Устройство контроля надежности омических контактов полупроводниковых приборов

 

397857

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социвлистимеских

Республик

Зависимое от авт. свндстельства J4—

Заявлено 21.Х1.1970 (№ 1497265/26-25) М. Кл. G 01г .31/26 с присоединением заявки М—

1асударствеииый комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и OTKpblTffA

Приоритет

Опубликовано 17.1Х.1973. Бюллетень М 37

Дата опубликования описания 13.II.1974

УДК 621.382 (088.8) Авторы изобретения В. 3. Лубяный, A. В. Божко, В. С. Тверезовский и А. П. Лебеденко

Заявитель

УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ НАДЕЖНОСТИ ОМИЧЕСКИХ

КОНТАКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники и может применяться при производстве полупроводниковых приборов для контрол я их качества.

Известны устройства контроля надежности омического контакта полупроводниковых приборов, содержащие источник постоянного напряжения, блок обнаружения кратковременных замыканий и обрывов, выполненный в виде последовательно соединенных между собой импульсного усилителя, триггера и исполнительного органа. Блок обнаружения постоянных коротких замыканий и обрывов выполнен по схеме моста, к одной диагонали которого подключен источник постоянного напряжения, к другой исполнительное устройство. B одно из плеч моста подключен контролируемый прибор. Недостатком известных устройств является то, что контроль надежности омического контакта производится только в одной точке вольт-амперной характеристики прибора, задаваемой источником постоянного напряжения.

Цель изобретения — повысить точность измерен,ий.

Поставленная цель достигается тем, что блок обнаружения кратковременных и постоянных обрывов и кратковременных коротких замыканий выполнен в виде следящей системы, состоящей из последовательно соединенных элемента сравнения, усилителя, суммирующего устройства, соединенного через форсирующее устройство и непосредственно с двумя входами нуль-органа, выход которого соединен с логической схемой «ИЛИ», Блок-схема описываемого устройства прсдста влена на чертеже.

Устройство содержит генератор пилообразного тока 1, к выходу которого подключен

10 контролируемый прибор 2, блок обнаружения кратковременных н гостояппых обрывов и кратковременных коротких замыканий 3, состоящий из элемента сравнения 4, усилителя

5, суммирующего устройства 6, фильтра ннж15 них частот 7, форсирующего устройства 8 H нуль-органа 9; блок обнаружения постоянных коротки.: замыканий 10. логическую сыму

«ИЛИ» 11 и исполнительное устройство 12.

Описываемое устройство работает следую20 щим образом.

При пропускании в прямом направлении импульса пилообразного тока через исследуемый прибор на нем формируется цмпульс напряжения, изображающий рабочий участок

25 вольт-а мперной характеристики р-и перехода прибора. При наличии нарушений омнческого контакта наблюдаются высокочастотные деформации вольт-амперной характеристики.

Импульс напряжения, возникающий на кон30 тролируемом прибора при пропусканни через

397857

Предмет изобретения

Составитель 3. Чеснокова

Тскред A. Камышиикова Корректор T. Добровольская

Редактор В. Фельдман

Из,;. X C O Тира>к 755 Под: иси;.с

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, >К-35, Рауьнская нэб.. д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2 него импульса пилообразного тока, подается на один вход нуль-органа 9, на вход форсирующего устройства 8 и на вход блока обнаружения постоянных коротких замыканий 10.

Форсирующее устройство 8 представляет собой сочетание делителя с различным коэффициентом передачи дланя сигналов различных ча стот и .импульсного усилителя, что обеспечивает подчеркивание высокочастотной составляющей в выходном сигнале. Следящая система обеспечивает формирование импульса напряжения на выходе, совпадающего по низкочастотной составляющей с исходным. Так как в обратной связи следящей системы включен фильтр ни>кних частот 7, в импульсе на выходе следящей системы также подчеркивается высокочастотная составляющая исходного сигнала. В результате суммирования высокочастотных составляющих выходного сигнала форсирующего устройства 8 и следящей системы амплитуда суммарной высокочастотной составляющей возрастает.

На выходе суммирующего устройства 6 формируется,импульс напряжения, совпадающиЙ по низкочастотной составляющей с исходным, благодаря введению за мкнутой следящей системы, и отличающийся по высокочастотной составляющей, благодаря подчеркиванию ее двумя устройствами и суммированию. При отсутствии нарушений омического контакта высокочастотная составляющая в исходном импульсе отсутствует. Оба сигнала на входах нуль-органа 9 совпадают. Нуль-орган нс срабатывает.

При наличии нарушений омического контакта высокочастотная составляющая подчеркивается в выходном импульсс и сигналы, подаваемые на входы нуль-органа 9, не совпадаютт.

Нуль-орган 9 срабатывает, возбуждая исполнительное устройство 12. В случае постоянного обрыва на выходе генератора 1 формируется прямоугольный импульс и подчеркивается высокочастотная составляющая спектра.

В случае постоя нного короткого замыкания перехода исследуемого прибора работает блок обнаружения постоянных коротких замыканий

10, выходной сигнаал которого через логическую схему 11 возбуждает исполнительное устройство 12.

Устройство контроля надежности омических контактов полупроводниковых приборов, содержащее генератор импульсов пилообразного тока, блок обнаружения кратковременных и постоянных обрывов и кратковременных коротких замыканий, блок обнаружения посто:.впых коротких замыканий, логическую схему

«ИЛИ» и исполнительное устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений во всех точках рабочего участка вольт-амперной характеристики, блок обнаружения кратковременных и постоянных обрывов и кратковременных коротких замыканий выполнен в виде следящей системы, состоящей из последовательно соединенных элемента сравнения, усилителя, суммирующего устройства, соединенного через форсирующее устройство и непосредственно с двумя входами нуль-органа, выход которого соединен с логической схемой «ИЛИ».