Способ осаждения металлов

Авторы патента:

C23C14/48 - ионное внедрение

О Il И C,,, . Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

СОЮЗ GOBBTCKHX

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

За висимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.Х.1962 (№ 797574/22-1) Кл. 48b, 17/00 с присоединением заявки ¹

Приоритет

МПК С 23с 17/00

УДК 621,793.14 (088.8) Комитет по делан изобретений и открьпий при Сосете Мииистроо

СССР

Опубликовано 14.Х.1970. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 9.II.1971

Авторы изобретения

А. Д. Бондарь, В. Г. Егорычев, С, А. Емельянов и А. А, Розен

Физико-технический институт AH Украинской ССР

Заявитель

СПОСОБ ОСАЖДЕН ИЯ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к способам осаждения металлов, например, при нанесении покрытий, получении тонких пленок и мишеней для физико-химических исследований.

Известен способ осаждения металлов путем понизации паров соединений металлов в электростатическом поле. Но ионизацию осуществляют радиоактивными препаратами, что затрудняет регулирование скорости процесса осаждения и требует подогрева подложек.

Предлагаемый способ устраняет указанные недостатки и позволяет регулировать скорость процесса осаждения металлов на неподогреваемые подложки. Осаждение металлов осуществляют путем ионизации паров соединений металлов в высокочастотном разряде в электростатическом поле.

При осушествленпп способа может использоваться ооычная вакуумная установка. На образец подают отрицательный потенциал порядка 500 вЂ” 2000 в и включают высокочастотный генератор. На внутренней стороне расположенных в камере электродов генератора закрепляют подложки. Предварительная откачка вакуумной камеры до остаточного давления 10 япт рт. ст. практически исключает загрязнение пленки продуктами ионизацнц остаточных газов. Путем изменения частоты и мощности высокочастотного разряда регулируют скорости процесса ионизации паров

10 соединений металлов.

Способ может использоваться для нанесения покрытий на проводники и диэлектрики.

Предмет изобретени я

15 Способ осаждения металлов путем ионпзацип паров соединений металлов в электростатическом поле, отлнча>ои1ийся тем, что, с целью регулирования скорости процесса осаждения на неподогреваемые подложки, иониза20 цию паров осуществляют в высокочастотном разряде.

Способ распределения массы пленки // 110532

Способ получения тонких пленок // 109057

Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц // 2108636

Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых ускорителей от микрокапельной фракции

Установка для имплантации // 2110110

Изобретение относится к радиационному материаловедению и предназначено для улучшения электрофизических, химических и механических свойств поверхности изделий из различных материалов

Способ формирования поверхностных сплавов // 2111281

Изобретение относится к методам модификации поверхностных слоев материалов, в частности к способам формирования поверхностных сплавов с помощью концентрированных потоков энергии (КВЭ)

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Деталь газотурбинного двигателя и способ ее изготовления // 2116377

Изобретение относится к изготовлению деталей газотурбинных двигателей, преимущественно авиационных, и может быть использовано для образования теплозащитных покрытий на деталях горячего тракта турбины

Способ модификации поверхностных слоев деталей из сплавов на основе титана // 2116378

Изобретение относится к неметаллической поверхностной обработке деталей из сплавов титана, используемых в машиностроении, авиадвигателестроении, судостроении и т

Способ упрочняющей обработки деталей из жаропрочных нитридо- , карбидо- и боридообразующих материалов, подвергнутых ионно-имплантационному модифицированию азотом, углеродом или бором // 2117072

Способ модификации поверхности титановых сплавов // 2117073

Изобретение относится к способам модификации поверхности деталей из титановых сплавов путем ионного легирования с последующей термообработкой и может быть использовано при изготовлении изделий в машиностроительной, авиационной и других отраслях промышленности, которые эксплуатируются при высоких нагрузках и температурах

Устройство для имплантации ионов // 2118012

Изобретение относится к устройствам получения интенсивных ионных пучков и может быть использовано в установках имплантационной металлургии для увеличения глубины ионной имплантации (ИИ)

Способ обработки твердосплавного режущего инструмента // 2119551

Изобретение относится к ионно-лучевым технологиям получения материалов с заданными свойствами, а именно к способу повышения износостойкости твердосплавного режущего инструмента