Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

276686

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскив

Социелистичеокив

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 07.IV.1969 (№ 13 21263/22-1) Кл. 48Ь, 13/08 с присоединением заявки №

МПК С 23с 13/08

УДК 621.793.14.002,52 (088.8) Приоритет

Опубликовано 14.VII.1970. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 11 XI.1970

Комитет ла делам изобретений и открытий ври Совете Министров

CCQI

- -" - Ж311АЯ

Авторы изобретения

"- " " EIl TIIg рщ,-,щ !А крыти4.

В 10ТЕКА

П. И. Бахур и Ю. А. Екимов

Специальное конструкторское бюро вакуумных п

Заявитель

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее шлюзы.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что шлюзы выполнены в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа.

Данное устройство обеспечивает непрерывность подачи штучных изделий в вакуумную камеру.

На чертеже представлено предлагаемое устройство.

Оно состоит из шлюзов, выполненных в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков 1 со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер 2, снабженных загрузочными механизмами 8 роторного типа. Внутренняя поверхность корпуса вакуу мноплотных камер и наружная поверхность загрузочного механизма образуют узкую щель, ограничивающую натеканпе из области низкого вакуума в область более высокого вакуума. Отсеки 1 соединены отсасывающнми патрубкамп 4 с вакуумными насосами 5.

Из бункера 6 изделия попадают в гнездо 7 загрузочного механизма 3, а затем при повороте последнего на 180 изделия попадают через отсек 1 в гнездо 7 следующего загрузочного механизма 8. Пройдя последовательно через все отсеки, изделия поступают в вакуумную камеру 8.

Шлюзовое устройство для вакуумHblx установок, содержащее шлюзы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения непрерывности подачи штучных изделий в вакуумную камеру, шлюзы выполнены в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа, 276686

Составитель И. Резник

Редактор E. Хорина Техред А. А. Камышиикова Корректоры: В. Петрова и А. Николаева

Заказ 3034/14 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Установка для вакуумного напыления деталей // 242636

Шлгозовое устройство для нанесения покрытий катодным напылением в вакууме // 191986

Автоматическое устройство для вакуумно- терл1ической обработки деталей // 183564

Патент 159088 // 159088

Вакуумный аппарат для нанесения покрытий // 117359

Аппарат для вакуумных покрытий // 117269

Способ нанесения тонкого слоя металлического таллия на поверхность селена // 107373

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы