Тонкопленочный конденсатор
дс;: к:-,,в тт
П т,„, „,, и, ., т опи
329582
Союз Соввтскиз
Социалистическими
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 23Х1.1970 (М 1455793/26-9) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 09Л!.1972. Бюллетень ¹ 7
Дата опубликования описания З.IV.1972
М. Кл. Н Olg 3/06
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.396.69:621.319. .4 (088.8) Авторы изобретения Ю. Н. Асеев, В. В. Крячко, И. Е. Лобов, В. Ф. Сыноров и А. Я. Косой
Заявитель
ТОНКОПЛЕНОт1 НЪ1Й КОНДЕНСАТОР
Предмет изобретения
Изобретение относится к электронной технике. Устройство может быть применено в гибридных СВЧ интегральных схемах.
Известны тонкопленочные конденсаторы в виде нанесенных на диэлектрическую подложку гребенчатых металлических обкладок, покрытых диэлектриком.
С целью повышения емкости без увеличения площади обкладок, на диэлектрик предлагаемого конденсатора нанесен слой металла.
На фиг. 1 изображен конденсатор, вид сверху; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез.
На диэлектрической подложке 1 в одной плоскости расположены металлические обкладки 2 и 3 в виде входящих одна в другую гребенок. Между обкладками и над ними находится диэлектрик 4, на который нанесен слой металла 5. Присутствие этого слоя позволяет повысить емкость конденсатора в 3 — 5 раз без увеличения площади обкладок. Пробивное напряжение конденсатора не изменяется.
Тонкопленочный конденсатор в виде нанесенных на диэлектрическую подложку металлических обкладок, например, гребенчатых, покрытых слоем диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью повышения емкости без увеличения площади обкладок, иа диэлектрик на песен слой металла.
329582
Фиг 1
А-А
Щ р Р
Корректор 3, Тарасова
Редактор Б. Федотов
Зака 736jl7 Изд. № 218 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
//,// ф
Составитель Ю. Еркин
Текред T. Ускова
// // г ф ф
