Датчик плотности пленки

Авторы патента:

изобретсгш Ю. И. Гребеиь, Ю. В. Кодра, В. М. Марец , Б. П. Сорока

Львовский ордена Ленина политех гический институт

G01B11/06 - для измерения толщины

Сента Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства,№вЂ”

Заявлено 07.Vll.1969 (№ 1345951/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень ¹ 33

Дата опубликования описания 29.Х1.1972

М. Кл. сх 01Ь 11/06

Комите по делам изобретений и открытий лри Совете Мииистров

СССР

УД1 535,241.6(088.8) Авторы нзобр .тснни

Ю. И. Гребень„Ю. В. 1(одра, В. Vi. Марен и Б. П. Сорока

Львовский ордена Ленина политехнический институт

Заявитель

ДАТЧИК ПЛОТНОСТИ ПЛЕНКИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технике измерений пленок или покрытий, нанесенных на прозрачный свидетель.

Известныс датчики, содержащие фотоэлектрическую систему измсрения оптической плотности, позволяют измерять толщину пленок фотоэлектрическими методами только в случае прозрачных пленок, I1ðcëëàãÿåìûé датчик позволяет измерять толщину как прозрачных, так и непрозрачных покрытий и пленок, для чего в нем оптическая ось фотоэлектрической системы совмещена с геометрической осью выходных сопл пневмоизмерительной системы, а участки стенок воздухопровода, лежащие на оптической оси, выполнены нз прозрачного материала.

1-1а чертеже представлена схема предлагаемого датчика плотности, Воздух от входного сопла 1 через воздухопровод (измерительную камеру) 2 попадает в выходные сопла 3 и 4, а световой поток от источника 5 попадает на фотоприемник б через оптическую систему 7 и 8 и исследуемую пленку или покрытие 9, нанесенное на про5 зрачный свидетель.

Плотность пленки определятот нз известного соотношения между оптической плотностью и толщиной.

Датчик плотности пленки нлн покрытия, содержащий фотоэлектрическую систему измерения оптнч cêoé плотности, отличаloùètlñÿ тем, 15 что, с целью расширения диапазона и повышения точности измерений, он содержит пневматическую систему измерения толщины, соосную оптической системе, причем участки, расположенные на .пути оптического луча, выпол20 иены прозрачными.

357463

К мана

Редактор А. Батыгин

Корректор 3. Тарасова

Заказ 3827/7 Изд. № 1666 Тираж 406 Подписное

Ц1-1ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Воэдух

Составптепь Л. Гойхман

Тсхред А. Камышникова

Способ контроля толщины кристаллических // 344265

Устройство фотометрического контроля параметров диэлектрических покрытий, напыляемых в вакууме // 340883

Устройство для спектроинтерференционногоконтроля толщины // 337644

Измеритель загрязненности поверхности изделий // 326446

Способ измерения скорости образования и толщины пленок // 325482

Бче.пиотекл // 323650

Способ контроля толщины тонких пленок по // 322608

Устройство для контроля толщины // 315019

Прибор для измерения толщины прозрачныхдеталей // 315016

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости