Устройство для изготовления электровакуумных приборов

 

Союз Советских

Социвлистимеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08.Ъ 1.1970 (№ 1437560, 26-25) с присоединением заявки №вЂ”

31. Кл. Н Olj 9, 38

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий

Приоритет—

Опубликовано 17.1Х.1973. Бюллетень ¹ 37

УДЬ; 621.385 (088.8) Дата опубликован: я описа;шя IЗ.II.197-1

Авторы изобретения

М. Н. Печатников и Г. A. BocTpoa

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕИИЯ

ЗЛЕ1 ТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к оборудованию для изготовления высоковольтных генераторных и модуляторных пр иборов повышенной надежности. 5

Известные установки для производства электровакуумных приборов, содержашие рабочие камеры, разделенные шлюзовыми затворами, и размещенные в них оправки, приводимые в движен ие четырехзвенными меха- Io пизмами типа параллелограмма, не обеспечивают синхронизированной комплексной ооработки электровакуумных приборов, так как в процессе работы устройства постоянно накапливается ошибка в перемещении, что снижает точность изготовления приборов.

В предложенном устройстве указанный недостаток устранен благодаря тому, что рабочие камеры снабжены индивидуальными механизмами .перемещения оправок, выполненными в виде смещенных относительно оси камеры реек, установленных на оправках и взаимодействующих с тяговыми цепями, приводимыми в движение храповиками, и механизмами фиксации, установленными в центральных полостях камер. Направляющими оправок являются пазы, образуюпоие участки для ориентированного перемещения оправок и участки для восприятия статических нагрузок. ЗО

На фи;.. 1 показано предложенное устройство, продольный разрез; на фпг, 2 — onpo33;;:à с меха:пзмами, поперечный разрез.

Устрой тво для изготовлендя электровакуумиых приборов содержит рабочие камеры

1, разделе:п|ь1е шлюзовыми затворамп 2. Камеры снабжены механизмами перемещения 8 оправок 4, выполненными в виде реек 5, укрепленны . на оправках, смещенных относиг-ãëbno осп камеры 6 и приводимых в движение цепью 7, звездочками 8, 9, храповиком

10 с собачками 11, 12 через вакмумный ввод

18. В центре камер размещены механизмы фи;caun: 14. Направляющими onравок являются пазы 15, образующйе участки 15 для ориентированного перемещения оправок и участки 17 для восприятия статических нагрузок.

Для предотвращения контактной сварки в условиях высокого вакуума и рабочих температур порядка 500 — 600 С все поверхности деталей механизмов перемещения выполнены из хромистой стали и покрыты плотным слоем хрома.

Для обеспечения надежного перехода оп|равки из одной камеры в другую разрывы между направляющими этих камер составляют 0,2 — 0,25 длины оправки, а для устранения перекосов оправки в камере при переме397986 щецин расстояние между направляющими составляет 0,5 — 0,6 длины оправки.

В оправку устанавливаются узлы обрабатываемого прибора, пр ичем анодный и катодносеточный узлы разнесены, и она помещается в первую технологическую камеру. Камера герметизируется высоковакуумным шлюзовым затвором и откачивается до давления 10 — —

10 — ля 1зт. ст., затем начинают технологи— 7 ческую обработку прибора, например, ооезгаживание арматуры пр ибора. После обезгаживания открывается шлюзовой затвор между первой и второй камерами, и оправка с приборами с помощью механизма перемещения переводится во вторую камеру. В этой камере механизм 14 фиксирует оправку а направляющих в заданном положении, затем затвор 2 закрывается, и проводятся следующие операции по обраоотке прибора, например

pas,ножен re карбонатов z активиРовка да. Одновременно в перву ю камеру загружается следующая оправка с приборами По окончании обработки прибора во второй камере- оправка перемещается в третью камеру, где производится, например, обезгаживание электродов под действием электронной бомбардировки. Последними технологическими операциями являются сборка и гезметизац".я г

l прпоора. После этого оправка с прибором переводится в следующие камеры, где они охлаждаются,и выгружаются. г

Предложенное устройс-,во улучшает ка .ество обработки приборов и увеличивает срок пх с. уж оы

Предмет изобретения

Устройство для изготовления электровакуумных приборов, содержащее рабочие камеры, разделенные шлюзовыми затворами, и размещенные в них оправки, перемещающиеся по направляющим, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изготовления приборов, рабочие камеры снабжены индивидуальными механизмами перемещения оправок, выполненными в виде смещенных относительно оси камеры реек, установленных на оправках и взаимодействующих с тяговыми цепями, приводимыми в движение храповиками, и механизмами фиксации, установленными в центральных плоскостях камер, причем направляющие оправок выполнены в виде пазов, образующих участки для ориентированного перемещения оправок и участки для восприятия статических нагрузок.