Савета Министров СССР па делам изабретений и открытий (23) Приоритет (43) ОпУбликовано25 06,76. Бюллетень N 23 (53) УДК 531,715,2 (088. 8) (4б) Дата опубликования описания07.07,76 (72) Авторы изобретения

Л, Н. Преснухин, В, Ф„ Шаньгин, Ю, А. Шаталов, К. К. Недопекин, В. Б. Топильский, К. К. Кондрашов, В. Н. Чистов и Г. И. Фролов (71) Заявитель

Московский институт электронной техники (54) ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к средст» вам для измерения координат или перемещений по этим координатам.

Известны фотоэлектрические измери- 5 тельные устройства для однокоординат» ного измерения, содержащие растровое сопряжение, выполненное в виде измеритель» ного и индикаторного растров, осветитель, фотоприемники, 5 вЂ” фазный интерполятор шага растрового сопряжения, а также узел грубого отсчета, выполненный в виде кодовых масок и считывателей и управляемый от интерполятора шага растрового сопряжения, Известны также устройства для двух координатных измерений линейных перемещений, измерительный растр которых выполнен крестообразным, в виде двух серий взаимно перпендикулярных штрихов. 20

Известные устройства не позволяют автоматизировать контроль перемешений по двум координатам, вследствие несовместим ости известных форм выполнения индикаторного растра с крестообразным измерительным, И

С целью обеспечения двух координатных измерений предложенное устройство снабжено измерительным крестообразным растром, а индикаторный растр выполнен в виде двух взаимно перпендикулярных крестообразно расположенных рядов окон, число которых в каждом ряду равно числу фаз интерполятора, С целью отсчета абсолютных значений координат узел грубого отсчета снабжен двумя самостоятельными кодовыми масками, расположенными вдоль осей координат.

На чертеже показано предложенноеустройство.

Устройство содержит растровое сопряжение, выполненное в виде измерительного растра 1 и индикаторного растра 2 C Равными шагами. Измерительный растр связан с подвижным звеном и может перемещаться в плоскости ХОУ, Он выполнен в виде двух серий взаимно перпендикулярных прозрачных штрихов на непрозрачном фоне (крестообразный растр) Осветитель

3, индикаторный растр и комплектфотоприемников 4 закреплены неподвижно и предна340330.значены для отсчета перемещений измерительного растра. Фотоприемники включены на вход 11 -фазногоинтерполятора (на чертеже не показан), предназначенного для отсчета доли шага растрового сопряжения и выдачи информации об абсолютных значениях координат в виде младших разрядов числового кода. Индикаторный растр выполнен в виде двух взаимно перпендикулярных крестообразно расположенных рядов окон 5, в которых чередуются прозрачные и непрозрачные штрихи, составляющие малый угол со штрихами измерительного растра. В каждом из последующих окон

1 штрихи смещены на вЂ” долю шага растровоrj

ro сопряжения, что обеспечивает работу

r:.-фазного интерполятора.

Узел грубогоотсчета выполнен позиционным и снабжен двумя кодовыми масками

6 и 7, расположенными вдоль каждой из осей координат Х и У, Он служит для отсчета- старших разрядов абсолютного значения координат.

11ля согласования грубого и точного отсчета каждый из.считывателей кодовых масок снабжен двумя рядами 8 и 9 фотоприемников, управляемых от интерполятора шага растрового сопряжения.

Работает устройство следующим образом.

После установки измерительного растра в некоторое положение световой поток от осветителя пройдет через измерительный растр, окна индикаторного растра и достигнет фотоприемников. Блягодаря наличию малого угла между штрихами растров 1 и 2 возникает муаровая картина. Вследст вие сдвига штрихов на вЂ” долю шага в каждом из последующих окон индикаторного растра, о"вешенность фотоприемников будет различной, что позволяет сформировать Il фазную систему сигналов, подаваемую на вход интерполятора шага растрового сопряжения. С выхода интерполятора получают в цифровой форме информацию о младших разрядах измеряемой координаты.

Часть световогопотока от осветителя проходит через кодовые маски и попадает на ряды 8 и 9 фотоприемников считывателей узла грубого отсчета, выдающие информацию о старших разрядах измеряемых ко10 ординат, Для согласования грубого и точного отсчета рядами фотоприемников управляют от интерполятора шага растрового солряжения, При считывании кодовой маски 6 (или 7) при отсчете 1 (единица) в старшем разряде интерполятора производят рядом 8 фотоприемников, при отсчете 0 (ноль)

-рядом 9.

Фор мула изобретения

1. Фотоэлектрическое измерительное устройство, содержащее осветитель, растровое сопряжение измерительного и индикаторного растров, и-фазный интерполятор

25 шага растрового сопряжения и узел грубого отсчета, управляемый от интерполятора шага растрового сопряжения, о тличающееся тем, что, с пелью обеспечения двух координатных измерений, 30 оно снабжено измерительным крестообразным растром, а индикаторный растр выполнен в виде двух взаимно перпендикулярных крестообразно расположенных рядов окон, число которых в каждом ряду рав35 но числу фаз интерполятора, 2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью отсчета абсолютных значений координат, узел грубого отсчета снабжен двумя самостоятель40 ными кодовыми масками, расположенными вдоль осей координат.

34ОЗЗО

Составитель В, Романов

Редактор М, Макарова Техред О. Луговая- корректор Й. Мельниченко

Заказ 2254/253 Тираж Ü 14 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Контрольно-сортировочный многодиапазоннб1й фотоэлектрический преобразователь // 326444

Способ определения коэффициентов формы стволов // 324484

Фотоэлектрический микроскоп для контроля положения штриха меры // 323646

Фотоэлектрическое устройство для измерения линейных размеров горячего проката // 322606

Патент 318808 // 318808

Прибор для измерения линейных размеров изделий // 315912

Устройство для разметки поверхности изделии // 315911

Прибор для измерения толщины прозрачныхдеталей // 315016

Устройство для измерения толщины тонких прозрачных пленок // 311136

Способ определения координат точек поверхности и устройство для его осуществления // 2102701

Устройство для контроля линейных размеров // 2106599

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в машиностроении, черной и цветной металлургии при производстве проката, в резино-технической и химической промышленности при производстве трубчатых изделий без остановки технологического процесса

Фотобарьерный датчик // 2107258

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в системах АСУ ТП промышленных предприятий

Способ измерения перемещений // 2115884

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи в измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Устройство для контроля размеров изделий с продольной осью симметрии // 2117240

Бесконтактный измеритель расстояний // 2124700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть применено для измерения линейных размеров и профилей объектов в машиностроении, приборостроении, в автоматических линиях по производству проката

Способ морфометрической идентификации фенотипа тучных клеток мезометриальной брыжейки на этапах секреторного цикла // 2138776

Изобретение относится к гистологии, касается морфометрической оценки тучных клеток мезометриальной брыжейки крыс

Способ измерения перемещений // 2149354

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам измерения и может быть использовано для измерения перемещений объекта

Устройство для измерения линейного смещения объекта // 2155321

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для широкого круга измерительных задач при оценке не плоскостности, не перпендикулярности, величин прогибов и др

Оптико-электронный преобразователь для бесконтактного измерения линейного перемещения и (или) диаметра // 2156434

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике