Патент ссср 197039
197839
Согсз Советских
Ссииалистикеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
511еЛИОТЕЫ
Кл. 21g, 37/10
Заявлено 05 111.1966 (¹ 1060387/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 31.Ч.1967. Бюллетень ¹ 12
Дата опубликования описания 2Х111.1967
Комитет по делам изобретениЯ и открытиЯ ори Сосете Министров
СССР
МПК Н 01)
УДК 621.385.833.2(088.8) Автор изобретения
П. А. Стоянов
Заявитель
ОСВЕТИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОН4
Предмет изобретения
Известны осветительные системы электронных микроскопов, содержащие электро иную пушку, короткофокусный и длиннофокусный конденсоры и четыре пары электромагнитных катушек, расположенных последовательно, из ,которых две пары предназначены для наклона электронного пучка в радиальной плоскости, а две другие — для наклона пучка,в плоско ти, перпендикулярной первой.
В предлагаемой осветительной системе длинпофокусный конденсор выполнен в виде двухщелевой магнитной линзы, .позволяющей поворачивать .плоскость наклона пуч ка электронов без изменения фокусного ра."ñòoÿíêÿ линзы. Это позволяет упростить конструкцию системы.
Кроме того двухщелевая линза содержит две раздельные обмотки, На чертеже изображена схема предлагаемой осветительной системы.
Наклон электронного пучка в радиальной плоскости производится одной или двумя парами магнитных отклоняющих систем 1 и 2.
Двухщелевая магнитная линза 8 расположена между первым и вторым .конденсором, а в случае осветительной системы с одним конденсором — между ним и электронной пушкой.
Линза содержит две раздельные обмотки.
При изменении тока в одной обмотке по за кону сии с3 я в другой — по закону косинуса происходит вращение плоскости наклона пучка, а фокусное расстояние линзы сохраняется постоянным. Однако при юстировке необязательно строгое соблюдение постоянства фокусного расстояния, так как небольшая дефокусировка при изменении угла легко может быть скорректирована. Поэтому функции
sin o. u cos я можно аппроксимировать более удобными для практической реализации функциями, содержащими в своем разло кеции в ряд Фурье первую гармонику с достаточно большой амплитудой по сравнению с амплитудами остальных гармоник. Такова, например, rii лообразная кривая.
Поскольку предлагаемая система работает в режиме юстировки и углы наклона пучка невелики, то влияние аберраций коцденсора на электронный пучок незначительно.
1. Осветительная система электронного мн25 кроскопа, содержашая электронную пушку, короткофокусный и длиннофокусный конденсоры и магнитные отклоняющие системы, предназначенные для изменения угла наклона электронного пучка, от,гггчагоигаяся тем, что, с
30 целью упрощения конструкции, длиниофокус197039
Составитель Т. М. Горчакова
Редактор Н. О. Громов Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: Н. В. Черетаева и Е. Н. Гудзова
Заказ 2178 3 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 ный конденсор выполнен в виде двухщелевой магнитной ли нзы, позволяющей поворачивать плоскость наклона пучка электронов без изменения фокусного расстояния линзы.
2. Осветительная система электронного микроскопа по п. 1, отличающаяся тем, что двухщелевая магнитная линза содержит две раздельные обмогки,
