Устройство для нанесения металлических покрытий
Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках для нанесения резистивных покрытий. Устройство позволяет снижать и локализовать привносимую дефектность в процессе нанесения покрытий за счет отсоса загрязнений электретным экраном, охватывающим систему транспортирования устройства вдоль всего тракта перемещения, при этом не закрывая изделия от потока распыляемого материала. 3 ил.
Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках для нанесения резистивных покрытий.
Известно экранирующее устройство [1] для нанесения покрытий на подложку из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих и кинематически связанными с приводом. Недостатками аналога являются сложность конструкции и невозможность снижения и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также низкий уровень производственной экологии, что повышает вероятность профессиональных заболеваний. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является экранирующее устройство [2], содержащее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих и кинематически связанным с приводом. Устройство снабжено кронштейном с эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным кольцом двуплечих рычагах, каждый из которых имеет паз на свободном конце. Недостатками прототипа являются сложность конструкции и невозможность снижения и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также низкий уровень производственной экологии, что повышает вероятность профессиональных заболеваний. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства при снижении и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также улучшение производственной экологии. Цель достигается тем, что устройство выполнено в виде электретных экранов, охватывающих систему транспортирования установки с трех сторон - сверху и с боков вдоль всего тракта перемещения подложек. Введение в устройство электретных экранов, охватывающих систему транспортирования установки с трех сторон, обеспечивает "прилипание" частичек резистивного слоя и загрязнений в процессе нанесения покрытий, что позволяет упростить конструкцию при снижении и локализации привносимой дефектности, а также улучшить производственную экологию, что снижает уровень профессиональных заболеваний. На фиг. 1 показано устройство, охватывающее систему транспортирования установки вдоль всего тракта перемещения подложек; на фиг. 2 - устройство, вид сверху; на фиг. 3 - устройство в изометрии. Устройство содержит электретные экраны 1, 2, охватывающие систему 3 транспортирования установки 4 с трех сторон 5, 6, 7 - сверху и с боков вдоль всего тракта 8 перемещения подложек 9. Устройство работает следующим образом. При проведении процесса напыления электретные экраны 1, 2 за счет наличия на них поверхностного заряда удерживают и локализуют на внутренней и наружной поверхностях сторон 5, 6, 7 частички резистивного слоя и загрязнений, расположенные на подложках 9. Применение предлагаемого устройства позволяет упростить конструкцию, снизить и локализовать привносимую дефектность в процессе нанесения покрытий, а также улучшить производственную экологию.Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ, включающее источники распыляемого материала, транспортер изделий, технологический экран, установленный с возможностью охвата транспортера и выполненный с отверстиями в зонах размещения источников, и средство очистки газовой атмосферы, соединенное с экраном, отличающееся тем, что экран выполнен из электретного материала.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Похожие патенты:
Способ нанесения покрытий // 2023740
Изобретение относится к области нанесения покрытий газотермическими методами, в частности к последующей обработке покрытий, и может быть использовано в машиностроении
Способ нанесения покрытий // 2023740
Изобретение относится к области нанесения покрытий газотермическими методами, в частности к последующей обработке покрытий, и может быть использовано в машиностроении
Способ электродуговой металлизации // 2021391
Изобретение относится к области нанесения покрытий газотермическими методами, в частности, к электродуговой металлизации и может быть использовано в машиностроении
Способ получения многокомпонентных покрытий // 2021390
Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении
Способ получения теплозащитного покрытия // 2021389
Изобретение относится к области газотермического нанесения покрытий, в частности к способам плазменного напыления теплозащитных покрытий
Способ нанесения покрытий // 2021387
Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности, газотермическими методами
Порошок для газотермических покрытий // 2016914
Изобретение относится к порошковой металлургии и может быть использовано при получении плазменных покрытий на деталях, работающих в условиях высоких температур, абразивного износа и ударных нагрузок
Изобретение относится к производству изделий с керамическим покрытием и может быть использовано в различных отраслях машиностроения
Смотровое окно для вакуумной камеры // 2023050
Изобретение относится к вакуумно-плазменной технологии обработки изделий, в частности к установкам для нанесения покрытий
Установка для нанесения покрытий // 2022056
Изобретение относится к вакуумно-плазменной обработке инструмента и деталей машин и может быть применено в машиностроении
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам нанесения покрытия на основе металлов в вакууме
Изобретение относится к технической физике и может быть использовано при разработке устройств для ионно-плазменного травления и очистки материалов, нейтрализации высоковольтной дифференциальной зарядки геостационарных спутников Земли, астрофизических исследований космического пространства
Способ металлизации подложки из фторопласта // 2020777
Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на повышение надежности и качества микросхем на подложке из фторопласта преимущественно СВЧ-диапазона и может быть использовано в производстве микросхем ВЧ- и СВЧ-диапазонов (например фильтров, резонаторов и др.)
Изобретение относится к области химико-термической обработки металлов, в частности к устройствам управления установок ионного азотирования
Изобретение относится к технологии получения вакуумных покрытий и может быть использовано при нанесении защитных, износостойких и декоративных покрытий, в частности на керамические и стеклянные облицовочные плитки