Оптическое интерференционное покрытие

 

О П И С А Н И Е 326I4I

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистицеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства Мю—

Заявлено 04.Ч.1970 (М 1436935/29-33) с присоединением заявки Ы—

Приоритет

Опубликовано 19.1.1972. Бюллетень . и 4

Дата опубликования описания 29.II.1972

М. Кл. С 03b 17/00

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 666.1.056(088.8) Авторы изобретения

С. О. Мирумянц, И. С. Гайнутдинов, В, А. Марциновский, Е. Ф. Дедюхин и Н. М. Александрова

Заявитель

ОПТИЧЕСКОЕ ИНТЕРФЕРЕНЦHOHHOE ПОКРЫТИЕ

Предмет изобретения

Si02

2 — 98

2 — 98.

SnO2

Изобретение относится к оптическим интерференционным покрытиям и может быть использовано в оптической промышленности для просветления, например, полупроводниковых материалов.

Известно интерференционное покрытие, включаюшее двуокись кремния. Недостатком такого покрытия является низкий показатель преломления, что не позволяет использовать

его для просветления деталей с относительно большим показателем преломления.

С целью повышения показателя преломления предлагаемое покрытие дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов (в вес. о/о):

ЬтО 2 — 98

SnO2 2 — 98.

Покрытие получают путем совместного осаждения двуокиси кремния и двуо иси олова. Двуокись кремния получают при сжигании паров метилового эфира ортокремневой кислоты в пламени водорода, а двуокись олова — при гидролизе паров четыреххлористого олова. Указанные реакции осаждения проводят над нагретой до 300 С поверхностью покрываемой детали. В качестве газоносителя используют осушенный и очищенный воздух.

Соотношение смешиваемых компонентов определяется соотношением количеств газоносителей, направляемых для насыщения парами метилового эфира ортокремневой кислоты и парами четыреххлористого олова.

В зависимости от соотношения смешиваемых компонентс показатель преломления покрытия принимает значение от 1,45 до 1,95.

Предлагаемое покрытие может быть исполь10 зовано для получения однослойных просветляющих слоев, работающих в условиях повышенной влажности или агрессивных сред, а также входить в качестве составляющей части в многослойную интерференционную систему

15 слоев.

20 Оптическое интерференционное покрытие, включающее двуокись кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения показателя преломления, оно дополнительно содержит двуокись олова при соотношении компонентов

25 (в вес о/о):