Раствор для травления моноокиси кремния

 

В» . гооi . я f. еатйнтн240792

ОПИСАНИЕ

ИЗОВЕИТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства Л

Заявлено 25.Х.1967 (№ 1193778г26-9) Кл. 21а4, 75

48dI, 1/00 с присоединением заявки №

Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет

Опубликовано 01.IV.1969. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 26Х1П.!969

МПК Н 05k

С 23f

УДК 621.3.049.75:774 (088.8)

62! .794.422. 7 (088.8) Авторы изобретения

Д. И. Гериц и В. А. Седол

Заявитель

РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МОНООКИСИ КРЕМНИЯ

Предмет изобретения

Известен раствор для травления моноокпсп кремния, используемый, например, при изготовлении элементов печатных схем, содержащий фтористоводородную кислоту и фтористый аммоний.

Цель изобретения — увеличение скорости процесса травления и повышение качеств» вытравливаемых фигур.

Достигается это, тем, что в раствор, содержащий 2 — 22 вес. ч. 48%-ной фтористоводородной кислоты, 6 — 36 вес. ч. фтористого аммония и 12 — 108 вес. ч. воды, добавляют

201 — 22 вес. ч. 30%-ной перекиси водорода.

Раствор не разрушает защитную пленку фоторезиста, используемую в качестве маски в процессе травления. Это улучшает качество вытравливаемых фигур на поверхности пленки моноокиси кремния, скорость травления при этом увеличивается в 30 — 40 раз. Раствор может быть использован при изгоговлении соединительных проводников многослойных пленочных схем и конденсаторов с диэлектриком из моноокиси кремния.

Раствор для травления моноокиси кремния, используемый, например, при изготовлении

10 элементов печатных схем, содержащий фтористоводородную кислоту и фтористый аммоний, от.гичпющайся тем, что, с целью увеличения скорости процесса травления и повышения качества вытравлпваемых фигур, в paIs створ, содержащий 2 — 22 вес. ч. 48%-ной фтористоводородной кислоты, 6 — 36 вес. ч. фтористого аммония и 12 — 108 вес. ч. воды, добавляют 201 — 22 вес. ч. 30%-ной перекиси водорода.