Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала

 

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 02.11!.1971 (№ 1632166/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08 11.1973. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 17.IV.1973

М. Кл, G Olr 17/ОЮ

G 0lr 27/02

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.317.7.083..5:73 (088.8) Авторы изобретения

А. С. Кукуй и П. Ф. Мохир

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА

Изобретение относится к области измерительной техники.

В известных устройствах для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала, геометрические размеры которых не сказываются на результатах измерений, автоматизация процесса измерений осуществляется за счет автоматического перемещения измерительной головки вдоль слитка, отвода и прижима головки к слитку и регистрации результатов измерения. При этом ввод поправок на геометрию образца не производится или осуществляется вручную.

Для повышения точности измерения за счет введения автоматизированной коррекции на геометрию образца предлагаемое устройство дополнительно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока.

На чертеже представлена функциональная схема описываемого устройства, состоящего из четырехзондовой головки 1, стабилизатора

2 постоянного тока, цифрового вольтметра 8, блока управления 4, механизма 5 перемещения зондовой головки, реостатного датчика б, функционального преобразователя 7, корректирующего звена 8 стабилизатора тока.

Через токовые зонды 9 и 10 измерительной головки 1, прижатой к исследуемому образцу

П, пропускается постоянный ток от стабилизируемого источника 2. Напряжение, снимае. мое с потенциальных зондов 12 и И, подается на вход измерительного прибора (например цифрового вольтметра) 8. Блок управления 4 с помощью механизма 5 отводит и прижимает зондовую головку к образцу и перемещает ее

1о вдоль торца. Перемещение фиксируется реостатным или другим датчиком б линейного перемещения. Электрический сигнал, пропорциональный смещению зондовой головки от центра образца, поступает на вход функциоIs нального преобразователя 7, реализующего нелинейную зависимость поправочного коэффициента F от величины смещения х, Вход функционального преобразователя связан с корректирующим звеном 8 стабили2о затора 2, которое устанавливает величину тока через токовые зонды 1=2л$Р для получения непосредственного отсчета величины удельного сопротивления, т, е. р= U.

25 Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала, содержащее четырехзондовую измерительную го30 ловку, механизм перемещения ее с блоком уп369о02

Составитель Т. Афонина

Техред Т. Курилко

Редактор С. Хейфиц

Корректор T. )Куравлева

Заказ 1020/1 1 Изд. № 1260 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 равления, стабилизатор постоянного тока и цифровой вольтметр, оглаиаюн1ееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока,