Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы
1. Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы, включающий распыление в вакууме материала покрытия и осаждение его на внутреннюю поверхность трубы, отличающийся тем, что компенсированный ионный пучок направляют внутрь трубы вдоль ее оси, а распыляемую мишень, имеющую углубление и систему боковых отверстий, продвигают внутри трубы углублением вперед от одного конца трубы до другого навстречу ионному потоку.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что перед распылением в вакууме материала покрытия поверхность трубы активируют ионным пучком.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень продвигают внутри трубы с постоянной или возрастающей скоростью. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемую мишень и/или трубу постоянно вращают вокруг продольной оси с несовпадающими угловыми скоростями.
Похожие патенты:
Способ плазмохимического нанесения покрытия // 2068029
Изобретение относится к плазменной технике, в частности к способам вакуумной металлизации поверхности и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде
Способ нанесения металлического покрытия // 2067130
Изобретение относится к покрытиям в виде конденсируемых пленок и может быть использовано в вакуумной, криогенной и космической технике, в микро- и оптоэлектронике, в инфракрасной (ИК) и волоконной оптике
Изобретение относится к технологии нанесения металлических покрытий и может быть использовано в микроэлектронике
Способ нанесения покрытий в вакууме и испаритель вакуумной установки для его осуществления // 2061786
Изобретение относится к области вакуумной и газоразрядной электриники, в частности, к технологии нанесения тонких пленок, и может быть использовано для выращивания эпитаксиальных слоев в вакууме для модифицирования различных покрытий в процессе их выращивания и для нанесения тонких пленок
Вакуумно-дуговое устройство // 2058423
Изобретение относится к области вакуумно-плазменной технологии и может быть применено для формирования покрытия на обрабатываемом изделии
Изобретение относится к получению различных соединений на твердой поверхности
Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы
Способ металлизации полимерной пленки // 2050419
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для нанесения металлического покрытия на полимерную основу, в частности для производства интегральных схем
Устройство для охлаждения подложек в вакууме // 2046838
Изобретение относится к способам нанесения покрытий в вакууме и может найти применение для получения покрытий на внутренней поверхности трубчатых изделий, преимущественно с отверстием небольшого размера
Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов
Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841
Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209
Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов
Устройство нанесения тонких пленок // 2114931
Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала
Испаритель для металлов и сплавов // 2118398
Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия
Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания
Испаритель // 2121522
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат
Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов
Испарительный тигель // 2133308
Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах
Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов
