Устройство для подвески икамеры
.- Р ° -„(I.
1
r dL! e.н...,;, О П И С А""" Й И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 242857
Союз Советских социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 10.11.1968 (№ 1221430/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.Ч.1969. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 25.IX.1969
Кл. 12g, 17/18
МПК В Olj
УД К 669.046-172.002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий .! пои Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
В. Ю. Жвирблянский, В. А. Андриянов и Ю. С. Белов
Заявитель Государственный научно-исследовательский и проектно-конструкторский институт редкометаллической промышленности
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДВЕСКИ И УПЛОТНЕНИЯ ДВЕРИ
КАМЕРЫ
20 Предмет изобретения
Известные устройства для подвески и уплотнения двери камеры, используемой в установках вытягивания монокристаллов полупроводников, включают неподвижно прикрепленные к камере оси, проходящие в петли двери камеры, и несколько установленных равномерно по периметру двери винтовых зажимов.
Однако отсутствие люфта в шарнире петли ведет к непараллельности плоскостей двери и фланца камеры, вследствие чего дверь уплотняется неравномерно по периметру; увеличенный люфт в шарнире петли приводит к провисанию двери и ее перекосу; в обоих случаях увеличивается усилие при уплотнении двери.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что петли выполнены в скобах, охватывающих выступы двери по ее периметру, причем дверь установлена подвижно в направлении, перпендикулярном ее поверхности, при помощи проходящих через выступы пальцев, а нажимные винты установлены в резьбовых отверстиях скоб. Это позволяет обеспечить параллельность двери плоскости фланца камеры при ее уплотнении.
На фиг. 1 изображена камера; на фиг. 2— расположение скоб на двери; на фиг, 3 — несущая скоба, разрез по А — А на фиг. 2.
Устройство включает два жестко прикрепленных к корпусу камеры 1 подвеса 2, имеющих оси 3, входящие в петли, выполненные в скобах 4; охватывающих выступы 5 двери б камеры. Скобы установлены на выступах двери подвижно в направлении, перпендикулярном ее плоскости, при помощи пальцев 7, проходящих через дверь. В нарезке скоб установлены нажимные винты 8, вращением рукояток
9 которых уплотняется дверь. Дверь, подвешенная на двух скобах, расположенных с одной стороны фланца, закрывается, вращаясь
10 вокруг осей 8. Встречая сопротивление уплотняющей прокладки при приближении к фланцу корпуса, дверь перемещается вдоль пальцев и занимает положение в плоскости, параллельной плоскости фланца камеры. Другие
1s скобы, расположенные по периметру двери, являются запорными и служат только для уплотнения двери.
Устройство для подвески и уплотнения двери камеры, например установки выгягивания из расплава монокристаллов полупроводни25 ков, включающее неподвижно укрепленные на корпусе камеры оси, входящие в отверстия прикрепленных к двери петель, и несколько равномерно установленных по периметру двери нажимных винтов, отличавшееся тем, что, 30 с целью обеспечения параллельности двери
242857
Фм Г
Состави гель Т. Г. Фирсова
Редактор Н. Я. Кузнецова Техред А. А. Камышникова Корректоры: Г. Ф. Судоржеико и В. М. Чеснокова
Заказ 2386/3 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 плоскости фланца камеры при ее уплотнении, петли выполнены в скобах, охватывагощих выступы двери по ее периметру, причем дверь установлена подвижно в направлении, пер4 пендикулярном ее поверхности, при "помощи проходящих через выступы пальцев, а нажимные винты усгановлены в резьбовых отверстиях скоб.
