Способ измерения толщины пленок
277267
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Реслублик
Зависимое от авт, свидетельства №
Кл. 42b, 12/03
Заявлено 07,VI I.1969 (№ 1344409/25-28) с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Опубликовано 22.Ч11.1970. Бюллетень № 24
Дата опубликования описания 20.Х.1970
МП1х G 01b 15/02
УДК 531.717.11(088.8) Комитет но делам иаобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
P И. Батырев, И. Н. Казанский, А. В. Косинский, Ю. Ф. Кусов
С. А. Сироткин и К. П. Тимошенко
Заявитель!
: 4t1o г!110ТЕКл
СПОСОБ ИЗ! т%ЕРЕИИЯ ТОЛЩИНЪ! ПЛЕНОК
Предмет изобретения
Известный способ измерения толщины плснок, заключающийся в том, что через контролируемое изделие пропускают поток инфракрасного излучения, измеряют степень его поглощения и по степени поглогцения определяют его толщину, пе обладают необходимо!! в некоторых случаях точностью.
Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, в целях повышения точности измерения, изменяют частоту инфракрасного излучения, измеряют разность соседних частот, на которых происходит минимальное ! или максимальное) поглощение излучения, на основании опытно полученных зависимостей разность частот — толщина определякгг толщину контролируемого изделия.
Сущность способа заключается в следующем.
Контролируемуго пленку облучают источником инфракрасного излучения, расположенным с одной стороны пленки, изменяя в процессе контроля частоту излучения. Приемник прошедшего через контролируемое изделие излучения, расположенный с другой стороны, вырабатывает сигнал, пропорциональный ему.
Электронная с: ема анализирует этот сигнал, отхге гая величину разности соседник часто, на которых происходит минимальное пли максимальное поглощение инфракрасного излучения в толще контролируемого материала. По эксперименталы о полученным зависимостям разность частот — толщина определяют толщину контролируемой пленки.
Способ измерения толщины пленок. заключающийся в том, что через контролируемое
15 изделие пропускают поток инфракрасного излучения, измеряют степень его поглощения и по степени поглощения определяют его толщину, от гика оигигуся тем, что, с целью повышения точности измерения, изменяют частоту
20 инфракрасного излучения, измеряют разность соседних частот, на которых происходит минимальное (или максимальное) поглощение излучения, и на основании опытно полученных зависимостей разность частот — толщина, оп25 ределяют толщину контролируемого изделия.
