совмещаться с маской 3. Каретка б мо20 жет двигаться поступательно над масками 3 и проходить,под бункерами 18 подложек. Когда окна 10 и 12 подходят под бункеры 18, производится либо их загрузка подложками, либо выдача их из бункеров при помощи рычагов
25 каретки (на чертеже не показаны), управляющих рычагами дозаторов бункеров 18.
Таким образом, каретка б, перемещаясь в вертикальном или горизонтальном направле50 ниях, захватывает поштучно из бункера 13 подложки и перемещает их в зону тлеющего
191661
f3 оо /2 Г
Составитель Н. Ульяновский
Техред Л. Бриккер Корректоры; М. П. Ромашова и О. Б. Тюрина
Редактор Л. А. Утехина
Заказ 727 5 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д, 4
Типография, пр, Сапунова, 2 разряда. Подложки поступают в приемный бункер (на чертеже не показан).
Лпалогичпо каретка 6 подводит поштучно подложки в зону напыления, после чего они поступают в бункер 18, накапливаясь в нем.
По окончании процесса напыления производится выгрузка и загрузка бункеров.
Устройство позволяет производить напыление 60 и более подложек за один вакуумный пикл.
Предмет изобретения
Лвтоматическое устройство для напыления пленок на диэлектрические подложки, содержащее вакуумную камеру, внутри которой размещены испарители, установленный под испарителями транспортирующий механизм с укрепленными на нем подложками и наложенными на них масками, бункер с напыляемым материалом и дозатором и оптическую систему, предназначенную для точного совмещения
5 подложек с масками, отличающееся тем, что, с целью повышения коэффициента заполнения вакуумной камеры и увеличения числа,напыляемых подложек без перезарядки камеры, она выполнена в виде прямолинейной трубы, 10 внутри которой установлены выдвижная рама с размещенными вдоль нее испарителями и масками, каретка, расположенная цад рамой на вертикально перемещающихся направляющих, снабженная окном для очистки подложек
15 тлеющим разрядом и окном для напыления пленок на подложки, и бункер для подачи подложек к окнам.
