Тонкопленочный резистор

Авторы патента:

H01C7 - Нерегулируемые резисторы, имеющие один или несколько слоев или покрытий; нерегулируемые резисторы из порошкообразного токопроводящего или порошкообразного полупроводникового материала с диэлектриком или без него (состоящие из свободного, т.е.незакрепленного, порошкообразного или зернистого материала H01C 8/00; резисторы с потенциальным или поверхностным барьером, например резисторы с полевым эффектом H01L 29/00; полупроводниковые приборы, чувствительные к электромагнитному или корпускулярному излучению, например фоторезисторы H01L 31/00; приборы, в которых используется сверхпроводимость H01L 39/00; приборы, в которых используется гальваномагнитный или подобные магнитные эффекты, например резисторы, управляемые магнитным полем H01L 43/00; приборы на твердом теле для выпрямления, усиления, генерирования или переключения без потенциального или

3567ОО

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. Н 01с 7/00

Заявлено 31.Х11.1970 (№ 1606239/26-9) с присоединением заявки №вЂ”

Пр иоритетвЂ”

Опубликовано 23,Х.1972. Бюллетень ¹ 32

Дата опубликования описания ЗО.Х1.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.316.86 (088.8) Авторы изобретения

С. И. Климов, Б. В. Карпыч и В. П. Жуков

SCFCGIQHHAR

fiQИИЛ- . -:,,:. ;:-:." -:::. A

П .1 G ) 1- H A

Заявитель

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТОР

Изобретение относится к области микроэлектроники.

Известен тонкопленочный резистор, содер жащий основной резистивный участок и подгоночный участочек, обеспечи|вающий прецизион ную подгонку резистора.

Цель изобретения вЂ” уменьшение разброса температур ного коэффи циента сопротивления в рабочем диапазоне температур. Это достигается тем, что подгоночный участок зашун тирован напыленным на ту же подложку низкоомным слоем, имеющи м по всей длине электрический контакт с подго|ночным участком.

Н а чертеже изображен предлагаемый тоснкопленочный резистор.

Увеличение сопротивления подго ночного участка резистора происходит за счет умень шения длинны шунта и,соответствующего

«наращивания» длины l рабочей .зоны подгоночного участка. Ширина h удаляемой зоны при подгонке постоянна и минимальна, поскольку требуется лишь разорвать связь резистивной,пленки с пленкой шунта. Доля зо ны А в рабочей части подго ночного участка остается постоянной и минимальной лри любой степени подгонки, следовательно, влияние подгонки;на свойства резистора и разброс этого влияния на резисторы, выполненные тта одной подложке, также минимальны.

10 Предмет изобретения

Тонкопленочный резистор, содержащий основной рези стивный участок и подгоночный участок, обеспечивающий прецизио нную под15 гонку резистора, отличающийся тем, что, с целью уменьшения разброса температурного коэффисциента сопротивления в,рабочем диапазоне температур, подгоночный участо|к зашунTHpOBBIH напыленным IHB ту же подложку

20 низкоомным,слоем, имеющим по всей длине электрический, контакт с подгоночным участком.

ОсноВ ,оазис уч с

Кон

Пода а уч

Составитель Н. Герасимова

Техред Е. Борисова Корректор Е. Миронова

Редактор Т. Юрчикова

Заказ 525/2007 Изд. № 1555 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Похожие патенты:

Резистивный материал // 355672

Токопроводящий состав // 355671

Высокостабильный резистор // 355670

Патент 352319 // 352319

Материал для высокоомных резисторов // 349032

Термостабильный варистор // 347813

Резистор объемного типа // 347812

Резистивный материал // 347811

Материал для композиционных резисторов // 347810

Резистивньш материалi 1 • к .; .,^taeaacfoiflv •ч-,-, i.. // 347809

Резисторный элемент // 2105372

Изобретение относится к конструированию и изготовлению резисторных чувствительных элементов для термоанемометрических датчиков измерения скорости или расхода потока воздуха, газообразных и жидких сред

Резистивно-проводящий материал // 2117348

Изобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры и может использоваться для изготовления резистивных материалов для резистивных элементов на керамических, металлодиэлектрических и диэлектрических основаниях, преимущественно для изготовления резистивных элементов толстопленочных интегральных элементов

Варистор и способ его изготовления // 2118006

Изобретение относится к электротехнике и решает задачу повышения надежности варистора путем нанесения на его поверхность покрытия с пониженным значением ТКЛР

Композиция для электрического резистивного элемента, электрический резистивный элемент и способ его изготовления // 2120146

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов

Тонкопленочный терморезистор // 2120679

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Разрядник от перенапряжения // 2121724

Прецизионный тонкопленочный чип-резистор // 2123735

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству постоянных прецизионных тонкопленочных чип-резисторов

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125309

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125747

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125748

Изобретение относится к электротехнике и предназначено для защиты изоляции оборудования станций и подстанций и линий электропередачи переменного и постоянного тока от атмосферных и коммутационных перенапряжений